磷酸电子级磷酸的所有技术指标及基本介绍样本
第五节 电子磷酸
第五节电子磷酸一、概述磷酸依制备工艺的差别可分为肥料级、工业级、食品级、药用级、试剂级、电子级等级别。
电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗，纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料。
近年来由于电子工业和液晶显示电视迅速发展，用于半导体、液晶显示器(LCD)及其他电子设备作蚀刻剂的电子级磷酸需求增长强劲。
目前我国已成为世界LCD需求增长最快的国家，2011年我国将成为世界重要的集成电路(1C)制造基地之一。
而“十五”期间我国电子化学晶年均增长率超过20%，预计到2010年我国电子化学品市场规模将超过200亿元，成为化工行业中发展速度最快、最具活力的行业之一。
随着半导体芯片制造业和LCD制造业向中国大陆的转移，特别是武汉光谷、富士康、中芯国际等大型电子产业在武汉的安家落户，与之配套的电子级磷酸的用量将大幅增长，对电子级磷酸的研究显得十分重要和迫切。
二、性质性状无色、无臭、粘稠液体，溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜方晶体，富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱，但较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水并放热，经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸，长时间受冷即生成结晶，有腐蚀性，易吸湿。
熔点：42.℃沸点：213℃密度:1.834（18℃）三、制备原理磷酸的生产现金主要有两种方法，热法和湿法。
1.热法磷酸主要是以黄磷为原料，黄磷燃烧生成通过热法生产出的磷酸由于原料组成单一，生产工艺不复杂，因此产品的纯度高，杂质含量少，一直用在高新医药等领域，但其缺点就是耗能大，成本高，生产过程产生的粉尘和毒气严重污染环境，因此世界上热法磷酸的比例正在逐渐下降。
电子级磷酸简介范文
电子级磷酸简介范文湿法制备电子级磷酸是将含磷矿石溶解于硫酸中，然后经过多次结晶和分离纯化，最终得到高纯度的磷酸。
该方法可以得到较高的纯度，但是制备过程较为复杂且成本较高。
气相法制备电子级磷酸是通过蒸发和凝结的方式，将含磷的气体与水蒸汽反应生成磷酸。
这种方法的优点是制备过程相对简单，成本较低，但是纯度相对较低。
电子级磷酸的纯度要求非常高，主要由杂质的含量决定。
一般来说，电子级磷酸的杂质含量应该低于PPB（billion的十亿分之一），甚至更低。
常见的杂质有金属离子、有机物和无机盐等。
为了达到如此高的纯度要求，制备过程中需要采取各种措施，如选择高纯度的原料、控制反应条件和使用高纯度的溶剂等。
电子级磷酸的应用非常广泛，主要用于半导体和其他电子器件的制造过程中。
它可用作清洗剂、腐蚀剂、抛光剂和蚀刻剂等。
在片上化合物半导体（IC）的制造过程中，电子级磷酸可用于清洗硅片和去除残留物，以提高硅片的纯度和表面光洁度。
此外，电子级磷酸还可以用作制备硅酸盐蜂窝陶瓷、玻璃和光纤等材料的原料。
在电子元件制造过程中，电子级磷酸的纯度和质量非常重要。
由于电子级磷酸的纯度要求极高，一旦杂质超出规定范围，可能会对器件的性能造成影响。
因此，在电子级磷酸的生产和使用过程中，需要严格控制各项工艺参数，并进行多次分离和纯化，以确保产品的质量。
总之，电子级磷酸是一种高纯度的化学品，广泛应用于半导体和其他电子器件制造过程中。
它的制备过程复杂，要求高纯度的原料和专业的工艺。
电子级磷酸的纯度要求非常高，主要由杂质的含量决定。
它主要用作清洗剂、腐蚀剂、抛光剂和蚀刻剂，以及制备材料的原料。
在电子元件制造过程中，电子级磷酸的纯度和质量对器件的性能有重要影响，因此需要严格控制各项工艺参数，并进行多次分离和纯化。
磷酸电子级磷酸的所有技术指标及基本介绍样本
