电子级磷酸质量标准
双膜法+EDI组合工艺制备电子级磷酸用超纯水
双膜法+EDI组合工艺制备电子级磷酸用超纯水摘要：针对电子级磷酸用超纯水的特点，采用UF超滤、RO反渗透双膜法+EDI组合工艺进行水净化处理，使出水达到电子级磷酸用水标准。
关键词：电子级磷酸；超滤；RO反渗透；EDI；抛光混床电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛应用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能和可靠性有很大影响，而配制电子级磷酸的超纯水质量又是决定电子级磷酸纯度和洁净度的重要因素。
目前超纯水的制备，主要采用的工艺有离子交换法、两级反渗透、反渗透+EDI等为核心的三种方式，其余的工艺流程大都是在上述三种基础工艺上通过不同的组合搭配衍生而来。
离子交换法需要时常对离子交换树脂进行再生，需耗费大量酸碱，对环境破环较大；两级反渗透处理出水水质相对不太高，对有较高水质要求时须搭配混床进行后续处理，同样需耗费酸碱；反渗透+EDI组合是采用反渗透作为预处理+EDI（电除盐）装置，不需酸碱再生，不破环环境，这是目前制备超纯水最经济、最环保的工艺。
贵州瓮福集团电子级磷酸生产过程中的重结晶及配制均需用到电阻率≥16MΩ·cm的超纯水，针对进水水质及出水水质要求，本超纯水制备工艺设计中采用UF（超滤）+RO（反渗透）+EDI（电除盐）组合工艺进行处理，达到电阻率≥16MΩ·cm超纯水水质要求。
一、进水水质及出水要求根据业主提供的资料，本工程超纯水制备原水水源采用瓮福集团自备水厂生产的符合国家生活饮用水标准的自来水，设计超纯水产量为：10m3/h，进水主要水质指标见下表：2.工艺说明及主要设备参数：2.1原水供水系统:为防止自来水供水量或供水压力不足，保证后续用水的稳定性，系统设置一座5m3的不锈钢原水箱，含控制阀、管件及液位控制器；另为了后续预处理的稳定，设置恒压供水系统一套，包含不锈钢多级泵2台(一用一备），泵主要性能参数为Q=25m3/h,H=0.15Mpa。
磷酸化学试剂标准
磷酸化学试剂标准
磷酸化学试剂是用于生物化学和分子生物学实验中的重要试剂。
磷酸化是由激酶催化
的反应，该反应在许多生物学过程中都起着关键作用。
磷酸化诱导蛋白质结构变化，并确
定其功能性。
因此，磷酸化化学试剂可以用于评估蛋白质磷酸化状态，从而了解蛋白质在
生物活动中的作用和调节。
然而，磷酸化化学试剂的质量直接影响实验结果的准确性和可靠性。
因此，确保磷酸
化化学试剂的质量非常重要。
下面是磷酸化学试剂标准的细节。
1.纯度
磷酸化学试剂的纯度需要高于99%。
高纯度试剂可以提高实验结果的精度和可重复性。
因此，用于研究的磷酸化化学试剂需要从可靠的供应商处购买，并应经过仔细的质量控制
检查。
2.稳定性
磷酸化化学试剂的稳定性是关键因素。
试剂应存储在严格的条件下，如冷藏和避光。
此外，试剂应在使用前进行检查，以确保其质量稳定和没有降解。
3.纯度检测
磷酸化学试剂的纯度应通过可靠的分析方法进行检测。
常见的质量控制方法包括气相
色谱（GC）、高效液相色谱（HPLC）和质谱（MS）。
这些方法可以用于检测试剂的杂质和
降解产物，以确保试剂的纯度和质量。
4.结晶性
总之，确保磷酸化学试剂的高质量和标准是实现准确和可重复实验结果的关键。
在购
买和使用磷酸化学试剂时，请注意上述指南并从可靠的供应商购买。
常规的质量控制测试
也需要进行，以确保试剂的纯度、稳定性和结晶性。
这些措施将确保实验结果的精确性和
可重复性，从而推动生物医学研究的进展。
第五节 电子磷酸
第五节电子磷酸一、概述磷酸依制备工艺的差别可分为肥料级、工业级、食品级、药用级、试剂级、电子级等级别。
电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗，纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料。
近年来由于电子工业和液晶显示电视迅速发展，用于半导体、液晶显示器(LCD)及其他电子设备作蚀刻剂的电子级磷酸需求增长强劲。
目前我国已成为世界LCD需求增长最快的国家，2011年我国将成为世界重要的集成电路(1C)制造基地之一。
而“十五”期间我国电子化学晶年均增长率超过20%，预计到2010年我国电子化学品市场规模将超过200亿元，成为化工行业中发展速度最快、最具活力的行业之一。
随着半导体芯片制造业和LCD制造业向中国大陆的转移，特别是武汉光谷、富士康、中芯国际等大型电子产业在武汉的安家落户，与之配套的电子级磷酸的用量将大幅增长，对电子级磷酸的研究显得十分重要和迫切。
二、性质性状无色、无臭、粘稠液体，溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜方晶体，富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱，但较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水并放热，经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸，长时间受冷即生成结晶，有腐蚀性，易吸湿。
