气体质量流量控制器中文说明
堀场汇博隆(C)S48 300HMT流量计、流量控制器说明书
气体质量流量控制器（流量计）S48 300/HMT使用说明书(Ver.2.0)北京堀场汇博隆精密仪器有限公司目录1、概述 (1)2、术语符号 (2)3、工作原理 (5)4、技术指标 (7)5、产品安装 (8)6、使用方法和操作步骤 (16)7、数字通讯功能使用方法和操作 (18)8、通讯协议编码格式 (20)9、警告和注意 (25)10、故障判断和处理 (28)附录一：通信指令集 (31)附录二：标定和不同气体的换算 (34)1、概述本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。
不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。
由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。
具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。
协议简单可靠，兼容性强，易于组网。
配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。
气体流量不因温度、压力的变化而变化。
气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。
0131.气体质量流量控制器(MFC)与气体质量流量计(MFM)
气体质量流量控制器（MFC）与气体质量流量计（MFM）MFC是带有控制气体质量流量的装置，而MFM是不具有控制气体质量流量功能的装置。
MFC为Mass Flow Controller的缩写，即质量流量控制。
流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。
质量流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的T型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。
计算机解算出流经振管的质量流量。
不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。
安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。
质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。
由于变送器是以单片机为核心的智能仪表，因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。
质量流量计组态灵活，功能强大,性能价格比高，是新一代流量仪表。
测量管道内质量流量的流量测量仪表。
在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下，若仅测量体积流量，则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。
在容积式和差压式流量计中，被测流体的密度可能变化30％，这会使流量产生30～40％的误差。
随着自动化水平的提高，许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。
化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。
蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。
产品质量的严格控制、精确的成本核算、飞机和导弹的燃料量控制，也都需要精确的质量流量测量。
因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。
质量流量计可分为两类：一类是直接式，即直接输出质量流量；另一类为间接式或推导式，如应用超声流量计和密度计组合，对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。
AST10-DX使用说明书(1)
目录1.产品介绍 (2)1.1用途与特点 (2)1.2主要技术指标 (3)1.3 工作原理 (3)2.快速安装指导 (4)2.1外形及安装尺寸 (4)2.2气路接头形式 (5)2.3电缆连接插头 (5)3.功能操作详解 (6)3.1综述 (6)3.2常用操作 (6)界面说明 (6)按键操作说明 (8)功能表树形结构 (9)3.3功能操作详解 (10)3.3.1 流量设定 (10)3.3.2 启动/停止流量累积 (10)3.3.3 流量累积值清零 (11)3.3.4 流量小信号切除 (12)3.3.5 流量系数 (13)3.3.6 流量零点设置 (15)3.3.7 设备轮询地址设置 (16)3.3.8 环路输出测试 (17)3.3.9 控制模式转换 (18)3.3.10 设置输出阻尼值 (19)4.注意事项 (21)4.1 加装过滤器 (21)4.2 使用腐蚀性气体和有机溶剂气体问题 (21)4.3 安装位置问题 (21)4.4阀口密封问题 (21)4.5标定与不同气体的换算................................................................... ..215.一般异常情况判断和处理 (21)6. 保证、保修与服务 (22)6.1 产品保证和保修 (22)6.2 保修对使用的要求 (22)6.3 服务 (23)附录：气体流量转换系数表 (23)附录：通讯协议 (25)注：说明书内部的所有图片仅供参考，请以实物为准。
1.产品介绍1.1用途与特点质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。
其典型的应用场合包括：电子工艺设备，如扩散、外延、CVD、氧化、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。
MFC-UT系列 气体质量流量计说明书
