气体设备基础培训(1)

外径(mm)
OD
3.18 6.35 9.53 12.7 15.875 19.05 25.4 38.1 50.8 63.5 76.2 88.9 101.6 127 152.4
壁厚(mm)
5S
0.7 0.89 0.89 1.24 1.24 1.65 1.65 1.65 1.65 1.65 1.65 2.11 2.11 2.77 2.77
气体设备基础培训(1)
2020/11/22
气体设备基础培训(1)
一.气体设备种类
➢ 面盘类设备主要分为：气源处理和气源分配2类 ➢ 气源处理：将钢瓶气源调整到设备所需压力、安全稳定、连续
备。 • BSGS：大流量特殊气体输送柜 • GC：气瓶柜 • GR：气瓶架 ➢ 气源分配：将输入管路调整为所需的输出管路，同时保证生产 • VMB：阀组箱 • VMP：阀组盘
100
114.3 2.1
125
139.8 2.8
150
165.2 2.8
200
216.3 2.8
250
267.4 3.4
300
318.5
4
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壁厚(m
10S
1.2 1.65 1.65 2.1 2.1 2.8 2.8 2.8 2.8
3 3 3 3 3.4 3.4 4 4
4.5
管道
➢材质：不锈钢、碳钢、塑料-高分子材料（PFA PTFE、PP、PVC、UPVC、CPVC、PU）
• VPT：Vacuum Pressure Transducer，真空端压力传感器
• VG：Vacuum Generator，真空发生器
• •
CCVV（P：P）Pu：rgLeoNw2PSuurgpeplNy 2ChSeucpkpVlyaClvhee，ck吹V扫al氮ve气，单低向压阀吹扫氮气单向气体阀设备基础培训(1)
• 可以通过阴封盖上的两个相对的测试孔来进行裸眼检 ，以确保组装的完整性。
• 1套VCR由1short gland+1gasket+1long gland+1male Nut组成
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Swagelok，let-lok，卡套
• 卡套接口是Swagelok公司发明的一种连接方式，因此又称为S 式，我们也说let-lok连接方式
扫
自动切 换
紧急切 断
高压气 源过滤
一级调 压
二级调 压
流量开 关
auto guard
抽风罩
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GS2
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全自动控制 高压端工艺管径1/2"，低压段工艺管径1/2" 高低压自动吹扫功能 自动切换 ，可远程紧急关断阀门 autoguard防止误拆卸 高压气源过滤功能 10寸彩色触摸屏实现人机交互
日制不锈钢管(JIS G3459
称呼 外径(mm)
日制（A） OD
5S
6
10.5
1
8
13.8
1.2
10
17.3
1.2
15
21.7 1.65
20
27.2 1.65
25
34
1.65
32
42.7 1.65
40
48.6 1.65
50
60.5 1.65
65
76.3
2.1
80
89.1
2.1
90
101.6 2.1
"ü"必备功能；"*"为可选功能
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BSGS 可选项简述 1、二级减压 当减压阀前后压差过大时，避免由于压降过大造成减压阀结露 严重，需采取两级减压，一级减压至一个中档的压力，二级减 压至需用的压力。
2、流量开关 流量开关主要是在管路中监控流量的大小。在流量高于某一个 设定点时候触发输出报警信号传递至控制部分
C1A
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C5A
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"ü"必备功能；"*"为可选功能
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GR
•GR：气瓶架
气源在柜外的气源处理设备 大宗气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备，一 般情况下，储存量为47L的气体钢瓶。应用于多种无 毒害气体供应系统
区分
气体名称
可
O2 N2 Ar
一般气体
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BSGS
可选项简述 2、UV/IR火焰 3、感温装置 4、感烟装置 这三个选项根据介质的属性判断是否使用， 一旦气体泄漏，发生危险时，立即发出警告，信号给到 控制器，关断使用设备，避免更多的危害产生
感温探测器