熔点：42.℃沸点：213℃密度:1.834（18℃）三、制备原理磷酸的生产现金主要有两种方法，热法和湿法。
1.热法磷酸主要是以黄磷为原料，黄磷燃烧生成通过热法生产出的磷酸由于原料组成单一，生产工艺不复杂，因此产品的纯度高，杂质含量少，一直用在高新医药等领域，但其缺点就是耗能大，成本高，生产过程产生的粉尘和毒气严重污染环境，因此世界上热法磷酸的比例正在逐渐下降。
电子级磷酸
电子级磷酸的相关报告前言电子级磷酸属高纯磷酸，高纯磷酸(H3PO4)是电子行业使用的一种超高纯化学试剂，属于微电子化学产品之一，目前世界上仅有美国、日本、韩国等少数几个国家能够生产。
电子级磷酸广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，包括：①基片涂胶前的清洗；②光刻过程中的蚀刻及最终去胶；③硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。
近年来，随着我国微电子和面板产业的高速发展，世界上许多著名IC晶圆代工、半导体封装以及LED、TFT—LCD企业巨头在中国大陆投资建厂，电子化学品的需求越来越大。
“十五”期问，我国电子专用超净高纯化学试剂需求量超过1万t，而国内生产企业仅能提供10％。
其中，国内通用型试剂市场今后的年增长率仍将维持在5％一8％左右，电子化学品市场预计超过80亿美元，年增长率近20％；世界电子化学品产业市场年平均净增长率为8％以上。
电子级磷酸由于具有优良的性能，已成为电子工业不可缺少的电化学品之一，其需求量正逐年增长。
一、行业概况：电子级磷酸发展背景高纯电子级磷酸属电子化学品系列产品之一,电子化学品一般指与电子工业配套的专用化学品。
伴随着国际半导体芯片(IC)和液晶制造业迅速向中国转移, 我国微电子技术, 特别是半导体器件和集成电路微细加工的蚀刻与清洗工艺和薄膜 液晶制造工艺所需的电子级磷酸的需求量也在稳步增长。
其质量对IC 产品成品率、电性能、可靠性和液晶显示器( LCD)质量都有重要影响。
预计到2010年国内市场(包括出口)对电子级磷酸需求量将达到150~ 160 kt /a, 以后年均增长率10% 以上, 成为高档磷酸的一个重要市场。
微电子技术发展主要特点是依靠不断缩小元器件特征尺寸、增加芯片面积、提高集成度和运行速度而迅猛发展。
自上世纪70年代起, 集成电路芯片的发展速度基本上遵循每1.5 年集成度增加1倍, 芯片特征尺寸每3年缩小一半, 芯片面积增加约1.5倍, 芯片中晶体管数增加约4倍的规律, 即基本上每3年就有一代新的IC 产品问世。
电子级氢氟酸质量标准
电子级氢氟酸福建省邵武市永飞化工有限公司电子级氢氟酸的质量标准
质量标准：
UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.
UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺
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•巨化凯圣氟化学有限公司
•电子级氢氟酸up级。
国内外实验室用水标准
国内外实验室用水标准1、分析实验室用水标准（GB6682-92）2、电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）3、中国药典医药用水标准3.1、纯化水标准5、美国AAMI和ASAIO血液透析用水水质标准附：饮用水标准财务部工作总结、分析及计划报告范文[财务部工作总结、分析及计划报告范文]务部工作总结、分析及计划报告范文2009-12-10 10：25读者上传【大中小】【打印】【我要纠错】在上级财务部门的业务指导下，以年初支公司提出的工作思路为指导，以提高企业效益为核心，以增强企业综合竞争力为目标，以成本治理和资金治理为重点，全面落实预算治理，强基础，抓规范，实现了全年业务制度规范化，经营治理科学化，企业效益最大化，有力地推动了支公司财务治理水平的进一步提高，充分发挥了财务治理在企业治理中的核心作用，财务部工作总结、分析及计划报告范文。
现将2009年公司财务工作总结如下：一、主要指标完成情况1、固定费用：1-9月份累计完成##.5xxxx，完成进度计划的117.2xxxx，同比增长27.4xxxx，增加支出2312627.8 xxxx。
2、三项费用：1-9月份累计完成##.5xxxx，完成进度计划的136.3xxxx，同比降低10.5xxxx，减少支出171939.2 xxxx。
3、内部利润：1-9月份完成-##.1xxxx元，较计划进度-828.4xxxx元增亏252.7xxxx元。
二、以资金治理为契机，不断增强全员的预算治理意识近年来，随着企业精细化治理水平的不断强化，对财务治理也提出了更高的要求。
我们以此为契机，根据财务治理的特点以及财务治理的需要，及时出台了支公司《固定费用治理办法》、《资金预算治理办法》等一系列相关制度，从而使每项工作有计划、有落实、有监督、有考核。
在费用控制方面，一是采取定额包干的方式，将手机费、电话费、班站所办公费、车辆油料费、维修费、线路巡视费等定额控制，节约归已、超支自负，培养了职工的节约意识。
磷酸执行标准