MFC-UT 系列气体质量流量计HP1:132****2805|HP2:186****5969|********************GAS MASS FLOW METER中国·山东·青岛产品规格书SPECIFICATION安装及使用前请先仔细阅读本规格书规格书中包含《产品保修卡》请保管好请遵守产品规格书里标记的警告和注意事项Datasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3产品概述DescriptionM F C -U T 系列质量流量控制器（M a s s Flow Controller）是基于业内先进流量传感器芯片，结合高速数字处理技术和智能补偿算法，所开发的一款紧凑型的气体质量流量控制器产品。
该产品配备有高端电磁比例阀、航空级铝合金气路座、高精度微机电流量芯片等，对比传统的气体流量控制器，本产品采用集成化设计，使得该产品的体积大幅度缩小，可以在小体积、便携式设备中发挥更大优势，更好的适用于空间要求严格的安装场景。
产品应用Applications良好的重复性和再现性配气仪燃烧控制器质谱仪表面处理食品和制药过程控制气体分析仪产品规格Specification尺寸图DimensionDatasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3参数说明环境条件电气参数通信接口（RS485）机械参数单位：mm67G 1/8OR G1/87.52618302M446安装尺寸洁净干燥无腐蚀性气体空气、氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氢气、甲烷、氧气等(0～20, 50, 100, 200, 500) SCCM (0～1, 2, 3, 5) SLM读数误差的1%或满量程误差的0.8%，二者取最大值最低0.01SCCM ≤0.7S ±0.2%F .S ±0.5%F .S1×10 Pa·m /sec He -11310bar0~50℃10%~90%RH （无结冰，无凝露）0~1MPa -20~85℃介质要求介质种类量 程精 度分辨率响应时间重复精度线 性漏 率最大耐压工作温度工作湿度工作压力储存温度协 议设备地址最大节点数接头类型主体材质密封材质重 量供电电压功 耗启动时间预热时间接口类型通信速率RS485（默认Modbus-RTU ，可定制私有协议）1(默认)-250(可通过指令或者上位机修改)250卡套：8mm、12mm、 3/8 inch ，快插：6mm ，8mm ，其它可选底座：航空铝合金，外壳：碳钢FKM氟橡胶0.35kgDC24V ， 纹波 ≤50mV ＜2.4W ＜1s ＜10ms RJ45接口4800, 9600(默认), 14400, 19200, 38400, 56000, 57600, 115200,128000,230400, 256000, 460800, 500000（可通过指令或者上位机修改）Datasheet MFC-UT |AUG.17 2021 | Version 1.3产品选型Product choosing安全及保修Safety And Warranty产品用于有害气体或爆炸性气体时，须严格按照产品使用说明或咨询公司技术人员。
气体流量控制器使用方法说明书
气体流量控制器使用方法说明书一、产品概述气体流量控制器是一种用于控制气体流量的设备，广泛应用于实验室、工业生产和科研领域。
该控制器具有精确的流量调节功能，能够满足不同场景下的需求。
二、产品特点1. 精准控制：气体流量控制器采用先进的控制算法，能够精确地调节气体流量。
用户可以根据需要设置目标流量值，控制器将自动调整阀门开度以实现稳定的流量输出。
2. 多种输入接口：该控制器支持多种输入接口，包括模拟信号输入和数字信号输入。
用户可以根据实际需求选择适合的接口类型，方便接口设备的连接和使用。
3. 易操作性：气体流量控制器具有友好的操作界面，用户可以通过触摸屏或按钮进行参数设置和流量调节。
同时，设备还配备了清晰的显示屏，可以直观地显示当前的流量数值和工作状态。
4. 高稳定性：该控制器采用优质的传感器和执行机构，具有高稳定性和可靠性。
即使在不稳定的工作环境下，其控制效果也能保持稳定，不会受到外界干扰。
5. 多种保护功能：气体流量控制器具备多种安全保护功能，包括过压保护、过流保护和过热保护等。
当探测到异常情况时，控制器会自动停止工作并发出警报，以确保系统安全稳定。
三、使用步骤1. 准备工作：将气体流量控制器连接到电源，并接好相应的气体输入管道。
确保设备处于平稳的工作环境，并保持通风良好。
2. 参数设置：打开气体流量控制器的操作界面，根据实际需求设置目标流量值和其他相关参数。
在设置参数时，可以参考用户手册中的详细说明进行操作。
3. 流量调节：确认参数设置完成后，打开气体流量控制器的阀门，并开始对气体流量进行调节。
可通过触摸屏或按钮进行流量调节，也可以根据需要选择自动控制模式。
4. 监测和记录：在使用过程中，可以通过显示屏实时监测当前的流量数值，并记录下相关数据。
这有助于用户进行后续实验和分析。
5. 安全维护：在使用结束后，及时关闭气体流量控制器的阀门，并将其断开电源。
定期清洁设备，保持其正常的工作状态。
四、注意事项1. 请务必按照使用说明书进行正确操作，避免人为损坏设备或造成安全隐患。
气体质量流量控制器 MFC 流量传感器说明书
气体质量流量控制器 MFC 流量传感器产品名称气体质量流量控制器 MFC 流量传感器公司名称北京堀场汇博隆精密仪器有限公司价格8000.00/个规格参数建议零售价:¥8000.00加工定制:否品牌:HORIBAMETRON/堀场汇博隆公司地址北京市朝阳区北苑路40号23号、25号联系电话010-******** 130********产品详情提示：以下模板中任意文字及图片均可执行修改、复制、删除的操作，添加更多的图片和文字描述有助于增加产品对买家的吸引力。
产品介绍产品信息重量： 2.8kg毛重： 2.8kg 产地： 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司流量规格流量规格： （100,150,200)l/min 调节阀类型：电磁调节阀 调节阀静止状态： 常闭 准确度： ± 1.0%f.s. 线性： ±0.5%f.s.重复性精度： ±0.2%f.s.响应时间：2s（t98）产品性能简介企业介绍北京堀场汇博隆精密仪器有限公司是一支由中方经营管理，中日双方共同协作的国际化团队，是由全球顶级热式质量流量控制器（mfc）制造商——horiba stec与中国知名热式质量流量控制器(mfc)制造商——北京汇博隆仪器有限公司共同出资成立，是以研发、生产、销售热式质量流量控制器为主业的高新技术企业。