磷酸/电子级磷酸上海紫一试剂厂.com电话: ; 传真:磷酸/电子级磷酸PhosphatestandardconcentrateCas号: 【7664-38-2】MDL: MFCD00011340分子式: H3O4P; H3PO4分子量: 98.00别名: 正磷酸,一缩原磷酸,缩原磷酸,乙烯利水剂PhosphoricacidsolutionPhosphoricacidOrthophosphoricacidOrthophosphoricacid订货信息:性状: 无色、无臭、粘稠液体, 溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜方晶体, 富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱, 但较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水并放热, 经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸, 长时间受冷即生成结晶, 有腐蚀性, 易吸湿。
熔点: 42.℃沸点: 213℃密度:1.834( 18℃)质量标准: GB/T 1282-1996项目Item 优级纯分析纯(GR) (AR) 含量(H3PO4)Assay,% ≥ 85.0 85.0 色度, 黑曾单位Color(APHA),% ≤ 10 25 灼烧残渣Ignition residue,% ≤ 0.1 0.2 挥发酸Volatile acid, % ≤ 0.02 0.02氯化物(Cl)Chloride,% ≤ 0.0002 0.0003 硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤ 0.001 0.003 硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤ 0.0003 0.0005 砷(As)Arsenic,% ≤ 0.001 0.0001 铁(Fe)Iron,% ≤ 0.001 0.002 钠(Na)Sodium,% ≤ 0.05 -- 钾(K)Potassium,% ≤ 0.005 -- 锰(Mn)Manganese,% ≤ 0.0002 0.0002 镍(Ni)Nickel,% ≤ 0.0005 -- 铜(Cu)Copper,% ≤ 0.0005 -- 锌(Zn)Zinc,% ≤ 0.001 --镉(Cd)Cadmium,% ≤ 0.0005 -- 铅(Pb)Lead,% ≤ 0.0005 -- 重金属(以Pb计)Heavy metals,% ≤ -- 0.001 还原物质(以H3PO4计)Reducing substances,% ≤ 0.005 0.01项目电子级磷酸含量( P2O5) % 63.0-68.0熔点℃35.0-42.3外观不规则粉末硝酸盐(NO3) ppm ≤5硫酸盐(SO4) ppm ≤5氯化物(Cl) ppm ≤5铝( Al) ppb ≤20锑 (Sb) ppb ≤300砷 (As) ppb ≤10钡 (Ba) ppb ≤20镉 (Cd) ppb ≤10钙 (Ca) ppb ≤50铬 (Cr) ppb ≤10钴(Co) ppb ≤20铜 (Cu) ppb ≤20金 (Au) ppb ≤5铁(Fe) ppb ≤50铅 (Pb) ppb ≤10锂 (Li) ppb ≤10镁 (Mg) ppb ≤20锰 (Mn) ppb ≤10镍(Ni) ppb ≤10钾 (K) ppb ≤20银 (Ag) ppb ≤10钠 (Na) ppb ≤50锶 (Sr) ppb ≤10锌 (Zn) ppb ≤10ACS级项目名称Item ACS Grade 含量(H3PO4)Assay ≥85.0%色度, 黑曾单位Color(APHA) ≤10水不溶物Insoluble matter ≤0.001%氯化物(Cl)Chloride(Cl) ≤3ppm硝酸盐(NO3)Nitrate ≤5ppm硫酸盐(SO4)Sulfate ≤0.003%挥发酸(以乙酸计)Volatile acids(as CH3COOH) ≤0.001%锑(Sb)Antimony(Sb) ≤0.002%钙(Ca)Calcium(Ca) ≤0.002%镁(Mg)Magnesium(Mg) ≤0.002%钾(K)Potassium(K) ≤0.005%钠(Na)Sodium(Na) ≤0.025%砷(As)Arsenic(As) ≤1ppm重金属(以Pb计)Heavy metals(as Pb) ≤0.001%铁(Fe)Iron(Fe) ≤0.003%锰(Mn)Manganese(Mn) ≤0.5ppm还原性物质Reducing substances Passes test品级Grade 色谱纯(grade for HPLC)外观description crystals含量assay 85-90% (T)熔点mp ~40 °Cλ neat紫外吸光度UV