DFC数字质量流量控制器
0131.气体质量流量控制器(MFC)与气体质量流量计(MFM)
气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM）MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。
MFC为Mass Flow Controller的缩写，即质量流量控制。
流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。
质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。
计算机解算出流经振管的质量流量。
不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。
安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。
质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。
由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。
质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。
测量管道内质量流量的流量测量仪表。
在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下，若仅测量体积流量，则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。
在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30％，这会使流量产生30～40％的误差。
随着自动化水平的提高，许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。
化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。
蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。
产品质量的严格控制、精确的成本核算、飞机和导弹的燃料量控制，也都需要精确的质量流量测量。
因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。
质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。
质量流量控制器原理
质量流量控制器原理质量流量控制器是一种用于控制气体质量流量的仪器，它可以根据用户设定的质量流量值，精确地调节气体的流量，从而确保气体流量的准确性和稳定性。
本文将重点介绍质量流量控制器的原理及其工作方式。
一、质量流量控制器原理质量流量控制器的原理基于流场动态计量技术，它通过测量气体密度和瞬时流量计算气体的质量流量，然后根据设定值调节流量控制阀门的开度，从而实现质量流量的精确控制。
在质量流量控制器中，气体通过流量计进入测量腔体，测量腔体中装有传感器，可以进行压力、温度、流量、密度等参数的测量。
这些参数直接影响了气体密度的计算，而气体密度的准确计算是控制质量流量的关键。
测量系统完成数据采集后，将数据转换为质量流量值，并通过控制阀门的开度来调节气体流量，实现质量流量的精确控制。
二、质量流量控制器的工作方式质量流量控制器主要分为两个部分，即测量模块和电子控制模块。
（一）测量模块测量模块由流量计和密度计组成。
流量计可以根据气体流过流体的速度进行测量，而密度计则是利用气体压力、温度、流量等参数进行测量。
这两种仪器都非常精确，可以实时测量气体的流量和密度。
在测量模块中，流量计和密度计通过传感器与电子控制模块相连。
当气体经过流量计时，流量计产生信号并将其传输到控制模块，控制模块根据信号计算出气体的流量。
当气体经过密度计时，密度计也会产生信号并传输到控制模块，控制模块根据信号计算出气体的密度。
（二）电子控制模块电子控制模块主要由控制器、流量计控制器、密度计控制器和阀门控制器等部分组成。
电子控制模块的主要作用是接收来自测量模块的信号，并根据用户设定的质量流量值自动调节阀门的开度，从而控制气体的流量。
具体的工作流程如下：1. 用户根据需要设定目标质量流量值，并将该值输入到控制器中。
2. 测量模块中的流量计和密度计开始测量气体的流量和密度，并将测量结果传输到电子控制模块中。
3. 电子控制模块根据测量结果计算出当前的质量流量值，并将该值与用户设定的目标质量流量值进行比较。
日本Horiba公司的质量流量控制器(MFC)需求量预测
日本Horiba公司的质量流量控制器(MFC)需求量预测作者：陈诚来源：《管理观察》2012年第04期摘要：回顾了国内外半导体产业的发展历程，分析了国内半导体市场制程中所需质量流量控制器的需求现状，提出了借鉴日本市场的需求预测方法对我国半导体、泛半导体及太阳能、LED市场上常用质量流量控制器（MFC）进行需求预测，预测Horiba公司2012年在我国MFC需求量为2500多台。
关键词：半导体太阳能产业质量流量控制器销售预测1.背景半导体产业是现代信息和电子工业的基础，从1947年在美国的贝尔实验室里科技史上第一支晶体管产品被开发，半导体产业已经经过了60多年的高速发展。
当今的半导体产业发展正愈来愈体现出自身的鲜明特色，这对我国带来了巨大挑战，但同时也为实现产业升级提供了极好的历史机遇。
气体质量流量控制器，即Mass Flow Controller（MFC），可以对气体质量流量做精密控制。
其作用是非常精确的控制进入腔体的载气和反应气体的单位时间内的流量，达成反应需要的混成比例，从而保证在晶圆表面生成需要的分布均衡和品质稳定的成分膜。
目前，我国蓬勃发展的半导体产业、太阳能电池片制造行业以及LED制造领域都对质量流量控制器有着巨大的使用需求。
而日本作为一个有几十年半导体产业发展史的国家，对市场定量的预测有其独到之处。
本文主要目的在于借鉴日本市场的销售预测方法对半导体产业中常用的MFC进行市场需求量预测。
2.日本Horiba公司简介株式会社堀场制作所（Horiba）是世界第六大测量测试设备的制造供应商，总部位于日本京都。
Horiba的气体质量流量控制器产品来自旗下Horiba/STEC子公司。