公司经营层和整个国际化团队坚持"群策群力，持续发展，立足国内，走向世界"的企业总体发展方向。
力循"中外结合，品质为本"的经营理念，努力在人才、技术、生产、工艺、质量、市场、服务等各个方面引入和完善现代企业经营管理机制，以适应全球经济一体化的市场竞争，为加速我国相关产业的不断发展贡献一份力量。
企业证书购买须知1、货源说明厂家一手货源，公司生产周期短、产品品质有保证2、关于尺码与使用手册里尺寸一致，以收到实物为准3、关于颜色本店产品均为实物拍摄， 与实物平铺图最为接近，收到实物与图片颜色不一致的，可能与电脑显示器的色彩对比度和色温等因素有关4、关于客服如您的提问未能及时回复，可能是因为咨询量过大或系统故障5、关于售后6、关于发货合作快递 中通、德邦本产品的建议零售价是¥8000.00，加工定制是否，品牌是HORIBAMETRON/堀场汇博隆，型号是S4828，类型是质量流量计，测量范围是12（m3/h），精度等级是1.0%，适用介质是气体，工作压力是3（MPa ），工作温度是5~45（℃），产品属性是仪器仪表。
MIC20说明书
(MIC系列)气体质量流量计/控制器使用手册北京杰易斯科技有限公司目录1.用途和特点 (3)2.主要技术指标 (4)3.结构工作原理 (5)4.安装和接线 (7)5.使用方法和操作步骤 (12)6.注意事项 (14)7.气体质量流量转换系数 (15)8.保证、保修与服务 (18)气体质量流量控制器/流量计技术说明书1、用途和特点气体质量流量控制器（Mass Flow Controller）/气体质量流量计(Mass Flow Meter)可以对气体的质量流量进行精密测量和控制。
它在多个领域的科研和生产中有着重要而广泛的应用。
对产品性能和生产工艺的不断改进，质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等（可以使用在高压及真空系统）特点。
操作使用方便，可任意位置安装，配合流量显示仪或其他流量控制器显示仪使用，也可直接同计算机实现RS-232各和RS-485连接，非常方便的实现自动控制。
它也可以作为气体质量流量计使用。
注意：本公司产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。
质量流量控制器出厂通常用氮气（N2）标定。
质量流量的单位规定为:SCCM(标准毫升/分);SLM(标准升/分)标准状态规定为:温度---273.15K(0℃);气压—-101325Pa(760mm Hg)F.S(Full Scale):满量程值2、主要技术指标:基本型号MIC20满量程流量范围(N2)SCCM0～5，10，20，30，50，100，200，500 SLM0～1,2,3,5,10,15,20,30精度(％F.S)±1(≤15SLM)±2(＞15SLM)控制阀动作型式常闭式线性(％F.S.)±1(≤15SLM)±2(＞15SLM)重复精度(％F.S.)±0.2响应时间(sec)≤1流量输出信号0-+5V流量设定信号0-+5V电器接头DB15pin(接头)工作环境温度(℃)5～45工作压差(MPa)0.05～0.5漏率SCCSHe1×10-8最大耐压3MPa介质接触材质316L不锈钢和密封材料密封材料氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯,金属密封接头尺寸VCR1/4”Swagelok1/8”、1/4”或φ3、φ6mm电源要求+15V,50mA;-15V,200mA 重量 1.2KG3.结构工作原理图一气体质量流量控制器的工作原理气体质量流量控制器由传感器，分流器通道，流量控制调节阀和放大控制电路等部件组成。
上海凯撒控制 230A 型气体质量流量控制器 质量流量计 使用手册说明书
CS系列230A型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2015.12目录第一部分产品说明 3.2 控制方式 (19)1.1 声明................................................... 1 3.3 调零 (19)1.2使用须知............................................ 2 3.4 软启动 .. (19)1.3安全注意事项.................................... 2 3.5 延迟 (20)1.4 概述................................................... 3 3.6 阀控制 .. (20)1.5 技术指标........................................... 3 3.7 阀类型 .. (20)1.6 标定................................................... 5 3.8 多气体多量程 .. (20)1.6.1 标准状况 ........................................ 5 3.9 累积流量 . (20)1.6.2 制造环境 ........................................ 5 3.10 报警 . (20)1.6.3 精度调节 ........................................ 5 3.11 LED指示灯 . (21)第二部分安装第四部分维护2.1 概述................................................... 5 4.1 概述 (21)2.2 打开包装........................................... 6 4.2 注意事项 . (21)2.3 机械安装........................................... 6 4.2.1介质使用要求 (21)2.3.1 概述................................................ 6 4.2.2 阀口密封问题 .. (22)2.3.2 安装................................................ 12 第五部分故障诊断2.3.2.1 1/2″VCR接头安装方法............ 