absorptionλ: 210 nm ≤0.07λ: 220 nm ≤0.05λ: 230 nm ≤0.04λ: 250 nm ≤0.04λ: 500 nm ≤0.02RP gradient test complies品级Grade 药用级(Ph. Eur., BP, NF, FCC) assay 85.0-88.0%alkali phosphates, in accordanceresidual solvents, in accordancesubstance precip. by Ammonia, in accordanceheavy metals (as Pb) ≤0.0005%volatile acids (as CH3COOH) ≤0.001%anion traceschloride (Cl-): ≤5 ppmfluoride (F-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): ≤5 ppmnitrate (NO3-): in accordance phosphite, hypophosphite (as H3PO3): ≤30 ppmsulfate (SO42-): ≤50 ppmsulfate (SO42-): in accordance cation tracesAs: ≤2 ppmCd: ≤3 ppmCu: ≤10 ppmFe: ≤10 ppmHg: ≤1 ppmPb: ≤3 ppmZn: ≤10 ppm suitability passes test for appearance of solution 贮存: 密封保存。
磷酸级别 国标
磷酸级别国标磷酸是一种广泛应用于化学工业和生产领域的化学品。
根据国内标准，磷酸根据其含量被分为五个不同的级别：AR、CP、LR、GR、电子级。
这五个级别分别代表了磷酸的纯度和用途，下面将对每个级别进行详细介绍。
AR级磷酸是一种常用的化学试剂，通常用于实验室分析和科研领域。
它的纯度高达99.0%以上，能够满足大多数分析实验的需要。
AR级磷酸生产过程中使用的原料和工艺都比较严格，以确保产品的质量和稳定性。
CP级磷酸比AR级低一些，其纯度通常在85.0%以上。
CP级磷酸广泛应用于化学品、医药和食品工业等领域，特别是用于制作饲料、肥料和食品添加剂等。
虽然其纯度较AR级低，但CP级磷酸价格相对更加实惠，能够满足许多应用领域的需求。
LR级磷酸的纯度比CP级还低，通常在70%以上。
该级别的磷酸主要用于初步实验和工业化学过程中的中间步骤。
尽管LR级磷酸的纯度较低，但也能够在许多应用领域中发挥作用，如造纸和油漆工业等。
GR级磷酸是一种比LR级更低纯度的磷酸，其纯度在50%以上。
GR级磷酸主要用于一些工业化学过程中的废液处理和污染物处理等领域。
相比AR级和CP级，GR级磷酸的生产成本更低，可以在可持续化工领域中发挥作用。
电子级磷酸是最高纯度的磷酸，其纯度通常在99.999%以上，用于电子元器件的制造过程中。
电子级磷酸的制备过程比其他级别的磷酸更加严格，以确保其杂质含量尽可能低，可以让电子零件更加可靠和稳定。
总之，根据磷酸的纯度和应用领域的不同，我们可以将其分为AR、CP、LR、GR和电子级五个级别。
这些级别不仅仅是用于区分磷酸的纯度，也代表了磷酸在不同领域的使用价值和应用范围。
理解这些级别的区别，可以帮助我们更好地使用磷酸并满足不同领域的需求。
电容级磷酸指标
电容级磷酸指标
电容级磷酸
电容级磷酸
化学式：H3PO4Molecular Formula: H3PO4
分子量：97.99 Molecular weight:97.99
CAS号7664-38-2 CAS NO. ：7664-38-2
产品等级：电容器级Product grade ：electric capacity grade
性状:
无色透明粘稠状液体或斜方晶体，无臭，味很酸，熔点42.35℃，加热至300℃变成偏磷酸，相对密度1.834，易溶于水，溶于乙醇，能刺激皮肤引起发炎，破坏肌体组织，在瓷器中加热时有侵蚀作用，有吸湿性。
用途：用于生产各种磷酸盐，金属表面磷化处理，配制电解抛光液和化学抛光液，并用作催化剂，干燥剂以及清洗液，用于生产磷酸耐火泥，无机粘结剂，涂料工业用作金属防锈漆；食品磷酸用作酸味剂和酵母营养剂，可用于调味料，罐头，清凉饮料的酸味剂，用于酿酒时的酵母营养源，防止杂菌繁殖。
包装贮存:：聚乙烯塑料桶装，净重1500KG，桶口必须加内盖和外盖严密封闭；属二级无机酸性腐蚀品，危规编号：93002；冬天易结冰。