磷酸执行标准# 磷酸执行标准## 一、前言嘿，朋友们！今天咱们来唠唠磷酸执行标准这个事儿。
你想啊，磷酸在好多地方都有用呢，从工业生产到咱们日常生活里的一些小玩意儿，它都悄悄在发挥作用。
可要是没有个标准，那就乱套啦，就像一群小伙伴玩耍没有规则一样。
所以呢，这个磷酸执行标准就是来给磷酸的生产、使用等等这些事儿定个规则，让大家都能按照这个规则来，保证质量，也保证安全。
## 二、适用范围1. **工业生产方面**- 磷酸在金属表面处理行业那可是个重要角色。
比如说给钢铁防锈，很多时候就得用到磷酸来进行磷化处理。
在这种情况下，磷酸执行标准就像是一个严格的裁判，它规定了用于这个过程的磷酸要达到什么样的质量要求。
如果磷酸不符合标准，那钢铁表面处理的效果可能就不好，钢铁就容易生锈，就像一个人没穿好防护服就去危险环境里一样，后果很严重。
- 在肥料生产中，磷酸也是一种重要原料。
它用于生产磷肥，像磷酸一铵、磷酸二铵这些常见的肥料。
这里的磷酸执行标准就确保了生产出来的肥料能有效地给农作物提供磷元素，要是磷酸的质量不达标，那农作物可能就长不好，就像人没吃饱饭一样没力气。
2. **日常生活中的应用**- 你知道有些清洁产品里面也有磷酸吗？像一些厨房清洁剂，磷酸可以帮助去除油污和水垢。
这时候，磷酸执行标准就保证了这些清洁产品不会因为磷酸的质量问题而对咱们的厨房器具造成损害，或者对我们的健康产生不良影响。
要是没有标准，那这些清洁剂可能就会变得很“任性”，说不定会把你的锅碗瓢盆腐蚀出洞来呢！## 三、术语定义1. **磷酸（H₃PO₄）**- 简单来说，磷酸就是一种由氢（H）、磷（P）和氧（O）组成的化合物。
它是一种无色透明的液体（纯净的磷酸是这样哦，不过有时候也可能是白色固体，这和它的浓度等因素有关）。
你可以想象它就像一个小小的化学精灵，有着自己独特的性质和作用。
2. **杂质含量**- 杂质含量就是指除了磷酸本身之外，在磷酸样品中含有的其他物质的量。
电子级三氯氧磷
产品名称: 氧氯化磷别名: 磷酰氯、三氯氧磷英文名: Phosphorus oxychloride分子式: POCL3分子量: 153.33主要成分: 三氯氧磷CAS NO.: 10025-87-3物化性质:无色有刺激性臭味的发烟液体,相对密度1.675,熔点2℃,沸点105.3℃。
溶于氯气或五氯化磷时呈红黄色，露于潮湿空气中即水解生成磷酸和氯化氢，发生白烟。
遇水和醇发生分解并放出大量热和盐酸气，对眼睛有刺激。
有腐蚀性。
毒性防护:三氯氧磷挥发出来的气体有毒、有刺激性和腐蚀性，能刺激粘膜、使眼疼痛、干咳，出现严重的呼吸困难，以后发生支气管炎，心脏机能不全，严重的贫血，肝肿大，尿中出现蛋白，肺界扩大。
溅入眼结膜囊内1滴，即会出现坏死和视力完全丧失。
最高允许浓度为0.05mg/m3。
操作人员应穿戴劳保防护用品，生产三氯氧磷的设备要密闭，工作期间应戴过滤式防毒面具，仔细保护皮肤和眼睛。
产品用途：高纯三氯氧磷是生产高纯石英光纤的主要原料之一，也是芯片制造业的主要掺杂剂，主要用于集成电路、太阳能电池、电子元器件生产过程的扩散、掺杂工艺，是集成电路生产过程中所必需的化学品，广泛应用于光伏、IC产业。
包装储运：干燥石英源瓶包装，其规格有500ml/瓶、600ml/瓶、1000ml/瓶、1500ml/瓶,外套木框架，瓶与框架之间填充珍珠海绵。
包装上应有明显的“有毒品”和“腐蚀性物品”标志。
属一级无机酸性腐蚀物品，危规编号：GB 8.1 类 81040。
应贮存在阴凉、通风、干燥的库房中，容器必须密封，远离热源和火种。
不可与易燃品、潮解性物品共贮混运。
运输时要防雨淋和日晒，如在棚车内装运要有防雨雪措施，并应按交通部、铁道部危险货物运输规则第九类“腐蚀性物品”规定装运。
装卸时要轻拿轻放，防止撞击和包装破损。
失火时，可用干黄砂、干粉灭火器或二氧化碳灭火器扑救，但不可用水。
质量标准：本产品符合SEMI-C7要求，产品规格及指标如下：。
磷酸检测标准
磷酸检测标准范围本标准规定了磷酸酯产品的分类、要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、保质期。
本标准适用于分别以脂肪醇、脂肪醇微或烷基酚醛与五氧化二磷、三氯化磷、五氯化磷或聚磷酸为原料制得的磷酸酯产品，是应用于生产化妆品及各种工业助剂的阴离子型表面活性剂。
产品分类磷酸酯产品根据不同的分子结构包括：脂肪醇磷酸酯、脂肪醇酸磷酸酯、烷基酚酸磷酸酯。
脂肪醇酸和烷基酚酸根据加合数的不同，又有系列产品。
根据产品中单酯和单、双酯含量的不同分为单酯型和单、双酯混合型。
要求生物降解性磷酸酯产品的初级生物降解度要求7天不低于90%β理化指标试验方法单酯含量原理用氢氧化钾乙醇标准滴定溶液滴定试样，用酸度计指示对应的PH,由滴定曲线得出第一个突跃点(4.0~6.5)和第二个突跃点(9.0~11.5),此两点的体积之差为磷酸单酯和磷酸所消耗氢氧化钾乙醇标准滴定溶液的体积。
加入氯化钙，继续用氢氧化钾乙醇标准滴定溶液滴定出第三个突跃点(7∙0~10.5),第三个突跃点和第二个突跃点的体积之差为磷酸所消耗氢氧化钾乙醇标准滴定溶液的体积。
步骤称取0.4g~0.6g(称准至0.0OIg)试样于25Om1烧杯中，用40m1水溶解后，再加入95%乙醇40m1,搅拌均匀待测。