Horiba公司从最初进入中国市场时只有小于20%市场份额年销售量仅几百台质量流量控制器、销售量完全不及同类型欧美厂商（主要有美国的Unit和Tylan，艾默生集团旗下的Brooks，荷兰的Bronkhorst等）的MFC供应商，到2010年时已经年销售量占到国内半导体及太阳能设备装机MFC市场60%份额的举足轻重的制造商。
质量流量控制器工作原理
质量流量控制器工作原理质量流量控制器，这个名字听起来有点复杂，但其实它就像我们生活中那些默默无闻却又不可或缺的“小帮手”。
想象一下，你在厨房里煮汤，水流的大小掌控得宜，汤才不会煮得过稠或过稀，味道才会恰到好处。
这种控制其实就是质量流量控制器在发光发热。
它的原理也并不神秘，简单来说，就是通过测量流体的质量流量来调节流量，确保每一滴水、每一毫升液体都恰到好处。
我们可以把质量流量控制器想象成一个调皮的小精灵，专门负责监控液体的流动。
当你调节阀门的时候，它就像在耳边轻声提醒：“慢点，别太急，水要慢慢流。
”当流量不合适时，它就会立刻做出反应，调整流量，确保你不会做出“泼汤”这样的失误。
你知道的，厨房可不允许有任何的“黑历史”啊！在工业生产中，这种控制器就更重要了，涉及到各种液体、气体的流动，确保设备安全、生产稳定。
想象一下，如果没有它的“把关”，可能会出现意想不到的事故，那可真是“闹笑话”了。
这家伙的工作原理还跟我们呼吸有点相似哦！它通过压力、温度等各种参数来判断流体的状态，然后精准地调节流量，就像我们在换气的时候，吸气与呼气的节奏必须得刚刚好。
你能想象吗？如果我们吸气太急，结果可能就会呛到；同样，如果流量控制器失灵，结果可想而知，可能就会“卡壳”。
它的使用范围非常广泛，从化工、制药到食品工业，无一不在它的“护航”之下，真是“无处不在，妙不可言”。
聊到这里，可能有人会问，质量流量控制器的实际应用是什么样的呢？让我们来个生活中的小例子吧！你去咖啡店点一杯拿铁，咖啡师就得精准掌握牛奶的流量，如果牛奶多了，那简直是“牛奶海”；少了又觉得没味道。
而这个过程中，质量流量控制器就像咖啡师的得力助手，确保每一杯咖啡都是完美的比例，香浓可口。
这样的默契配合，简直让人心情愉悦，真是“天作之合”。
科技的发展也让质量流量控制器的功能越来越强大。
现在的控制器能通过传感器实时监测流量变化，数据传输到电脑，随时调整，简直是科技感满满。
质量流量控制器技术说明书
质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。
2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
数字式气体质量流量控制器工作原理
数字式气体质量流量控制器工作原理数字式气体质量流量控制器是一种高精度、高灵敏的仪表，它可以对气体进行精确的流量控制，并能够实时地监测和记录气体的流量、温度、压力等参数，是广泛应用于气体流量计量和控制的仪器之一。
那么，数字式气体质量流量控制器的工作原理是什么呢？本文将从两个方面探讨这一问题，分别是流量控制的原理和数字化的实现方式。
一、流量控制的原理流量控制是数字式气体质量流量控制器最主要的功能，其基本原理是利用增压阀、流量计和比例控制阀组成的反馈控制回路，通过比例积分控制算法精确地调节比例控制阀的开度，使得气体的流量达到预期的设定值，并保持不变。
具体来说，流量控制过程分为三个阶段：供气、检测和修正。
1. 供气阶段在这一阶段，气体从气源经过预处理设备（例如过滤、减压、降温等）进入增压器。
增压器的作用是将气体压力升高到一定程度，以保证流量计的测量精度。
当气体经过流量计时，它会产生一定的压降，流量计会将这个压降转换成一个电信号，同时将这个信号送给比例控制阀。
然后，比例控制阀根据这个信号来控制其开度，从而调节气体的流量，使得流量达到设定值。
2. 检测阶段在流量控制器的工作过程中，会不断地检测气体的流量（实际流量）和设定值（目标流量），并将它们进行比较。
如果实际流量小于设定值，那么就需要增加比例控制阀的开度；反之，则需要减小比例控制阀的开度。
这样，就能不断地调节气体的流量，使其保持在目标值附近。
3. 修正阶段在实际的工作中，由于气体的温度、压力等因素的变化，会对流量计的测量精度造成一定的影响。
此时，流量控制器就需要对测量结果进行修正，以保证流量控制的精度。
具体操作是：将测量得到的流量信号与气体温度、压力等参数进行比较，然后利用修正算法调整比例控制阀的开度，从而修正测量误差。
二、数字化的实现方式除了流量控制功能外，数字式气体质量流量控制器还具有数字化的特点，即它采用了数字电路和计算机技术来实现流量控制和参数显示。
气体质量流量控制器 MFC 流量传感器说明书
气体质量流量控制器 MFC 流量传感器产品名称气体质量流量控制器 MFC 流量传感器公司名称北京堀场汇博隆精密仪器有限公司价格8000.00/个规格参数建议零售价:¥8000.00加工定制:否品牌:HORIBAMETRON/堀场汇博隆公司地址北京市朝阳区北苑路40号23号、25号联系电话010-******** 130********产品详情提示：以下模板中任意文字及图片均可执行修改、复制、删除的操作，添加更多的图片和文字描述有助于增加产品对买家的吸引力。
产品介绍产品信息重量： 2.8kg毛重： 2.8kg 产地： 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司流量规格流量规格： （100,150,200)l/min 调节阀类型：电磁调节阀 调节阀静止状态： 常闭 准确度： ± 1.0%f.s. 线性： ±0.5%f.s.重复性精度： ±0.2%f.s.响应时间：2s（t98）产品性能简介企业介绍北京堀场汇博隆精密仪器有限公司是一支由中方经营管理，中日双方共同协作的国际化团队，是由全球顶级热式质量流量控制器（mfc）制造商——horiba stec与中国知名热式质量流量控制器(mfc)制造商——北京汇博隆仪器有限公司共同出资成立，是以研发、生产、销售热式质量流量控制器为主业的高新技术企业。
公司经营层和整个国际化团队坚持"群策群力，持续发展，立足国内，走向世界"的企业总体发展方向。
力循"中外结合，品质为本"的经营理念，努力在人才、技术、生产、工艺、质量、市场、服务等各个方面引入和完善现代企业经营管理机制，以适应全球经济一体化的市场竞争，为加速我国相关产业的不断发展贡献一份力量。