12 5.1 初步检查 . (22)2.3.2.2 双卡套接头安装方法 ................. 12 5.2 故障检查 . (22)2.4 电气安装........................................... 13 第六部分保证和服务2.4.1 概述................................................ 13 6.1 七星电子有限保证 (24)2.4.2 连接................................................ 13 6.2 产品保证 . (24)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 ........ 16 6.3 服务 (25)2.5 工作检查........................................... 19 6.4 免责声明 . (25)第三部分功能介绍附录Ⅰ (26)3.1 概述................................................... 19 附录Ⅱ (31)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册 第一部分产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。
气体质量流量计说明书
气体质量流量计说明书
气体质量流量计说明书
一、产品简介
气体质量流量计是一种能够直接测量气体质量流量的仪器，其采用微差压传感器或振动传感器作为测量传感器，通过测量气体流动时产生的微小压差或振动信号来确定气体流量。
气体质量流量计具有测量准确、响应快、稳定性好、结构简单等特点。
二、产品参数
1. 测量范围：0-5000Nm3/h；
2. 精度等级：0.5级、1.0级、1.5级可选；
3. 工作压力：≤10MPa；
4. 工作温度：-15℃~+60℃；
5. 信号输出：4~20mA、RS485、HART可选；
6. 电源电压：DC24V；
7. 防护等级：IP65。
三、使用说明
1. 安装前请确认气体质量流量计与被测气体管路的连接口尺寸一致，并进行紧固；
2. 开机前请确认电源电压稳定，连线正确；
3. 根据被测气体的种类、压力、温度等参数，选择合适的量程和精度等级；
4. 检查气体质量流量计的电源、信号输出、显示屏等部分是否正常；
5. 启动气体质量流量计后，请等待一定时间进行稳定，再进行测量或调整。
四、注意事项
1. 请勿在高温、高压或腐蚀性气体环境下使用；
2. 请勿将气体质量流量计移动或震动；
3. 请勿拆卸气体质量流量计，需要进行维修请联系专业人员；
4. 长时间不使用时请将气体质量流量计存放在干燥、通风的地方；
5. 在使用气体质量流量计时，请注意保持安全距离，避免发生意外伤害。
以上为气体质量流量计的使用说明书，如有其他疑问请联系厂家客服。
SC200气体质量流量控制器使用说明书
使用说明书instruction manual陕西易度智能科技有限公司Shaanxi Yidu Intelligence Technology Co., Ltd.地址：陕西省西安市经济技术开发区草滩十路1787微信公众号公司网站基于哈根-泊肃叶定律（Hagen-Poiesuille Law ）设计，该定律描述了在温度、管径等参数一定的情况下，圆管内的不可压缩流体是层流运动状态时，体积流量与压降线性相关。
通过读取层流元件两端的压差信号，计算出体积流量，再对该体积流量进行压力和温度修正，从而获得标准体积流量和质量流量。
微型计算机将测量值与设定值进行对比，根据差值自动调一、工作原理图:产品外观图1 图产品外观图2:图快插接头示意图:卡套接头：卡套接头的安装方法如下图所示，将公头螺母拧到控制器进出口处，将管子接上前卡套、后卡套和螺母，再用扳手拧紧，以保证不漏气。
注意：拧螺母时使用双扳手，一只卡住接头不动，另一只旋转螺母，否则容易引起接头松动，影响密封。
图卡套接头示意图:）VCR 接头：控制器上不直接配备VCR 接头，VCR 即可。
内容1818（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输出＋（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输入＋２４ＶＤＣ－２４ＶＤＣ＋空图卡套—VCR 转接图:（０－５）Ｖ／（４－２０）ｍＡ输入图:控制器显示界面（L）图:控制器显示界面（ml）其中，显示界面具体定义如下：温度：被测工质温度；压力：被测工质绝对压力，支持压力单位切换Ｋｐａ、Ｍｐａ、ＰＳＩ依次切换点击压力区域可切换压力单位；量程：控制器所测最大流量。
图:详细操作界面执行“自动校准”操作时，应确保无气体流动。
长时间在超压力或温度测量上（下）限的工况下工作，会对控制器造成不可逆损伤，导致较大测量误差。
图:高级菜单界面界面图:单一工质选择界面图:详细操作界面图:详细操作界面对洁净，必要时，须在气路中加装过滤器等。
如拆卸，需确保管路内无气体残留。
图:产品主界面图:流量设定界面图:设定方式选择界面若选择屏幕控制，在数字键盘上输入需要控制的目标流量，产品主界面“设定流量”区域显示当前设定的目标流量。
气体质量流量控制器中文说明
气体质量流量控制器中文说明气体质量流量控制器中文说明1.引言1.1 目的1.2 范围1.3 定义2.产品概述2.1 产品描述2.2 主要特点2.3 应用领域3.技术规格3.1 输入电源要求3.2 输入信号范围3.3 输出信号范围3.4 控制精度3.5 工作温度范围3.6 环境湿度要求3.7 安装要求3.8 外观尺寸4.使用方法4.1 安装步骤4.2 连接电源和信号线 4.3 配置参数4.4 开启气体流量控制5.维护与保养5.1 定期清洁5.2 系统校准5.3 保养注意事项6.故障排除6.1 常见故障及解决办法7.安全须知7.1 使用前的安全检查 7.2 安全操作规范8.售后服务8.1 保修政策8.2 技术支持8.3 常见问题解答9.附件9.1 产品连接图9.2 配置参数表9.3 维修记录表法律名词及注释：1.著作权法：指对作品的创作权、署名权、修改权、发表权等权利的保护法律。
2.商标法：指对商标的注册、使用等行为进行管理和保护的法律。