校准酸度计后，将玻璃电极和甘汞电极浸入试液中，用氢氧化钾乙醇标准滴定溶液滴定，记录其消耗的体积和对应的pH,接近突跃点时应缓慢滴加。
滴完第二个突跃点后，加入氯化钙溶液IOm1,继续滴定至出现第三个突跃点后，停止滴定，绘制滴定曲线(如图1),由突跃点算出体积差。
注:对于水溶性好的样品,标准溶液可采用水质的，在溶样时可以不必加入40m1乙醇。
式中：X1—产品中单酯,%；V2——单酯和磷酸消耗氢氧化钾乙醇标准滴定溶液的体积，单位为毫升(m1);V3——磷酸消耗氢氧化钾乙醇标准滴定溶液的体积，单位为毫升(m1);c——氢氧化钾乙醇标准滴定溶液的摩尔浓度,单位为摩尔每升(mo1∕1);mθ——试验份的质量，单位为克(g);M—磷酸单酯的摩尔质量,单位为克每摩尔(g∕mo1)°以两次平行测定结果的算术平均值表示至小数点后一位作为测定结果。
电子级磷酸中痕量硫酸根含量的测定方法
电子级磷酸中痕量硫酸根含量的测定方法张岚欣王存文王为国徐汶张俊峰（武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室，武汉 430073）[摘要]本文研究了电子级磷酸中痕量硫酸根含量的分光光度测定法，实验结果表明，在最大波长460nm处测定，硫酸根含量与吸光度成良好的线性关系，随着磷酸取样量的增加，吸光度值所需的稳定时间相应增加，稳定后磷酸取样量与硫酸根含量成良好线性关系，因此实验过程中可通过调整磷酸的取样量来调节硫酸根含量，使之在标准曲线的测定范围内。
实验可测定的硫酸根的浓度范围为2ug/ml~~12ug/ml，硫酸根含量范围为8ppm~~300ppm。
本文还研究了稳定剂的影响，测定了回收率，验证了本实验方法的可靠性。
[关键词]电子级磷酸分光光度法硫酸根含量[文章编号] [中图分类号]TQ 0657.3 [文献标识码]Determination Method of Trace Amount SO42- in Electronic Grade Phosphoric AcidZhang Lanxin, Wang Cunwen, Wang Weiguo,Xu Wen,Zhang Junfeng( Key Laboratory for Green Chemical Process of Ministry of Education, Wuhan Institute ofTechnology ,Wuhan 430074，Hubei province,China )[Abstract]In this paper, spectrophotometric method by which the trace amount SO42- was determinated in electronic grade phosphoric acid was researched, The experimental result shows that under the max wavelength of 460nm，there is good linear relation between absorbance and the content of SO42-,and the stationary time that absorbance needs become longer according to the increase of phosphoric acid quality.When absorbance become stationary, there is good linear relation between absorbance and phosphoric acid quality.So wo can adjust absorbance by adjusting phosphoric acid quality to make absorbance in scope of standard curve in our experiment. Concentration limit of SO42- that we can determinate is 2ug/ml~~12ug/ml，and the content limit of SO42- is 8ppm~~300ppm .We also studied the impact of stabilizer and determinated recovery,checked the reliability of this experiment method.[Keywords] electronic grade phosphoric acid ;spectrophotometric method;the content of SO42-前言电子级磷酸属高纯磷酸,是电子行业使用的一种超高纯化学试剂,属于微电子化学产品之一,目前世界上仅有美国、日本、韩国等少数几个国家能够生产。
电子级氢氟酸质量标准
电子级氢氟酸福建省邵武市永飞化工有限公司电子级氢氟酸的质量标准
质量标准：
UP-S级:适用0.35-0.8微米集成电路加工工艺,金属杂质含量小于1ppb,经过0.05微米孔径过滤器过滤，控制0.2微米粒子,在100级净化环境中灌装达到SEMI C8标准.