企业证书购买须知1、货源说明厂家一手货源，公司生产周期短、产品品质有保证2、关于尺码与使用手册里尺寸一致，以收到实物为准3、关于颜色本店产品均为实物拍摄， 与实物平铺图最为接近，收到实物与图片颜色不一致的，可能与电脑显示器的色彩对比度和色温等因素有关4、关于客服如您的提问未能及时回复，可能是因为咨询量过大或系统故障5、关于售后6、关于发货合作快递 中通、德邦本产品的建议零售价是¥8000.00，加工定制是否，品牌是HORIBAMETRON/堀场汇博隆，型号是S4828，类型是质量流量计，测量范围是12（m3/h），精度等级是1.0%，适用介质是气体，工作压力是3（MPa ），工作温度是5~45（℃），产品属性是仪器仪表。
质量流量计(MFC)原理
质量流量计（MFC）原理及如何来选择使用首先什么是质量流量计（MFC）?质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM），是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器，即Mass Flow Controller（缩写为MFC），不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么？（1）流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计/质量流量控制器，则一般可以忽略不计。
（2）测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。
通常，模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA，数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口，能非常方便地与计算机连接，进行自动控制。
（3）精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
（4）适用范围宽，有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa；可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品最小流量范围可达0～5 sccm，最大流量范围可达0～200 slm。
流量显示的分辨率可达满量程的0.1%，流量控制范围是满量程的2～100% （量程比为-- 50:1），因此在很多领域得到广泛应用。
质量流量控制器 原理
质量流量控制器原理
质量流量控制器是一种用于控制流体系统中质量流量的设备。
其原理是通过调节流体的压力或阀门的开度来控制流体的通量，从而实现对流量的控制。
质量流量控制器的基本原理是根据流体的质量守恒定律，通过测量流体的质量变化来控制流量。
当流体通过流量控制器时，会经过一个质量传感器，该传感器能够实时测量流体的质量。
通过与预设值进行比较，流量控制器能够自动调节阀门的开度或调节系统的压力，从而使流体的质量保持在设定的范围内。
质量流量控制器通常由以下几个主要部件组成：质量传感器、控制电路、执行机构（如电动阀门或调节阀门）等。
质量传感器通过测量流体的质量变化来实现对流量的监测，将测量结果传输给控制电路。
控制电路根据测量结果与设定值的差异，通过输出控制信号来驱动执行机构调节阀门的开度或系统的压力，从而实现流量的调控。
在实际应用中，质量流量控制器常用于各种工业生产过程中，如化工、石油、制药等领域。
它可以用于控制液体、气体等不同介质的流量，具有准确、稳定和可靠的控制性能，对生产过程中的流量变化能够实时作出响应，从而提高生产效率和产品质量。
总之，质量流量控制器通过测量流体的质量变化并根据设定值进行比较，通过调节阀门开度或系统压力来实现对流量的精确
控制。
它在工业生产中起到了至关重要的作用，有助于提高生产效率、节约能源，并确保产品质量的稳定性。
西仪CS系列200-A,C,D型气体质量流量控制器 质量流量计使用手册说明书
REV. 2.7CS系列200-A,C,D型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2015.12目录控制方式 (20)第一部分产品说明 3.21.1 声明 ................................................... 1 3.3 调零 (20)1.2使用须知 ............................................ 2 3.4 软启动 .. (20)1.3安全注意事项 .................................... 2 3.5 延迟 (21)1.4 概述 ................................................... 3 3.6 阀控制 .. (21)1.5 技术指标 ........................................... 4 3.7 阀类型 .. (21)1.6 标定 ................................................... 5 3.8 多气体多量程 .. (21)1.6.1 标准状况 ........................................ 5 3.9 累积流量 . (21)1.6.2 制造环境 ........................................ 5 3.10 报警 . (22)1.6.3 精度调节 ........................................ 5 3.11 LED指示灯 . (22)第二部分安装第四部分维护2.1 概述 ................................................... 6 4.1 概述 (23)2.2 打开包装 ........................................... 6 4.2 注意事项 . (23)2.3 机械安装 ........................................... 6 4.2.1介质使用要求 (23)2.3.1 概述 ................................................ 