3.消费者权益保护法：指保护消费者合法权益，促进商品和服务质量提高的法律。
4.产品责任法：指规定生产者、销售者因产品造成消费者人身伤害或财产损害应承担法律责任的法律。
本文档涉及附件：1.产品连接图：详细展示气体质量流量控制器的各个部件之间的接口连接关系。
2.配置参数表：列出气体质量流量控制器的各项配置参数及其默认值，供用户参考。
3.维修记录表：记录气体质量流量控制器的维修情况、日期、维修人员等信息，用于售后服务和维修记录的管理。
气体质量流量计使用说明书
气体质量流量计使用说明书使用说明书一、概述气体质量流量计是一种测量气体质量流量的仪器，可用于各种工业和实验室应用。
本使用说明书将详细介绍气体质量流量计的使用方法和注意事项。
二、产品特点1. 高精度：该气体质量流量计采用先进的传感技术，能够精确测量气体质量流量，保证数据准确性。
2. 宽测量范围：此气体质量流量计的测量范围广泛，可适用于各种气体流量测量需求。
3. 稳定可靠：该气体质量流量计采用优质材料制造，具有良好的耐腐蚀性和耐高温性能，可在恶劣的工作环境中长期稳定工作。
三、使用步骤1. 连接气源：将气体质量流量计与气源管道连接，确保连接紧固，无泄漏。
2. 打开气源：打开气源阀门，使气体流经气体质量流量计。
3. 设置参数：按照需要测量的气体种类和流量范围，在仪器上设置相应的参数。
4. 读取数据：待气体质量流量计稳定后，读取显示屏上的数据，即可得到气体质量流量的测量结果。
四、注意事项1. 安装位置：应选择在无振动、无强磁场干扰的环境中安装气体质量流量计，避免影响其正常工作。
2. 清洁保养：定期清洁仪器的传感器和管道，避免堵塞或污染影响测量准确性。
3. 防护措施：对于易燃易爆气体的测量，请采取相应的防护措施，避免发生意外。
4. 使用环境：请确保气体质量流量计工作环境温度在规定范围内，避免温度过高或过低影响仪器正常使用。
5. 注意事项：在使用过程中，需遵循操作手册上的注意事项，谨慎操作，以确保人员安全和仪器正常运行。
五、故障排除1. 仪器显示异常：若仪器显示异常或无法正常工作，请检查电源和连接情况，确保电源正常供应和连接无误。
2. 测量误差大：若测量误差大，可进行标定或校正，确保仪器的准确性。
3. 其他故障：若遇到其他故障无法排除，请联系售后服务人员进行维修或更换。
六、技术支持如需更多有关气体质量流量计的技术支持或售后服务，请联系以下方式：电话：XXX-XXXXXXX邮箱：*************七、免责声明1. 本使用说明书仅供参考，实际操作前请详细阅读产品说明书。
alicat气体质量流量说明书
alicat气体质量流量说明书一、概述alicat气体质量流量仪表是一种先进的设备，用于测量气体的质量流量。
本说明书将详细介绍alicat气体质量流量仪表的特点、应用、规格以及操作方法，以便用户正确、高效地使用该设备。
二、特点1. 高精度：alicat气体质量流量仪表具有出色的精度，可确保测量结果的准确性。
2. 广泛适用：该仪表适用于各种气体的质量流量测量，包括但不限于空气、氢气、氮气等。
3. 快速响应：alicat气体质量流量仪表具有快速的响应时间，可在短时间内获取准确的测量结果。
4. 多种接口选项：用户可以根据自身需求选择不同的接口，如RS232、RS485、Modbus等。
5. 用户友好界面：本仪表配备有易于操作的触摸屏，提供直观的用户界面，便于用户进行设置和监控。
三、应用alicat气体质量流量仪表在许多领域广泛应用，以下为几个常见的应用案例：1. 实验室研究：在科研实验室中，alicat气体质量流量仪表可用于测量气体供应系统中气体的流量，为实验数据提供可靠的基础。
2. 工业流程控制：在工业生产过程中，alicat气体质量流量仪表可以用于监测和调节气体的流量，确保生产过程的稳定性和效率。
3. 气体分析仪器校准：许多气体分析仪器需要准确的气体流量作为标准校准，alicat气体质量流量仪表可提供稳定且精确的气体流量。
4. 环境监测：alicat气体质量流量仪表可以被应用于环境监测领域，例如测量大气中有害气体的流量，为环境保护提供重要依据。
四、规格1. 测量范围：根据用户需求可选择不同的测量范围，从微量到大流量一应俱全。
2. 精度：alicat气体质量流量仪表具有极高的精度，可达到±0.8%。
3. 过程连接：用户可以根据需要选择不同的过程连接方式，如螺纹连接、法兰连接等。
4. 温度范围：alicat气体质量流量仪表的工作温度范围宽广，可适应各种环境要求。
5. 压力范围：该仪表可在不同压力范围下进行精确的质量流量测量。
气体质量流量控制器(流量计)
气体质量流量控制器（流量计）S48 300/HMT使用说明书(Ver.2.0)北京堀场汇博隆精密仪器有限公司目录1、概述 (1)2、术语符号 (2)3、工作原理 (5)4、技术指标 (7)5、产品安装 (8)6、使用方法和操作步骤 (16)7、数字通讯功能使用方法和操作 (18)8、通讯协议编码格式 (20)9、警告和注意 (25)10、故障判断和处理 (28)附录一：通信指令集 (31)附录二：标定和不同气体的换算 (34)1、概述本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。
不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。
由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。
具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。
协议简单可靠，兼容性强，易于组网。
配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。
气体流量不因温度、压力的变化而变化。
气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。
FMA-2600A系列气体质量与体积流量控制器说明书