UP级:适用1微米集成电路及TFT-LCD制造工艺,金属杂质含量小于10ppb,经过0.2微米孔径过滤器过滤，控制0.5微米粒子,在100级净化环境中灌装,达到SEMI C7标准EL级:金属杂质含量小于100ppb,控制1微米粒径粒子,达到SEMI C1 C2标准,适合中小规模集成电路及电子元件加工工艺
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•巨化凯圣氟化学有限公司
•电子级氢氟酸up级。
电子级磷酸市场
电子级磷酸及其市场摘要：随着我国微电子和面板产业的高速发展，世界上许多著名IC晶体圆代工、半导体封装以及LED、TFT-LCD大型企业在中国建厂，电子化学品的需求逐渐增大。
预计2010年中国对电子级磷酸市场需求量将会达到15万－16万吨每年。
整个电子化学品市场预计超过80亿美元，年增长率近20％；世界电子化学品产业市场年平均净增长率为8％以上。
而电子级磷酸的性能优良，已是电子工业重要的化学品之一。
1.电子级磷酸简介磷酸依制备工艺的差别可分为肥料级、工业级、食品级、药用级、试剂级、电子级等级别。
电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗，纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料。
近年来由于电子工业和液晶显示电视迅速发展，用于半导体、液晶显示器(LCD)及其他电子设备作蚀刻剂的电子级磷酸需求增长强劲。
目前我国已成为世界LCD需求增长最快的国家，2011年我国将成为世界重要的集成电路(1C)制造基地之一。
而“十五”期间我国电子化学晶年均增长率超过20%，预计到2010年我国电子化学品市场规模将超过200亿元，成为化工行业中发展速度最快、最具活力的行业之一。
随着半导体芯片制造业和LCD制造业向中国大陆的转移，特别是武汉光谷、富士康、中芯国际等大型电子产业在武汉的安家落户，与之配套的电子级磷酸的用量将大幅增长，对电子级磷酸的研究显得十分重要和迫切。
1.1应用与需求生产具有稳定的电气特性和可靠性的电子元件和电路时，要求处理硅晶片的化学试剂非常纯净。
不溶性固体颗粒或金属离子可能在微细电路之间导电，使之短路，几个金属离子或灰尘足以使线宽较小的IC报废。
为了避免硅晶片发生粒子污染，必须使用隔膜过滤器净化到0.2μm粒度以下的电子级纯度的化学试剂。
高纯磷酸研究现状,生产方法,及技术指标
工业级磷酸
高纯电子级磷酸
TFT－LCD 用高纯电子级磷酸
一、分子式：H3PO4 二、分子量：98.00 三、理化性质： 无色透明斜方晶体，相对密度 d18=1.834（18℃），熔点 42.35℃，沸点 213℃。 浓度为 85～98%H3PO4 时呈粘稠状液体。无臭，味酸。加热至 300℃时变成偏磷酸。 易溶于水，溶于乙醇。其酸性较硫酸、盐酸、硝酸为弱，但较醋酸、硼酸等弱酸 为强。无氧化能力。能刺激皮肤引起发炎，破坏肌体组织。 四、用途： 主要用于薄膜液晶显示器（TFT-LCD）、集成电路(IC)等制造过程中芯片的清洗 和线路蚀刻；在硅平面晶圆集成电路生产中，用于铝及氮化硅的蚀刻；制备高纯 磷酸盐。也是高纯有机磷产品的主要原料之一。
简介
化学式：H3PO4 英文名：Orthophosphoric acid， Phosphoric (5) acid 英文别名： orthophosphoric acid; Phosphoric Acid, Sonac; white phosphoric acid; Phosphoric acid,food grade[1] 中文别名： 正磷酸、原磷酸
化学试剂的规格： 一级品：保证试剂、优级纯，代号 G.R，绿色标志，用于精密的分析工作，常用来配制标准 溶液； 二级品: 分析试剂、分析纯，A.R，红色，用于配制定量分析中的普通试液； 三级品：化学纯，C.P，蓝色，只用于配制半定量、定性分析中试液和清洁液等。
一级：优级纯（GR，Guaranteed reagent）；标签为深绿色，用于精密分析试验 二级：分析纯（AR，Analytical reagent）；标签为金光红，用于一般分析试验 三级：化学纯（CP，Chemical pure）标签为中蓝，用于一般化学试验。 化学试剂的种类很多，世界各国对化学试剂的分类和分级的标准不尽一致。 IUPAC 对化学标准物质的分类为： A 级：原子量标准。 B 级：和 A 级最接近的基准物质。 C 级：含量为 100±0.02%的标准试剂 D 级：含量为 100±0.05%的标准试剂 E 级：以 C 级或 D 级为标准对比测定得到的纯度的试剂 化学试剂按用途可分为标准试剂，一般试剂，生化试剂等等。 我国习惯将相当于 IUPAC 的 C 级、D 级的试剂称为标准试剂。 优级纯，分析纯，化学纯是一般试剂的中文名称。 一级：优级纯（GR，Guaranteed reagent）；标签为深绿色，用于精密分析试验 二级：分析纯（AR，Analytical reagent）；标签为金光红，用于一般分析试验 三级：化学纯（CP，Chemical pure）标签为中蓝，用于一般化学试验。
电子级磷酸简介
电子级磷酸盐简介电子级磷酸属于高纯磷酸,广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业,主要用于芯片的清洗与蚀刻,其纯度与洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响,纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗(面板级),纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗与浊刻(称为IC级)。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐,也就是高纯有机磷产品的主要原料,另外还可用作超高纯试剂与光纤玻璃原料等。
产业链制作工艺电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到,也可由成品磷酸净化精制而得,制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量与颗粒度。
目前有如下几种主要制备工艺:1)用高纯磷制备电子级磷酸;2)用高纯三氯化磷制备电子级磷酸;3)用三氯氧磷制备电子级磷酸。
提纯工艺主要有:1)磷酸的净化精制法;2)有机溶剂萃取法;3) ①冷冻结晶法;②熔融结晶法;5)其她净化法其她的净化方法有电渗析:①电渗析法;②膜分离。