6 4.2.2 阀口密封问题 .. (23)2.3.2 安装 ................................................ 13第五部分故障诊断2.3.2.1 1/4″VCR接头安装方法............ 13 5.1 初步检查 . (24)2.3.2.2 双卡套接头的安装方法 ............. 14 5.2 故障检查 . (24)2.4 电气安装 ........................................... 14第六部分保证和服务2.4.1 概述 ................................................ 14 6.1 七星电子有限保证 (25)2.4.2 连接 ................................................ 15 6.2 产品保证 . (25)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 ........ 17 6.3 服务 (26)2.5 工作检查 ........................................... 20 6.4 免责声明 . (27)第三部分功能介绍附录Ⅰ (28)3.1 概述 ................................................... 20附录Ⅱ (31)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第1页 共30页气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册第一部分 产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。
什么是质量流量计,质量流量控制器
什么是质量流量计，质量流量控制器？1什么是质量流量计：质量流量计，英文Mass Flow Meter（简称MFM），用来快速、精确测量过程气体流量大小的精密传感器。
这里讲的质量流量计主要应用于低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在1Mpa以下，最大可达3Mpa；流量范围一般为：0.1sccm-5000slpm；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。
2质量流量计可获得哪些参数：易度质量流流量计可精确获得气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。
3质量流量计的单位：一般为：SLPM（标况下升/分钟）和SCCM(标况下毫升/分钟），均为标况下的体积流量单位，易度标况定义为101.325KPa和25℃。
4质量流量计的构成：易度层流质量流量计主要由层流元件、压差传感器、压力传感器、温度传感器、电路设计、软件算法六部分组成。
5层流压差式质量流量计的工作原理：层流压差原理，基于哈根泊肃叶定律设计的在温度、管径等参数一定的情况下，气体是层流状态时，通过获取层流元件两端的压差信号，计算出体积流量，然后通过温度、压力等参数的修正，获得标准体积流量。
易度质量流量计结构示意图：6质量流量计的通讯：易度质量流量计可通过RS485、profibus等数字信号，0-5V、4-20mA模拟信号或触摸式显示屏面板来进行介质切换、标况定义更改、参数显示等操作。
1什么是质量流量控制器：质量流量控制器，英文Mass Flow Controller（简称MFC），用来快速、精确、稳定控制过程气体的流量大小，是高端自动化设备中的气路控制核心部件。
质量流量控制器主要应用于控制低压、小流量的单一或混合气体，低压一般在1Mpa以下，最大可达3Mpa；流量范围一般为：0.1sccm-5000slpm；单一气体如常见的空气、氦气、氩气等，要求相对干燥、纯净；混合气体则需明确气体种类和比例。
多范围多气体数字式质量流量控制器SEC-Z500X系列
多范围/多气体数字式质量流量控制器SEC-Z500X系列SEC-Z500X系列多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器高性能高端数字式质量流量控制器主要特性1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;2) 超高精度：±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);3) 快速响应：< 1秒 (全量程范围内，任意设置点);4) 非常方便的现场设置操作;5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器，可以最大限度地减少库存;6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;气体接触部件材料：SUS 316L不锈钢(1sccm ~ 50slpm F.S. 类型)； SUS 316L 不锈钢，Viton(氟化橡胶-密封)，PTFE(聚四氟乙烯)，磁性不锈钢(100 ~ 200slpm F.S. 类型)满量程流量SEC-Z512KX: 1/2sccmSEC-Z512X: 10sccm ~ 10slpmSEC-Z522X: 22slpm ~ 50slpmSEC-Z532KVX: 100slpmSEC-Z542KVX: 200slpm特点质量和稳定性HORIBA STEC. 工业领先商优质的稳定性HORIBA STEC，是一个全世界设备制造商的欢呼品牌，其中一个体现就是HORIBA STEC不断供应高质量，高稳定性产品来满足艰难标准。
可靠供应HORIBA STEC 通过三个主要基地为客户迅速可靠供应设备：Kyoto，作为HORIBA STEC的总部；Aso，HORIBA集团的主要制造工厂，以生产最新设备为特色；以及两个位于美国（CA，TX）基地，作为超快供应商。
全球支持全球网络机构值得信赖的支持系统通过全世界的网络分支机构，HORIBA STEC的技术工程师为所有HORIBA STEC 产品提供完全支持。
美国Aalborg流量计相关产品1
1
Aalborg公司简介
Aalborg公司1972年成立,是世界上测量和控 制ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ量的精密仪器制造商.