规格精度: ±（读数的0.8% + 满量程的0.2%）重复性: 满量程的±0.2% 量程比：100:1控制响应时间: 100 ms输入控制信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232输出信号: 0 ~ 5 Vdc, RS232可选输入/输出: 4 ~ 20 mA , 0 ~ 10 Vdc 工作温度: 10 ~ 50°C (14 ~ 50.00°C)零点偏移: 满量程的0.02%/°C 量程偏移: 满量程的0.02%/°C 湿度量程: 0 ~ 100% RH ，无冷凝附加流速: 满量程的2.4%接液材质：303和302不锈钢、氟橡胶、硅酮RTV （橡胶）、玻璃强化型尼龙、铝、铜、410不锈钢、硅酮、玻璃；>250SLM ：416不锈钢和镍替换铜最大压力质量流量控制器: 145 psig使用体积模式: 使用体积模式：近大气，建议最大15 psig 。
体积流量计和控制器不保证超出流量计额定流量范围的质量流速的准确性。
这些值仅适用于近大气压力条件。
建议最大工作压力为15 psigD-29U 20多种气体校准，包括氦气、氧气、氖气、一氧化二氮、氮气、大气、氩气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、乙烷、氢气、丙烷、丁烷、异丁烷、乙烯、乙炔、氪气、氙气、六氟化硫U 同时显示压力、温度、体积以及质量流量 U 简单易用的按钮界面U NIST 可溯源性标准U 满量程范围：0.5 SCCM ~ 3000 SLM U 常规响应时间：50 ~ 100 毫秒U 常规量程比：100:1U 位置不敏感U ±0.8%读数精度U 标配RS232FMA-2600A 系列质量与体积流量控制器在层流场中使用差压原则来确定和控制质量流速。
流量计中的层流元件(LFE)迫使气体进入层流。
泊肃叶方程规定， 在这一区域体积流速与压力下降呈线性关系。
使用压差传感器衡量LFE 固定距离中的压力下降情况。
气体质量流量计使用说明书
气体质量流量计使用说明书1. 安装与准备1.1 安装步骤1.2 设备调试在安装气体质量流量计之前，需要先确认电源、气管路连接正常，无泄漏等现象。
然后按照以下步骤进行设备调试：零点标定：将气体质量流量计放置在无气流的空气中，观察显示面板上的读数，调整零点旋钮，使读数为零。
量程调整：根据实际需求，调整量程旋钮，使流量计的测量范围与实际需求相匹配。
误差修正：在已知流量的情况下，对流量计进行误差修正，以提高测量精度。
2. 使用方法2.1 基本操作开机使用：将电源开关拨至“开”位置，按下“启动”按钮，流量计开始工作。
关机操作：将电源开关拨至“关”位置，按下“停止”按钮，流量计停止工作。
参数设置：通过操作面板上的按键，可以设置气体类型、流量单位、报警阈值等参数。
显示界面：气体质量流量计的显示面板上会实时显示当前流量、累计流量、气体温度和压力等数据。
2.2 高级设置在基本操作的基础上，气体质量流量计还具有一些高级设置功能，如自动校零、自动量程调整、自诊断等。
这些功能可以通过操作面板上的菜单键进行选择和设置。
3. 故障诊断与排除3.1 常见问题流量计无法开机：可能是电源连接不良或设备故障导致，需要检查电源线和流量计本身是否存在问题。
流量计显示异常：可能是由于传感器故障、信号处理电路问题或显示屏损坏等原因引起，需要进行相应的检查和维修。
管路漏气或堵塞：可能是由于连接不当或管道质量问题导致，需要检查管道连接处并清理堵塞物。
3.2 故障码解读当气体质量流量计出现故障时，会在显示面板上显示故障码。
根据不同的故障码，可以判断出故障的原因和位置，方便进行维修。
4. 保养与维护4.1 清洁与保养定期清理气体质量流量计的表面和进气口，以保持清洁，避免灰尘和杂质的干扰。
每半年对流量计进行一次维护保养，包括检查管道连接、清理内部灰尘等。
4.2 定期检查每月检查一次气体质量流量计的电源线和气管路连接，确保无松动或泄漏现象。
每半年检查一次流量计的零点和量程调整，以确保测量准确度。
气体质量流量计MFM和气体质量流量控制器MFC小知识
气体质量流量计MFM和气体质量流量控制器MFC小知识1、什么是气体质量流量计?质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。
2、什么是气体质量流量控制器?质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
3、气体质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么?(1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。
对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。
对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。
(2)测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。
这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。
对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。
通常, 模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V 或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。
(3)精确地定量控制流量质量流量控制器可精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。
(4)适用范围宽有很宽的工作压力范围,产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,产品最小流量范围可达0~5 sccm,最大流量范围可达0~1500 slm。
气体质量流量控制器-D07 - 26E型 使用手册说明书