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BSGS
可选项简述 5、管线伴热
有些气体气源压力很低，需要通过加热管道来增加 流量
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BSGS
•BSGS：大流量特殊气体输送柜
气源在柜外的气源处理设备，一般情况下，储存量大于500L的特种气体储存和送气系 常用气源类型有Y瓶、T瓶。适用于SiH4、NH3等高流量气体系统
Y瓶
T瓶
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BSGS
功能 型号
GS1
PLC控制
彩色触 摸屏面
高低压 自动吹
6、HEATING 同样是一种通过加热管道，来增加流量的措施，对
于流量要求比较高时采用的一种加速流量的方法
7、抽风罩 气源在柜外有接头和吹扫用阀门，有些危险性气体
，需要监控接头的可靠性，此时需要配置抽风罩 如设备没有配置抽风罩，在发货时需要配置吹扫阀
门、单向阀、钢瓶接头和接头锁
面盘管道加热
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二.常用接口类型
• 焊接 • VCR • Swagelok，let-lok，卡套 • 卡接（卫生级卡接、真空卡接） • 法兰 • NPT、管螺纹
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VCR
• 密封柱连接通过金属对金属的面密封来提供超高纯， 输送特点。卡接（卫生级卡接、真空卡接）
• 密封柱连接通过使用软垫片来实现密封。在旋紧阴阳 高光洁度密封柱对垫圈进行挤压，形成形变。
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VMB
•标准型半自动配置，远程紧急切断各支路阀门 •进气扩展口*1 •支路配置：手动隔膜阀+标准型调压阀+压力表+ 出口气动关断阀
•手动N2吹扫功能 •手动抽真空功能
• 标准型全手动配置 • 进气扩展口*1 • 支路配置：手动隔膜
表+出口手动关断阀 • 手动N2吹扫功能 • 手动抽真空功能
常用阀门图例
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常用位号定义
• PGI：Purge Gas Isolation Valve，吹扫隔离阀 • HPI：Process Gas Supply Isolation Valve，高压隔离阀 • LPI：Process Gas Supply Isolation Valve，低压隔离阀 • REG：regulator 调压阀 • LPV：Process Gas Delivery Vent Valve，低压排放阀 • HPV：Process Gas Supply Vent Valve，高压排放阀 • TAP：Test Access Port，氦检漏阀 • PIV：Purge Isolation Valve，吹扫隔离阀 • GNBV：Vacuum Venturi Supply Valve，抽真空氮气针孔阀 • PNBV：Purge Gas Bleed Valve，吹扫氮气针孔阀 • HPIV：High Pressure Isolation Valve，高压保压隔离阀 • HPT: Supply Pressure Transducer，高压传感器 • HPG: Supply Pressure Gauge，高压压力表 • LPT：Delivery Pressure Transducer，低压传感器 • LPG：Delivery Pressure Gauge，低压压力表
• 卡套式管接头是一种靠机械紧箍力进行实现密封连接的管接头 • 它由以下几个部分组成: • 1.主体（Body） • 2.封盖（Nut） • 3.后卡环（Back ferrule） • 4.前卡环（Front ferrule）
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NPT、管螺纹
• NPT 是 National (American) Pipe Thread 的缩写，属于 美国标准的 60 度锥管 螺纹，是一种密封性 螺纹
GC
•GC：气瓶柜
气源在柜内的气源处理设备
特种气体使用的封闭式气瓶放置与气 体输送设备，一般情况下，储存量为 47L的气体钢瓶。应用于多种特殊气体 供应系统
功能 型号
PLC控制
彩色触 摸屏面
高压保 压
自动吹 扫
自动切 换
紧急切 断
远程自 动关断
高压气 源过滤
工艺气 体管路 调压
流量开 关
auto guard
隔膜阀配置，VC 标准型全手动配 进气扩展口*1 主进管路调压 支路配置：出口
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VMP