电子级磷酸的国际质量标准国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8与SEMI -C12四个等级。
我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ与BV- Ⅳ四个等级,BV-Ⅲ级已达到国际SEMI -C7质量标准,适用于018～112μm工艺技术的加工制作,这就是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。
国内外技术差别国内技术水平:目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产,BVII级与BVIII电子级磷酸仍处于研发状态,所需产品依赖进口。
国外技术水平:高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密与高度垄断阶段,生产技术主要由德国、日本与美国等少数几个发达国家掌握,有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道,国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请,技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。
次磷酸国家质量标准
次磷酸的国家质量标准如下：
1. 外观应为无色透明液体。
2. 溶解性应能与水以任意比例溶解。
3. 在遇到热或氧化剂时，可能会分解产生磷化氢、磷酸、亚磷酸和氢气。
4. 含量应达到50%。
5. 亚磷酸（H3PO3）的含量应不超过0.5%。
6. 铁的含量应不超过0.005%。
7. 氯的含量应不超过0.015%。
此外，次磷酸作为还原剂，广泛应用于医药、涂料、电镀等领域，也可用于制备各种次磷酸盐，如NH3.Na.K.Fe。
包装和储存方面，建议使用塑料桶包装，净重25kg或250kg，并放置在通风干燥的地方，避免接触高温氧化剂。
其保质期为24个月。
请注意，次磷酸是一种强腐蚀性的化学物质，其包装和储存都需要特别注意安全。
以上信息仅供参考，如有需要，建议咨询相关化学专家。
电子级磷酸质量标准
试剂名称(Product Name) Cas号分子式(Formular) MDL number EINECS Beilstein磷酸/电子级磷酸Phosphate standard concentrate性状无色、无臭、粘稠液体，溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜方晶体，富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱，但较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水并放热，经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸，长时间受冷即生成结晶，有腐蚀性，易吸湿。
熔点：42.℃沸点：213℃密度:1.834（18℃）质量标准GB/T 1282-1996项目Item 优级纯分析纯(GR) (AR)含量(H3PO4)Assay,% ≥85.0 85.0色度，黑曾单位Color(APHA),% ≤10 25灼烧残渣Ignition residue,% ≤0.1 0.2挥发酸Volatile acid，% ≤0.02 0.02氯化物(Cl)Chloride,% ≤0.0002 0.0003硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤0.001 0.003硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤0.0003 0.0005砷(As)Arsenic,% ≤0.001 0.0001铁(Fe)Iron,% ≤0.001 0.002钠(Na)Sodium,% ≤0.05 --钾(K)Potassium,% ≤0.005 --锰(Mn)Manganese,% ≤0.0002 0.0002镍(Ni)Nickel,% ≤0.0005 --铜(Cu)Copper,% ≤0.0005 --锌(Zn)Zinc,% ≤0.001 --镉(Cd)Cadmium,% ≤0.0005 --铅(Pb)Lead,% ≤0.0005 --重金属(以Pb计)Heavy metals,% ≤-- 0.001还原物质(以H3PO4计)Reducing substances,% ≤0.005 0.01项目电子级磷酸含量（P2O5）% 63.0-68.0熔点℃35.0-42.3外观不规则粉末硝酸盐(NO3) ppm≤5硫酸盐(SO4) ppm≤5氯化物(Cl) ppm≤5铝（Al) ppb≤20锑(Sb) ppb≤300砷(As) ppb≤10钡(Ba) ppb≤20镉(Cd) ppb≤10钙(Ca) ppb≤50铬(Cr) ppb≤10钴(Co) ppb≤20铜(Cu) ppb≤20金(Au) ppb≤5铁(Fe) ppb≤50铅(Pb) ppb≤10锂(Li) ppb≤10镁(Mg) ppb≤20锰(Mn) ppb≤10镍(Ni) ppb≤10钾(K) ppb≤20银(Ag) ppb≤10钠(Na) ppb≤50锶(Sr) ppb≤10锌(Zn) ppb≤10ACS级项目名称Item ACS Grade 含量(H3PO4)Assay ≥85.0% 色度，黑曾单位Color(APHA) ≤10水不溶物Insoluble matter ≤0.001%氯化物(Cl)Chloride(Cl) ≤3ppm硝酸盐(NO3)Nitrate ≤5ppm硫酸盐(SO4)Sulfate ≤0.003% 挥发酸(以乙酸计)V olatile acids(as CH3COOH) ≤0.001%锑(Sb)Antimony(Sb) ≤0.002% 钙(Ca)Calcium(Ca) ≤0.002% 镁(Mg)Magnesium(Mg) ≤0.002% 钾(K)Potassium(K) ≤0.005% 钠(Na)Sodium(Na) ≤0.025% 砷(As)Arsenic(As) ≤1ppm重金属(以Pb计)Heavy metals(as Pb) ≤0.001%铁(Fe)Iron(Fe) ≤0.003%锰(Mn)Manganese(Mn) ≤0.5ppm 还原性物质Reducing