D07 – 26E 型质量流量控制器使 用 手 册版本2 0 16 . 01目录1. 用途和特点..............................1 6. 注意事项 (11)2. 主要技术指标...........................2 6.1 禁用流量介质 (11)3. 结构和工作原理........................3 6.2 使用腐蚀性气体问题 (11)3.1 结构.......................................3 6.3 阀口密封问题 (11)3.2 工作原理.................................3 6.4 阀控操作注意 (12)4. 安装和接线 ...........................5 6.5 安装位置问题 (12)4.1 外形及安装尺寸........................5 6.6 注意工作压差 (12)4.2 连接电缆插头...........................6 6.7 标定和不同气体的换算 (12)4.3 与计算机信号的连接..................7 6.8标准订单的填写格式 (13)4.4 调零和外调零...........................87. 故障判断和处理 (15)5. 使用方法和操作步骤..................98. 保证、保修与服务 (17)5.1 开机操作.................................98.1 产品保证和保修.. (17)5.2 清洗功能.................................108.2 保修对使用的要求.. (17)5.3 显示仪与计算机连接的操作.........108.3 服务.. (17)5.4 直接与计算机连接的操作............119. 附录 (18)5.5 阀控功能.................................119.1 气体质量流量转换系数 (18)5.6 关机操作.................................119.2 转换系数使用说明 (20)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第 1 页 共 20 页质量流量控制器使 用 手 册1. 用途和特点质量流量控制器 (Mass Flow Controller 缩写为 MFC) 用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
SENSIRION SFC4000 气体质量流量控制器 说明书
SFC4000气体质量流量控制器— 高精度质量流量控制器（精度为设定值0.8%）— CMOSens®专利技术卓越的性价比— 响应时间快（设定值2%范围内<0.1秒）— 模拟输入输出接口（标准0-5V ）— 单极电源供电（+14-24V DC）— 数字化标定，经过温度补偿— 连接尺寸与其它的标准质量流量控制器兼容— NIST 可追踪标定CMOSens SFC4000 产品概述SFC4000 CMOSens®质量流量控制器能够在较宽的量程范围内快速而精确的控制气体流量。
其性能由Sensirion卓越的CMOSens® 传感器技术支持，将高精度的传感元件和A/D转换放大电路连接在同一个CMOS 芯片上。
经过数字化标定和温度补偿传感器信号可直接在芯片上转换成PWM信号，用快速模拟控制电路来控制阀门动作。
因此，SFC4000的精度高，响应速度快，量程比宽（>1:1000）。
CMOSens® 传感器由不锈钢真空封装，有坚固的铝制外壳。
在很多领域有广泛的应用，例如，过程控制中的质量流量控制，医疗器械，燃料电池，以及气体流量计量等。
SFC4000提供输入输出信号（0—5V）模拟电气接口，所需供电电压是+14—24VDC标准电源电压。
可在10 bar (145psi)输入压力下操作。
SFC4000 是Sensirion PC1 流量控制器的优化产品。
SFC4000 与PC1 高度兼容并能提供更好的性能规范和更简便的供电模式。
Downmount fittingsSwagelok fittingsControlled MassFlow φInput pressure P 1(max. ambient Setpoint (0-5Vdc)Measured Mass Flow (0-5Vdc)Figure 1: CMOSens ®SFC4000 流量控制器原理框图.Introductory Description质量流量控制器的性能主要受所使用的质量流量传感器影响。
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Industry(PVD, CVD, Reactor, etc) •Semiconductor Industry •Component Leak Detection •Research and Development •High pressure Industry •Optical Fiber •Fuel Cell •Reactor System •Gas mixing System •Laboratory
1×10-9atm·cc/sec
2~100% for max range
Model M3030A ▶
Mass Flow Controller
www.line-tech.co.kr 7
Thermal Mass Flow Meter and Controller
Mass Flow Meters
Features •Accuracy at Low Flow •Fast Response •No Leakage •Connection Compactible •High stable removeable sensor •Corrosion resistance Value •Excellent Linerity •Excellent long term Stability •Modular design •Wide pressure Range available
www.line-tech.co.kr 3
LINE TECH MASS FLOW METER / CONTROLLER
MASS FLOW CONTROLLER SFECIFICATIONS
MODEL
M3030V M3030A M3050V M3050A M3100V M3100A
FULL SCALE N2 (slpm)
0~50
≤2
0~5 Vdc or 4~20mA +15~28Vdc 5~1300
0~50
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Model M2030V ▶
Mass Flow Meter
M2030V
M2030A
10sccm ~ 30slpm
≤2 sec
±1% FS
±0.25% FS
0~5Vdc
0~5Vdc or
4~20mA