主要产品有:转子流量计、气体质量流量计和 流量控制器、涡街流量计、涡轮流量计、阀 门和蠕动泵等。
自1995年起，公司经过ISO9001认证，产品 的外观设计和品质得到世界认可。
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主要产品分类
转子流量计； 气体质量流量计； 气体质量流量控制器； 涡街流量计； 涡轮流量计 阀门 蠕动泵
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转子流量计
转子流量计工作原理：
流量计由一个锥形管和一个置于锥形管内可 以上下自由移动的转子(也称浮子)构成。对 于给定的转子流量计，转子大小和形状己经 确定，因此它在流体中的浮力和自身重力都 是已知是常量，唯有流体对浮子的动压力是 随来流流速的大小而变化的。因此当来流流 速变大或变小时，转子将作向上或向下的移 动，相应位置的流动截面积也发生变化，直 到流速变成平衡时对应的速度，转子就在新 的位置上稳定。对于一台给定的转子流量计， 转子在锥管中的位置与流体流经锥管的流量 的大小成对应关系。
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涡街流量计的选型
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涡轮流量计
当被测流体流过传感器时，在流体作用下，叶轮受力
旋转，其转速与管道平均流速成正比，叶轮的转动周
期地改变磁电转换器的磁阻值。检测线圈中磁通随之
发生周期性变化，产生周期性的感应电势，即电脉冲
信号，经放大器放大后，送至显示仪表显示。
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气体质量流量控制器结构图
8
气体质量流量计和流量控制器系列产品
GFM/GFC系列经济型气体质量流量计/ 流量控制器 ；
DFM/DFC系列多参数数字式气体质量 流量计/流量控制器；
CKD-流量控制器1
0100
0ʙ100 /min 1 /min 999999 1 1
注1 ɿ 换算到20ˆ，1个大气压ʢ101kPaʣ下的体积流量。 注2ɿ使用压缩空气的场合，请使用JIS B 8392-1ɿ2003、等级为1.1.1ʙ1.6.2的净化空气。从压缩机出来的空气中含有冷凝水（水、氧化油、异物
50
50
20ʙ150 30ʙ150
50
50
20ʙ150 30ʙ150
0020 150 100ʙ300 150 100ʙ300
0050 200 150ʙ300 200 150ʙ300
0100 300 250ʙ350
流量范围ɹˎ1 L0002 20
5ʙ50
L0005 20
5ʙ50
L0010 20
10ʙ50
0ʔ5 VDCʢ10kЊʣɹʗɹ4点(2位)
4ʔ20 mADCʢ250Њʣɹʗɹ4点(2位)
并行10位ɹʗɹ没有
模拟输出ɿ1-5Vʢ连接负荷阻抗500kЊ以上ʣ
报警输出ɿ̣̥̣开式接插件输出，50mA以下ɺ电压降2.4V以下
模拟输出ɿ1-5Vʢ开式接插件输出500kЊ以上ʣ
报警输出ɿ̥̣̥开式接插件输出，50mA以下，电压降2.4V以下
设定的ʶ5%F.S.时0.5秒以内ʢTYPʣ 设定的ʶ5%F.S.时1秒以内ʢTYPʣ
ʶ3%F.S.以下
重复精度
ʶ1%F.S.以下温度Fra bibliotek性ʶ0.1%F.S./ˆ以下ʢ25ˆ为基准ʣ
压力特性
在98kPa左右，ʶ1%F.S.以下ʢ标准差压为基准ʣ
标准差压
注4
参照其它表格
压力
动作差压范围
保证耐压力
ˎ3
质量流量控制器原理及选型教程（1）
质量流量控制器原理及选型教程（1）1. 什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？质量流量计，即Mass Flow Meter （缩写为MFM ）, 是⼀种精确测量⽓体流量的仪表，其测量值不因温度或压⼒的波动⽽失准，不需要温度压⼒补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller （缩写为MFC ）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能⾃动控制⽓体流量，即⽤户可根据需要进⾏流量设定，MFC ⾃动地将流量恒定在设定值上，即使系统压⼒有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是⼀个稳流装置, 是⼀个可以⼿动设定或与计算机联接⾃动控制的⽓体稳流装置。
2. 质量流量控制器的原理是什么？质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放⼤控制器等部分组成。
质量流量控制器的剖⾯结构图见图1。
⽓体流量传感器采⽤⽑细管传热温差量热法原理测量⽓体的质量流量(⽆需温度压⼒补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送⼊放⼤器放⼤, 放⼤后的流量检测电压与设定电压进⾏⽐较, 再将差值信号放⼤后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与质量流量控制器配套的流量显⽰仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
⽓体质量流量控制器与流量显⽰仪连接后的⼯作原理如图2所⽰。
