制程排气

含有 VOC的废气通过系统排风机排放至 VOC处理 系统 ，90％的废气通过沸石转轮的吸附成为清洁空 气排放至大气，10％的废气被加热后进人脱附区， 用于对已经吸附有 VOC成分的转轮部分进行脱附 ， 由于转轮在不停地旋转 ，使得吸附和脱附的过程在 同时不间断地进行。脱附后的高浓度VOC废气通过 焚化炉风机被送入焚化炉进行焚烧处理。主要控制 和运行参数包括转轮转速、脱附风量、脱附温度、 转轮冷却温度、焚化炉温度等。 VOC处理系统 的主要运 行成本 来 自于焚化炉的燃 料消耗 ，处理风量为 50 000 m3／h的系统每年的 天然气费用超过百万人民币，因此如何在保证系统 处理效率的前提下降低能源消耗是系统管理人员必 须要考虑的问题。在 VOC处理系统所有的运行参 数中，对处理效率和燃气消耗影响最大的是脱附风 量和焚化炉温度。
主系统
主系统
二次配
管阀件
曝光机设备排风
酸性、碱性废气处理系统（SEX、AEX）
一、处理方式： 1.洗涤式 1.1酸性洗涤塔 1.2碱性洗涤塔 二、洗涤塔介绍 分类：立式洗涤塔 卧式洗涤塔

对于含有 酸性／碱性物质的废气 ，半导体厂 大都采用大型洗涤式中央废气处理系统进行处 理 。由于半导体制造工作区域离中央废气处理 系统距离较远 ，因此部分酸性／碱性 废气在输 送至 中央废气处理系统前 ，常因气体特性导致 在管路中结晶或粉尘堆积 ，造成管路堵塞后导 致气体泄 ，严重者甚至引发爆炸 ，危害现场工 作人员的工作安全 。因此在工作区域需配置适 合制程气体特性的就地废气处理设备进行就地处 理 之后再排人 中央处理系统，
在系统实际操作运行中发现 ，影响系统处理效率 的另一个主要因素是循环水量的问题。洗涤塔在 连续运转一定时期后 (一般为 6个月)开始出现处 理效率下降，即使调高 pH值也 收效甚微 ，原因 在于洗涤塔循环水 中的盐类 很容易在 喷嘴处形 成结晶，造成堵塞 ，使循环水量下降，而水量不 足使得废气和水不能充分接触，因而影响系统的 处理效率。因此运行 中要把洗涤塔循环水的电导 度严格控制在 20 mS／cm 以下 ，减 少盐类堵塞 喷 嘴的情况 ，定期对喷嘴进行清理 ，对循环水 泵和淋洗塔进行保养 ，将循环水压力控制在 1．5×lO5 Pa以下 ，保证充足的循环水量
中央废气处理系统的核心设备是一种采用水洗式的 洗涤塔它的主要功能是通过控制洗涤塔 中水的酸碱 度、电导度等参数，在废气与水交叉流过时使废气 在洗涤塔中与水进行充分接触，吸收其中的酸性或 碱性物质_2 J。洗涤塔内安装有填料床 ，用于增大 废气与水 的接触面积 ，延长接触时间。填料床下面 是循环水池，通过循环水泵使液体不停的循环。还 设有 加药泵、pH计用 于控制 pH值 ；液位计、电导 度计用于排水和补水控制 ；压差开关、压力传感器 用于监控系统的运行情况_3 J。

实例图片

是
系统材质应用
序号 1 系统名称（英 文） GEX 系统名称（中 文） 一般排气 主系统 镀锌 二次配 镀锌
2
3 4 5 6
HGEX
WGEX SOL ALK ACID
高温排气
高湿排气 有机排气 碱性排气 酸性排气
镀锌+保温
SUS304 SUS304 SUS304
镀锌+保温
SUS304 SUS304 SUS304
Hale Waihona Puke Baidu
7
8
CVD
STR
有害排气
高沸点有机排 气
SUS304+coati SUS304+coati ng ng SUS304+coati SUS304 ng SUS304+coati SUS304+coati ng ng
主系统
主系统
主系统
二次配
卧式洗涤塔
立式洗涤塔
加药桶槽及加药泵
有机排气（SOL)
一、直接焚烧（半导体厂应用比较广泛）适 合浓度高、风量大的气体； 二、活性炭吸附（极少应用）适合浓度比较 低的气体； 三、生物氧化（极少应用）
VOC废气处理原理-（沸石转轮）
沸石浓缩转轮加焚化处理的系统处理原理
将大风量低浓度有机废气转换成小风量高浓度 气流 ，再将浓缩后的高浓度有机废气进行焚化处 理，其主要优点是系统处理效率高 (95％)、操作 简单并且易清洗保养 。所选用的沸石为新型的疏 水性沸石 ，从而避免水分对吸附材料的侵占，保 证良好的吸附效果，而高品质的沸石必须 符合严 格的硅铝比、纯度 、结晶度、孔径常数等要求沸 石转轮对低浓度的 VOC有很好的吸附能力,吸附后 的干净空气就可自然排放。
半导体废气处理技术应用

依据废气的特性 ，在处理上采用水洗 、 氧化／燃烧、吸附、解离、冷凝等方法。 在半导体制造厂 ，依照系统废气排放可 分为：一般排气(GEX)、酸性排气 (SEX&ACID)、碱性排气 (AEX&ALK)和 有机排气 (VEX&SOL)。芯片厂和面板厂 废弃处理有所区别，针对不 同污染 物， 可采取 以下综合处理方法。
通过调整酸性排气洗涤塔循环水的 pH值发现 ，淋 洗塔内的物理吸收是一个不稳定的可逆，吸收水中 的酸 ，并在淋洗过程中很容易再被脱附出来 。当 pH低于 7．6时 ，即使将循环水的电导度调至低于 5 mS／cm，系统的处理效率仍然不超过60％；而 当pH值高于 8时，系统处理效率通常高于90％；当 pH值达到 10时，系统处理效率甚至超过 99％。因 此控制 pH值是保证系统处理效率的关键参数 。虽 然酸性排气洗涤塔 ，pH值越高处理效率越好 ，但 实际运行中pH过高会增加运行成本，并会产生结晶 等问题，危及生产安全，因此pH值通常控制在 8～lO 。同样，对于碱性排气洗涤塔 ，pH值通常控制在 3～ 6。
一般排气系统（GEX ）
一般排气根据厂房不同区分为以下两种： 一、面板厂 1.高温排（HGEX） 2.高湿排（WGEX） 二、芯片厂 1.一般排气（GEX）

三、排放方式 设备生产过程中会产生热量或产生一 些含尘无害气体（浓度很低），因此GEX 可以直接排放到大气环境当中，不需做任何 处理； 四、流程： 1 .一次配（主管路铺设及风机安装定位） 2. 二次配（支管连接各机台点）