substances Passes test品级Grade 色谱纯(grade for HPLC)外观description crystals含量assay 85-90% (T)熔点mp ~40 °Cλ neat紫外吸光度UV absorptionλ: 210 nm ≤0.07λ: 220 nm ≤0.05λ: 230 nm ≤0.04λ: 250 nm ≤0.04λ: 500 nm ≤0.02RP gradient test complies品级Grade 药用级(Ph. Eur., BP, NF,FCC)assay 85.0-88.0%alkali phosphates, in accordanceresidual solvents, in accordancesubstance precip. by Ammonia, in accordanceheavy metals (as Pb) ≤0.0005%volatile acids (as CH3COOH) ≤0.001%anion traceschloride (Cl-): ≤5 ppmfluoride (F-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): in accordancephosphite, hypophosphite (as H3PO3): ≤30 ppmsulfate (SO42-): ≤50 ppmsulfate (SO42-): in accordancecation tracesAs: ≤2 ppmCd: ≤3 ppmCu: ≤10 ppmFe: ≤10 ppmHg: ≤1 ppmPb: ≤3 ppmZn: ≤10 ppmsuitability passes test for appearance of solution贮存密封保存。
电子级指标——精选推荐
电子用氟化氢铵溶液指标项目指标低尘高纯MOS主含量（以NH4F计）% 33.8-35。
8 33.8-35。
8 （以HF计）% 5.9-6。
9 5.9-6。
9 氯化物，ppm ≤8 4 硫酸盐，ppm ≤ 2 2 磷酸盐，ppm ≤ 1 1 锂，ppm ≤ 1 0.1砷，ppm ≤- -钠，ppm ≤ 1 0.1镁，ppm ≤ 1 0.5铝，ppm ≤ 1 0.5钾，ppm ≤ 1 0.1金，ppm ≤- 0.1锑，ppm ≤- 0.1镍，ppm ≤0.3 0.1钙，ppm ≤ 1 0.5钛，ppm ≤- 0.1铬，ppm ≤0.1 0.1锰，ppm ≤0.5 0.1铁，ppm ≤ 1 0.5铜，ppm ≤0.3 0.1锌，ppm ≤0.5 0.1钴，ppm ≤0.5 -铅，ppm ≤- 0.1镓，ppm ≤0.5 0.1砷，ppm ≤0.3 0.1钼，ppm ≤- 0.1银，ppm ≤0.5 0.1镉，ppm ≤0.5 0.1铟，ppm ≤- 0.1锡，ppm ≤0.5 0.1钡，ppm ≤ 1 0.1铂，ppm ≤- 0.1铋，ppm ≤- 0.1灼烧残渣（以SO4计）≤50ppm ≤40ppm 颗粒，个/mL ≤（≥10μm）30 （≥5μm）27电子用氟化铵溶液指标项目指标低尘高纯MOS BV-1 SEMI C1 SEMI C7 SEMI C12主含量（NH4F）% 39.0-41。
0 39.0-41。
0 40.0-41。
9 39.0-41。
0 39.0-41。
0 39.0-41。
0 色度（APHA）≤- - - 10 10 10水溶液PH值（1%） 6.0-7。
5 6.2-7。
0 6.1-6。
7 6.5-7。
5 6.5-7。
5 6.5-7。
5 氯化物，ppm ≤8 4 0.5 4 2 2硫酸盐，ppm ≤ 2 2 1 2 2 2硝酸盐，ppm ≤- - - 10 3 3磷酸盐，ppm ≤ 1 1 0.4 1 0.5 0.5 锂，ppm ≤ 1 0.1 0.005 - 0.01 0.001 钠，ppm ≤ 1 0.1 0.05 0.3 0.01 0.001 镁，ppm ≤ 1 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 铝，ppm ≤- 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 钾，ppm ≤ 1 0.1 0.05 0.3 0.01 0.001 金，ppm ≤- 0.1 0.003 - - -硼，ppm ≤- - - 0.2 0.01 0.001 钒，ppm ≤- - - - 0.01 0.001 锶，ppm ≤- - 0.001 - - -锑，ppm ≤- 0.1 0.01 - 0.01 0.001 铍，ppm ≤- - 0.005 - - -镍，ppm ≤0.3 0.1 0.005 0.3 0.01 0.001 钙，ppm ≤ 1 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 钛，ppm ≤- 0.1 0.005 0.3 0.01 0.001 铬，ppm ≤0.1 0.1 0.005 0.1 0.01 0.001 锰，ppm ≤0.5 0.1 0.003 0.2 0.01 0.001 铁，ppm ≤ 1 0.5 0.05 0.2 0.01 0.001 铜，ppm ≤0.3 0.1 0.005 0.1 0.01 0.001 锌，ppm ≤0.5 0.1 0.005 0.2 0.01 0.001 钴，ppm ≤0.5 0.1 0.005 - - -铅，ppm ≤ 1 0.5 0.005 0.3 0.01 0.001 镓，ppm ≤0.5 0.1 0.005 - - -砷，ppm ≤0.1 0.05 0.02 0.03 0.01 0.001 钼，ppm ≤- 0.1 0.005 - - -银，ppm ≤0.5 0.1 0.005 - - -镉，ppm ≤0.5 0.1 0.005 - 0.01 0.001 铟，ppm ≤- 0.1 0.005 - - -锡，ppm ≤0.5 0.003 0.2 0.01 0.001 钡，ppm ≤ 1 - 0.005 - 0.01 0.001 铂，ppm ≤- - 0.005 - - -铋，ppm ≤- - 0.005 - - -灼烧残渣（以SO4计），ppm ≤50 - - - - -颗粒，个/mL≤（≥10μm）30（≥5μm）25（≥2μm）3（≥1μm）25（≥0。
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试剂名称(Product Name) Cas号分子式(Formular) MDL number EINECS Beilstein