流量显⽰仪质量流量计分流器通道传感器⼊⼝I 调节阀驱动阀控-15V +15V 0V ~220V 电源流量显⽰100.0(0 ~ +5.00V)setout 放⼤器⽐较器COM 设定+5.00V内(0 ~ +5.00V)外+15V出⼝-15V清洗关闭0 电平流量检测设定质量流量控制器图1. 质量流量控制器结构图图2. 质量流量控制器原理图3. 怎么理解质量流量计/质量流量控制器的流量单位？⽓体质量流量单位⼀般以sccm （Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟标准毫升）和slm （Standard Liter per Minute,每分钟标准升）来表⽰。
D07-9E型质量流量控制器和质量流量计使用手册说明书
D07 - 9E 型质量流量控制器D07- 9EM型质量流量计使 用 手 册版本2015. 12目录1. 使用须知................................... 1 6.2.1 开机预热.. (18)2. 用途和特点................................ 2 6.2.2 检查和调整零点. (18)3. 主要技术指标............................. 3 6.2.3 通气工作. (18)4. 结构和工作原理.......................... 5 6.2.4 关机. (18)4.1 结构....................................... 5 7. 注意事项.. (18)4.2 工作原理................................. 6 7.1 禁用流量介质 (18)5. 安装和接线 .............................8 7.2 使用腐蚀性气体问题 (18)5.1 外形及安装尺寸........................8 7.3 阀口密封问题 (19)5.2 气路接头形式...........................9 7.4 阀控操作注意 (19)5.3 连接电缆插头...........................11 7.5 安装位置问题 (19)5.4 与计算机信号的连接..................13 7.6 注意工作压差 (19)5.5 调零和外调零...........................15 7.7 标定和不同气体的换算 (19)6. 使用方法和操作步骤..................16 7.8 D07-9E, 9EM标准订单填写格式 (20)6.1 质量流量控制器的操作...............16 8. 故障判断和处理.. (23)6.1.1 开机操作...............................16 9. 保证、保修与服务.. (25)6.1.2 清洗功能...............................17 9.1 产品保证和保修.. (25)6.1.3 显示仪与计算机连接的操作.......17 9.2 保修对使用的要求.. (25)6.1.4 直接与计算机连接的操作..........17 9.3 服务.. (25)6.1.5 阀控功能...............................17 10. 附录 (26)6.1.6 关机操作...............................17 10.1 气体质量流量转换系数.. (26)6.2 质量流量计的操作....................18 10.2 转换系数使用说明.. (28)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册 1. 使用须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的D07系列质量流量控制器/质量流量计产品。
质量流量控制器安全操作及保养规程
质量流量控制器安全操作及保养规程概述质量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是用于精确调节气体流量的设备。
在工业和科研领域中广泛应用，具有高精度、高可靠性等优点。
为确保工作场所的安全和保证设备的正常运行，需要制定质量流量控制器的安全操作规程和保养规程。
安全操作规程1. 设备安装在安装设备之前，需要检查设备是否存在明显的损坏或缺陷，检查安装环境是否满足设备的使用要求。
按照设备说明书中的要求进行安装，保持设备稳定，避免受到冲击或振动。
2. 气源接口操作连接气源之前，确保气源为干净、干燥的气体，如果需要清洗气源，请使用合适的气体过滤器进行过滤。
连接气源时，需要使用正确的接头和密封垫，确认连接是否紧固。
3. 电子接口操作将设备连接到相应的电子设备时，请遵循设备说明书中的要求。
确认连接情况是否准确，使用正确的线缆连接设备。
4. 设备调节在设备调节过程中，要遵守设备说明书中的规定。
在调节过程中，不要强行旋转仪表，以免损坏设备。
5. 设备维护定期检查设备的运行状况。
当设备出现故障时，需要及时联系设备的维修人员进行维修。
不要尝试自行维修设备，以避免造成更多的损伤。
6. 设备关闭关闭设备时，需先将气源关闭，等待设备内残留气体完全排放干净后再关闭电源。
在安全关闭设备之前，需确认设备内的任何残留气体均已排放干净。
保养规程1. 清理设备设备长时间使用后，容易出现气体污染堵塞等情况。
