AMHS系统的搬运机器人
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
簡單介紹一下半導體工廠AMHS系統的搬運機器人
OHS（Over Head Shuttle ）
可以在安裝在天井下軌道上高速移動的自動搬運裝置。
一般是用於成膜、洗浄等各個保管設備間FOUP搬運
OHT （Overhead Hoist Transfer ）
是安裝在天井下軌道下高速移動的自動搬運小車。
由升降裝置馬達驅動BELT，使GRIPPER自動抓取設置在port的foup。
這是300mm晶圓廠運用最廣防的搬運工具。GRIPPER有不同的類型可以搬運不同類型的foup。
從第一代10幾年前只能低速走行單線軌道，移載設置于其正下方port的foup，到第二代可以高速走行在分歧軌道，
第三代不僅可以走行在分歧軌道，還可以左右移載設置在STS，UTS上的FOUP 再到第四代450mm搬運小車，更新速度可謂非常之快。
中國國內半導體廠商使用第一代，第二代自動搬運小車，目前國內還沒有使用第三代自動搬運小車的客戶。
AGV （Automated Guided Vehicle）
車上安裝了多關節手臂機器人，用於搬運保管設備和製造設備之間的foup。
本搬運小車由於安裝了大容量的電池，可以自動走行在工廠的地板上，並按照程式設置，可以走行比較複雜的路徑。
臺灣，韓國有半導體廠商很多使用這種小車的案例。
RGV （Automated Guided Vehicle）
本小車走行在安裝在地板上的軌道，可以高速搬運保管設備和製造設備之間的foup。和AGV同樣搭載了多關節手臂機器人，但是小車走行速度大大高於同類型的AGV。韓國半導體廠商有使用這種小車的案例。
STOCKER
是fab裏面的一時自動保管倉庫。
可以把半成品的矽片暫時存放於此。
有好幾種類型。
其中一種塔形倉庫可以實現foup樓層之間的搬運。
以後有空再說說FPD工廠的搬運機器人