+15 ~ +28Vdc, 350mA
≦90 bar
0~50 ℃
1×10-9atm·cc/sec
2~100% for max range
Model M2030A ▶
Mass Flow Meter
8 www.line-tech.co.kr
Mass Flow Controllers
Features
•Accuracy at Low Flow •Fast Response •No Leakage •Connection Compactible •High stable removeable sensor •Corrosion resistance Value •Excellent Linerity •Excellent long term Stability •Modular design •Wide pressure Range available •Compact Flow Control System
0~50
ORDERING INFORMATION
MODEL
M3030 M3100 M2030 M2100
IN/OUT SIGNAL
V : 0~5 Vdc A : 4~20 mA
FITTING SIZE
2:1/8 inc 4:1/4 inc 6:3/8 inc
FITTING TYPE
A : A-LOCK V : VCRMALE
Thermal Mass Flow Meter and Controller
Line-Tech Mass flow Controller is used widely in the Semiconductor industry as well as many Others. Transducers are designed to be rugged, easy-to-use and economical.
Line Tech | www.line-tech.co.kr
2 www.line-tech.co.kr
1997. 3 1997. 5 1998. 1 2001. 4 2002. 2 2002. 6 2003. 3 2003. 4 2004. 10 2006. 2 2007. 10 2008. 3 2008. 7
Model M3050V ▶
Mass Flow Controller
M3050V
M3050A
25 slpm~50 slpm
≤2 sec (option : ≤1 sec)
±1% FS
±0.25% FS
0~5Vdc
0~5Vdc or
4~20mA
+15 ~ +28Vdc, 350mA
≦90 bar
0~50 ℃
0.010~30 0.010~30
25~50 25~50 30~125 30~125
ACCURACY (% FS)
≤1.0 ≤1.0 ≤1.0 ≤1.0 ≤1.0 ≤1.0
REPEATABLLITY(%)
RESPONSE TIME (sec)
±0.25
≤2
±0.25
≤2
±0.25
≤2
±0.25
≤2
±0.25
Model M2050V ▶
Mass Flow Meter
M2050V
M2050A
25 slpm ~ 50 slpm
≤2 sec
±1% FS
±0.25% FS
0~5Vdc
0~5Vdc or
4~20mA
+15 ~ +28Vdc, 350mA
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1×10-9atm·cc/sec
2~100% for max range
Model M3030V ▶
Mass Flow Controller
M3030V
M3030A
10sccm ~ 30slpm
≤2 sec (option : ≤1 sec)
±1% FS
±0.25% FS
0~5Vdc
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4~20mA
+15 ~ +28Vdc, 350mA
≦90 bar
0~50 ℃
OPERATING PRESSURE RANGE (psia) 5~1300 5~1300 5~1300 5~1300 30~1000 30~1000
OPERATING TEMP. (。C) 0~50 0~50 0~50 0~50 0~50 0~50
MASS FLOW METER SFECIFICATIONS
MODEL
FULL SCALE N2 (slpm)
ACCURACY (% FS) NhomakorabeaREPEATABLLITY(%)
RESPONSE TIME (sec)
IN/OUT SIGNAL (Vdc/mA)
SUPPLY VOLTAGE OPERATINGPRESSURE
(Vdc)
RANGE (psia)
OPERATING TEMP. (。C)
≤2
±0.25
≤2
IN/OUT SIGNAL (Vdc/mA) 0~5 Vdc
0~5 Vdc or 4~20mA 0~5 Vdc
0~5 Vdc or 4~20mA 0~5 Vdc
0~5 Vdc or 4~20mA
SUPPLY VOLTAGE (Vdc)
+15~28Vdc +15~28Vdc +15~28Vdc +15~28Vdc +15~28Vdc +15~28Vdc
Advantage •Mass Flow Measurement •No Temperature or Pressure Corrections
Required •Compact Flow Control System •Highly Accurate •Wide pressure range available. (95bar) •High Response. Time •High Repeatability ▼ Measurement Technigue Gas flow is divided at constantrate by a laminar folw bypass. Gas molecules traveling through the sensor Carry heat downstream creating a differential temperature between the RTDS. The difference in temperature between the RTDs is propotional to the mass flow rate.