D07-7B质量流量控制器

D07-7B/ZM 质量流量控制器

特点：

高性能价格比、橡胶密封、模拟电路的质

量流量控制器。

★ 普通型MFC 产品

★ 管状分流，使用寿命长

★ 7A 型的更新换代型

★ 两年保修

用途 质量流量控制器（MFC ）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。 校准 气体质量流量用氮气(N 2)标定。 标准状态规定为: 标准温度--------0(℃ 273.15K ) 标准压强--------101325Pa 输入和输出 输入电源………...… +15V, 50mA; -15V, 200mA 输入设定电压……..……….…….……0~+5.00V 输出流量检测……...……….…….………0~+5V

Mass Flow Controller

D07 Series

技术性能指标

满量程流量范围( N 2 )…….……….5 SCCM~10 SLM 控制范围……………………..………………2%~100% 阀类型……………………………………电磁调节阀 阀初始状态…………………….………………….常闭 准确度……………………………….………±1.5 % F.S 线性……………………………………..±0.5~1.5 % F.S 重复精度…………………………………….±0.2 % F.S

响应时间: 气特性……………..……………1~4 sec

电特性……..………..……………10 sec 工作温度范围…………………….……………5~45℃ 工作差压………………………….....……0.1~0.5 MPa 耐压…………………….………….….……………3 MPa 漏气率……………………………..….1×10-8 SCCS He 通道湿材料………………316L 不锈钢、密封材料 静密封材料……氟橡胶 (或丁晴橡胶、硅橡胶) 动密封材料……氟橡胶 (或丁晴橡胶、硅橡胶

聚四氟乙烯 )

接头选择

Swagelok…………………..………..1/4”或φ6mm 重量……………………....………….…………..…1.1Kg

外形和安装尺寸

D07-7B/ZM 型MFC

电信号插头接线图

D07-7B/ZM 型MFC

DB15型插头(孔式)