球阀配置，卡套接口 标准型全手动配置 进气扩展口*1 支路配置：手动球阀+标准型调压 阀+压力表
球阀配置，卡套 标准型全手动配 进气扩展口*1 主进管路调压 支路配置：出口
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管配件
➢三通 ➢弯头 ➢大小头 ➢直通
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常见阀门
➢ 1.阀门的种类 ➢ 按阀芯分类：球阀、隔膜阀、波纹管阀、蝶阀、针阀 ➢ 按执行方式：气动、手动 ➢ 按压力等级：高压、低压。 ➢ 按接口形式：VCR、卡套、焊接、法兰、NPT、管螺纹、卫 ➢ 2.调压阀的种类 ➢ 按入口压力：高压减压阀、二级减压阀 ➢ 按材质：SS、Brass ➢ 按接口形式：VCR、NPT、卡套、焊接
常用材料选型
➢ 管道采用Valex的SS316 EP级管道 ➢ 高压隔膜阀：高压手动AP3100（大流量），高压手动AP3650（小流量），高压气
，高压气动AP3000（小流量） ➢ 低压隔膜阀：低压手动AP3800（大流量），低压气动AP3700（大流量），低压手
小流量），低压气动KITZ VLD8C（中小流量），低压手动KITZ VLD4MS（小流量 VLD4C（小流量）。 ➢ VCR Fitting：对于gland，Mini Elbow ，Mini Tee一般采用TK生产的SS316 EP级。 VIM+VAR EP级。VCR Gasket现在全部采用NI材质的EP级。 ➢ 调压阀：在GC中一般选择AP1410TS，VMB中选择AZ1010S。
GR
•GR：气瓶架
GR的分类比较多，一般分有：
2、大宗气体气源处理 根据介质性质，选择自吹扫和带 吹扫
VCR连接，高压端工艺管径1/4"， 低压段工艺管径1/4" 相同双瓶工艺气体双低压配置 高低压气体过滤 自动切换，远程紧急切断阀门
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VMB
•VMB：阀组箱
特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个 工艺设备提供特种气体 同时供应数台机台 根据气体种类进行分类 将工艺气体纯化、过滤、减压，达到客户需求 隔膜阀配置，VCR接口 柜内负压测量 碳钢喷塑柜体，防爆玻璃视窗
H2
He
CO2
Ne
Xe
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GR
•GR：气瓶架
GR的分类比较多，一般分有：
1、用于BSGS/GC的 吹扫的和保压 常用气体高纯氮气
VCR连接，高压端工艺管径1/4"， 低压段工艺管径1/4" 相同双瓶工艺气体高低压配置 相同双瓶工艺气体双低压配置 高低压气体过滤
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No Imag
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三.常用材料种类
➢1.管道介绍 ➢2.管配件介绍 ➢3.阀门介绍 ➢4.压力表介绍
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管道
➢ 管道大小一般指外径。常用英制 1”=1inch=25.4mm。除此外还 公制）、日规（A制）
英制不锈钢管(ASTM A269)
称呼
英制（IN）
1/8" 1/4" 3/8" 1/2" 5/8" 3/4" 1" 1-1/2" 2" 2-1/2" 3" 3-1/2" 4" 5" 6"
➢常用不锈钢型号：304、316L ➢记住C、Ni、Cr的含量
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抛光处理类型
➢抛光处理工艺：AP、BA、EP ➢acid polished pipe 经过酸洗去除表面残存颗粒
不锈钢管； ➢bright annealing pipe 经加氢或真空状态高温热
消除内部应力并在管道表面形成一层钝化膜的光 锈钢管； ➢electro-polished pipe 经电化学抛光，使表层实 得到最大程度的减少,表面产生一层较厚的封闭 铬膜的电化学抛光不锈钢管。
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VMP
•VMP：阀组盘 特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置， 用于向一个或多个工艺设备提供特种气体 同时供应数台机台 根据气体种类进行分类 将工艺气体纯化、过滤、减压，达到客户需求
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VMP
隔膜阀配置，VCR接口 标准型全手动配置 进气扩展口*1 支路配置：手动隔膜阀+标准型调 压阀+压力表