为保证设备正常运行，需对设备进行定期的清理。
清理时需要先断开气源，使用合适的清洁剂进行清洗，切勿使用酸碱性溶液进行清洗。
2. 润滑设备为了保障设备正常工作和延长设备寿命，需要进行适当的润滑。
使用指定的润滑油或润滑剂，按照设备说明书中的要求进行润滑。
3. 更换零部件设备长时间使用后，可能需要更换某些易损件或老化的部件。
需要按照设备说明书中的要求进行更换。
4. 设备校准设备在使用过程中有可能产生误差，需要进行校准。
设备校准需要在设备停止运行时进行，按照设备说明书中的要求进行操作。
质量流量控制器SEC-E系列
质量流量控制器 SEC-E系列概要所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。
流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。
体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，必须对温度和压力进行调整。
而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。
在必须对流量进行精确计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
特征•适用于宽广范围的流量控制，其控制范围可以从0.2 SCCM到500 SLM（以N2为标准）•被广泛的使用于全球的制造业，从一般工业到高科技产业。
規格技术规格型号SEC- (质量流量控制器)E40/E40MK3 E50/E50MK3 SEF- (质量流量计)E40 E50适用气体种类*1 非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) 气体接触部材质SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢阀门型号非通电时关闭标准流量量程(N2相应F.S.) 10/20/30/50/100/ 200/300/500SCCM 1/2/3/5/10 SLM20/30 SLM流量控制范围2〜100% F.S.(适于SEC系列)流量测量范围(适于SEF系列)0〜100% F.S.响应速度1秒以内(T98)流量精度±1% F.S.直线性±0.5% F.S.反复性±0.2% F.S.工作差压值值(适于SEC系列)10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d) 使用压力(适于SEF系列)300kPa(G)以下耐压1MPa(G)以下外部泄漏率1×10-8Pa・m3/s(He)以下使用环境温度5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)流量设定信号0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F.S.流量输出信号0〜5VDC(最小负荷电阻2kΩ)驱动电源+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5%150mA 3VA＋15VDC ±5% 50mA −15VDC±5% 200mA 3.9VA标准接头*2 1/4SWL 类型型号SEC- (质量流量控制器)E60 E70 E80 SEF- (质量流量计)E60 E70 E80适用气体种类*1 N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10N2、O2、Air、H2气体接触部材质SUS316.氟化橡胶、磁性不锈钢阀门型号非通电时关闭标准流量量程 (N2相应F.S.)50/100 SLM 200 SLM 300/500 SLM 流量控制范围 (适于SEC系列)5〜100% F.S.流量测量范围 (适于SEF系列)0〜100% F.S.响应速度1秒以内(T98) 2秒以内(T98) 流量精度±1% F.S. ±2% F.S. 直线性±0.5% F.S. ±1% F.S. 反复性±0.5% F.S. ±1% F.S. 工作差压值值(适于100〜300kPa(d) 200〜350kPa(d)SEC系列)使用压力 (适于SEF系列)350kPa(G)以下耐压1MPa(G)以下外部泄漏率1×10-7Pa・m3/s(He)以下450kPa(G)加压10分钟减压1%以内使用环境温度5〜45℃(精度的确保：15〜35℃)流量设定信号0.25〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/5〜100% F.S.流量输出信号0〜5VDC(最小负荷电阻2kΩ)驱动电源＋15VDC ±5% 50mA −15VDC ±5% 200mA 3.9VA标准接头*2 3/8SWL 类型1/2SWL 类型*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
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阻0-500 ohms）最大噪音干扰±20mV
峰值
电源保护
电路板有内置极性保护电路。保险丝提
供电源输入保护
接液材质
316不锈钢、416不锈钢、铜和Viton®O
型圈 可选氯丁橡胶O型圈。
方位灵敏度
水平到垂直旋转低于15度；标准校准是
在水平位置
连接
DFC26：1/4"卡套螺纹
DFC36：1/4"卡套螺纹