磷酸/电子级磷酸
Phosphate standard concentrate
性状无色、无臭、粘稠液体，溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜方晶体，富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱，但较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水并放热，经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸，长时间受冷即生成结晶，有腐蚀性，易吸湿。
熔点：42.℃
沸点：213℃
密度:1.834（18℃）
质量标准
GB/T 1282-1996
项目Item 优级纯分析纯
(GR) (AR)
含量(H3PO4)Assay,% ≥85.0 85.0
色度，黑曾单位Color(APHA),% ≤10 25
灼烧残渣Ignition residue,% ≤0.1 0.2
挥发酸Volatile acid，% ≤0.02 0.02
氯化物(Cl)Chloride,% ≤0.0002 0.0003
硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤0.001 0.003
硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤0.0003 0.0005
砷(As)Arsenic,% ≤0.001 0.0001
铁(Fe)Iron,% ≤0.001 0.002
钠(Na)Sodium,% ≤0.05 --
钾(K)Potassium,% ≤0.005 --
锰(Mn)Manganese,% ≤0.0002 0.0002
镍(Ni)Nickel,% ≤0.0005 --
铜(Cu)Copper,% ≤0.0005 --
锌(Zn)Zinc,% ≤0.001 --
镉(Cd)Cadmium,% ≤0.0005 --
铅(Pb)Lead,% ≤0.0005 --
重金属(以Pb计)Heavy metals,% ≤-- 0.001
还原物质(以H3PO4计)Reducing substances,% ≤0.005 0.01
项目电子级磷酸
含量（P2O5）% 63.0-68.0
熔点℃35.0-42.3
外观不规则粉末
硝酸盐(NO3) ppm≤5
硫酸盐(SO4) ppm≤5
氯化物(Cl) ppm≤5
铝（Al) ppb≤20
锑(Sb) ppb≤300
砷(As) ppb≤10
钡(Ba) ppb≤20
镉(Cd) ppb≤10
钙(Ca) ppb≤50
铬(Cr) ppb≤10
钴(Co) ppb≤20
铜(Cu) ppb≤20
金(Au) ppb≤5
铁(Fe) ppb≤50
铅(Pb) ppb≤10
锂(Li) ppb≤10
镁(Mg) ppb≤20
锰(Mn) ppb≤10
镍(Ni) ppb≤10
钾(K) ppb≤20
银(Ag) ppb≤10
钠(Na) ppb≤50
锶(Sr) ppb≤10
锌(Zn) ppb≤10
ACS级
项目名称Item ACS Grade 含量(H3PO4)Assay ≥85.0% 色度，黑曾单位Color(APHA) ≤10
水不溶物Insoluble matter ≤0.001%
氯化物(Cl)Chloride(Cl) ≤3ppm
硝酸盐(NO3)Nitrate ≤5ppm
硫酸盐(SO4)Sulfate ≤0.003% 挥发酸(以乙酸计)V olatile acids(as CH3COOH) ≤0.001%
锑(Sb)Antimony(Sb) ≤0.002% 钙(Ca)Calcium(Ca) ≤0.002% 镁(Mg)Magnesium(Mg) ≤0.002% 钾(K)Potassium(K) ≤0.005% 钠(Na)Sodium(Na) ≤0.025% 砷(As)Arsenic(As) ≤1ppm
重金属(以Pb计)Heavy metals(as Pb) ≤0.001%
铁(Fe)Iron(Fe) ≤0.003%
锰(Mn)Manganese(Mn) ≤0.5ppm 还原性物质Reducing substances Passes test
品级Grade 色谱纯
(grade for HPLC)
外观description crystals
含量assay 85-90% (T)
熔点mp ~40 °C
λ neat
紫外吸光度UV absorption
λ: 210 nm ≤0.07
λ: 220 nm ≤0.05
λ: 230 nm ≤0.04
λ: 250 nm ≤0.04
λ: 500 nm ≤0.02
RP gradient test complies
品级Grade 药用级
(Ph. Eur., BP, NF,
FCC)
assay 85.0-88.0%
alkali phosphates, in accordance
residual solvents, in accordance
substance precip. by Ammonia, in accordance
heavy metals (as Pb) ≤0.0005%
volatile acids (as CH3COOH) ≤0.001%
anion traces
chloride (Cl-): ≤5 ppm
fluoride (F-): ≤5 ppm
nitrate (NO3-): ≤5 ppm
nitrate (NO3-): in accordance
phosphite, hypophosphite (as H3PO3): ≤30 ppm
sulfate (SO42-): ≤50 ppm
sulfate (SO42-): in accordance
cation traces
As: ≤2 ppm
Cd: ≤3 ppm
Cu: ≤10 ppm
Fe: ≤10 ppm
Hg: ≤1 ppm
Pb: ≤3 ppm
Zn: ≤10 ppm
suitability passes test for appearance of solution
贮存密封保存。
用途测定钢铁中铬、镍、钒成分、金属防锈、橡胶凝固剂，测定血清中非蛋白氮、总胆醇和全血葡萄糖等。
结晶磷酸主要用于微电子、高能电池、激光玻璃等制造工艺，用作高纯催化剂、医学材料。
联合国编号1805
Risk：R34-
Safety : S26- S45-
Hazard : C -。