数字质量流量控制器
DFC
带有数字信号处理的 可编程质量流量控制器
基于微处理器技术的数字流量控制器，可以通过 RS-485（可选RS-232）接口与计算机连接，进行编程、记 录和分析各种气体的流量。
该控制器可以通过编程实现多种功能：设定控制值、流 量累积、停止累积、读累积值、按预设的流量启动累积，按 预设总量停止累积、自动零点调整等。
DFC4600：标准 3/8"卡套螺纹
可选1/8"或3/8"卡套螺纹或1/4"VCR®
电源
±15 VDC 450mA最大电流
校准选项
标准10点NIST校准 可选10种气体标定
数据 （另收费）
可选的显示
继电器 为用户提供两个干接触继电器输出用于连接其他设
备。通过数字接口编程，指定的事件发生时，可以触发继 电器开关动作。（如：当流量上下限报警时，或者当累积 量达到设定值时） 阀门超控性
累积器
DFC控制器集成了记录气体 累积量的功能，总气体累积量是 通过实际气体瞬时流量和时间积 分计算的。
数字接口提供的功能有
累积值清零 启动/停止流量累积 读累积值 按预设流量启动累积 按预设的总量停止累积
13
DFC
多气体标定
DFC可存储最多10种气体的标定数据。因此同一台DFC 能实现多种气体的精确测量。
用惠斯顿电桥来测量温度感应绕组的温度变化差值。 惠斯顿电桥的输出通过ADC(模数转换)转换成12位的数字 信号。
微处理器和非易失性存储器存储了所有的标定数据，直 接控制操作比例电磁阀。这个数字闭环控制系统不断的比较 当前的流量值与设定值，如果与设定值偏离，通过调整阀门 进行修正，PID算法运算实现高精确度的控制。根据被测气 体的流量大小输出0…5VDC或者4…20mA信号。
特殊温度和压力需要特殊校准
重复性
±0.15%满量程
响应时间
设定点在满量程的20%-100%时，
0.6-1.0秒内达到±2 %精度
温度系数
小于0.05%满量程/℃
压力系数
小于0.01%满量程/psi（0.07bar）
推荐气体压力 25 psig（1.73bar）
最大气体压力 1000 psig（70bar）
转换系数
DFC最多可存储256种气体的转换系数，通过数字接口 控制，转换系数从任何存储在仪表内的十种气体标定数据 中转换。
流量报警
通过数字接口，可以编程流量报警的上下限报警。报 警状态可以通过数字接口显示或者直接关闭阀门。
可编程流量
AALBORG 软件支持可编程流量模式，最多可执行十 段用户编程。各种流量参数配置包括：斜率、线性上升或 下降模式。
15
数字质量流量控制器
标准电缆 提供传感器
DFC
16
通过模拟或数字接口，可以使控制阀完全打开（吹扫模 式）或关闭。 自诊断测试
在重新上电时，DFC将运行自诊断测试，保证阀门在最 优的工作状态。
14
数字质量流量控制器
DFC26质量流量控制器尺寸
24-PIN D-CONNECTOR MALE
FLOW
DFC
工程单位
通过数字接口，可以设定流量设定点，瞬时流量和累积 值为指定工程单位。可编程的单位有：百分比、mL/min、 mL/hr、 scfm、scfh、sL/min、sL/hr、lbs/hr、lbs/min以及 用户自定义的测量单位。
最大压差
DFC2600和DFC3600 50psi（3.4 bar）
DFC4600 40 psi（2.8 bar）
气体和环境温度 41℉-122℉（5℃-50℃）
通讯接口
标准：RS485 可选RS232
输出信号
线性度0-5VDC,（最小负载电阻
2000ohms）0-10VDC, （最小负载电
阻4000ohms）0-10mA 可选（回路电
特点
同时输出数字和模拟信号 可编程流量配置 最多可以连接256台设备 最多可存储10种气体标定数据 累计显示气体总量 气体流量上下限报警 最多可达256种气体转换系数 自动优化控制 自诊断检测
操作原理
被测气体分成两个层流区，一个通过主流量管道，另一 个通过毛细管。独特的设计确保两个管路里的流体都是层流 状态，因此两个管路的流量比是恒定的。工作时，毛细管上 两个精确的温度感应绕组被加热，当有流量时，被加热的气 体从上游到下游流动，在两个感应绕组之间产生了温差，温 差与电阻的变化成比例关系。
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数字质量流量控制器
接口
通过RS485（可选RS232）数 字接口可操作仪表参数包括：流量 设定点、瞬时流量、零点调整、线 性调整。模拟接口提供0…5VDC， 0…10VDC和4…20mA输入输出
自动零点调整
当流量设定点低于满量程2% 时，DFC将自动调整零点。这时， 控制阀门将完全关闭。通过数字信 号的控制可以取消，确认或存储当 前的自动零点。
自动调整
DFC的自动调整功能允许在实际的操作条件下自动优化控 制气体。在自动调整过程中，自动调整PID值以达到优化目 的（最大流量小于80L/min时可用）。
数字质量流量控制器
DFC
特性
精确度
15℃到25℃和5-60psia±1 %满量程
(包括线性度) 0℃到50℃和5-150psia ±2 %满量程
泄漏率
氦气最大泄漏率为1×10-9 sml/sec。
电源
DFC流量控制器供电电源为：±15VDC，这种电源要求 正负极电源对称，这样减少了公共的连接线，提高了电源的 利用效率。在±15VDC时最大功率是13.5瓦特。
DFC26质量流量控制器尺寸
25-PIN D-CONNECTOR MALE
FLOW
* FOR HIGH FLOW MASS FLOW CONTROLLERS