技术指标
名称：电容器级
外观：无色透明稠状液体
磷酸（H3PO4）%≧85
铁(Fe) ppm≦2
氯化物(以Cl-计) ppm≦（as Cl-）1
重金属（以Pb计）ppm≦ (as Pb)5
硫酸盐（以SO 计）ppm≦ (as SO )5。
磷酸生产工艺
氯化物(Cl)
铝（Al) 锑 (Sb) 砷 (As) 钡 (Ba) 镉 (Cd) 钙 (Ca)
ppm
ppb ppb ppb ppb ppb ppb
≤5
≤20 ≤300 ≤10 ≤20 ≤10 ≤50
铬 (Cr)
钴(Co) 铜 (Cu)
ppb
ppb ppb
≤10
≤20 ≤20
第一部分
项目 金 (Au) 铁(Fe) 铅 (Pb) 锂 (Li) 镁 (Mg) 锰 (Mn) 镍(Ni) 钾 (K) ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb ppb 指标 ≤5 ≤50 ≤10 ≤10 ≤20 ≤10 ≤10 ≤20
热法磷酸
概论
热法磷酸工艺成熟、设备简单、易操作管理、产 品纯度高，易经进一步提纯净化生产高纯级产品如电 子级磷酸。 日本供应电子和半导体行业的磷酸全部由高纯黄 磷加工或从热法高纯磷酸再加工而来，这也是近年我 国黄磷和热法酸大量出口的原因。随着电子工业向中 国的迅速转移，未来国内高纯电子级磷酸需求会迅速 增加，将为热法磷酸生产电子级高纯磷酸提供很好的 发展机遇。
第一部分
概论
磷酸根离子具有很强的配合能力，能与许多 金属离子生成可溶性的配合物。如Fe3+与PO43可以生成无色的可溶性的配合物[Fe(PO4)2]3-和 [Fe(HPO4)2]-，利用这一性质，分析化学上常 用PO43-掩蔽Fe3+离子。 磷酸受强热时脱水 ，依次生成焦磷酸、 三磷酸和多聚的偏磷 酸。三磷酸是链状结 构，多聚的偏磷酸是 环状结构。
第一部分
概论
湿法磷酸 目前国内湿法磷酸净化技术已经突破国外封锁，企业可 以选择适当的净化技术生产工业级乃至食品级磷酸，湿法 净化磷酸工业生产工业级食品级磷酸将会得到快速发展。 湿法磷酸生产成本与热法磷酸相比将大幅下降，其竞争优 势将明显增强。预计湿法酸净化生产工业级磷酸将迅速发 展起来，取代热法磷酸的幅度将不断增加。 湿法磷酸精制装臵只能提供基本原材料，工业或食品 级磷酸产品没有下游精细磷化工产品附加价值高，而成本 往往受到原材料价格、技术水平、装臵规模、污染物治理 、管理水平等因素影响。此外，湿法磷酸精制涉及到磷矿 选矿和粗酸加工，需要配套硫磺制酸、余热发电等装臵， 生产的净化磷酸也还需要考虑进一步深加工。
电子级磷酸研发现状及芯片级磷酸展望
电子级磷酸研发现状及芯片级磷酸展望
电子级磷酸是一种广泛应用于电子器件制造中的化学品，用于清洗和刻蚀衬底表面、
去除杂质、改善氧化等作用。
目前，电子级磷酸的研发已取得了较为显著的成果，在芯片
级磷酸方面也有很大的发展潜力。
电子级磷酸研发的现状主要包括以下几个方面：
1.制备方法的改进：传统的制备方法主要是通过磷矿石的矿石冶炼和提纯过程获得。
近年来，随着技术的发展，通过化学合成方式获得电子级磷酸的研究也取得了一定的进展。
这种方式可以有效控制磷酸的纯度和杂质含量，提高其应用性。
2.质量控制的改善：电子级磷酸的纯度对于器件制造的性能起着重要作用。
研发人员
对于电子级磷酸的纯度和杂质含量的控制要求越来越高。
目前，研发人员通过改进制备工艺、优化杂质去除方法等手段，不断提高电子级磷酸的质量控制水平。
1.应用扩大：随着电子器件的不断发展和应用领域的不断扩大，对于磷酸的需求量也
在不断增加。
尤其是新兴的人工智能、物联网等领域，对于芯片级磷酸的需求量将会更加
旺盛。
3.创新应用：芯片级磷酸具有很好的导电性能和化学稳定性，这为其在电子器件制造
方面的创新应用提供了可能。
可以将芯片级磷酸用于新型的晶体管和光电器件等领域，进
一步提升器件的性能和稳定性。
电子级磷酸研发现状及芯片级磷酸展望
电子级磷酸研发现状及芯片级磷酸展望电子级磷酸是一种重要的化学原料，广泛应用于半导体材料、电子元件、光电子器件等领域。
在当前电子产业快速发展的背景下，电子级磷酸的研发和生产也得到了广泛关注。
电子级磷酸的研发目前取得了一定的进展。
一方面，国内外的磷酸生产企业加大了对电子级磷酸的技术研究和生产投入，努力提高产品的纯度、均匀性和稳定性，以满足电子行业对高质量磷酸的需求。
科研机构和高校也在电子级磷酸的制备、纯化和表征方面进行了大量的研究工作，以提高磷酸的制备效率和品质。
电子级磷酸的核心问题是如何实现高纯度和高均匀性。
在目前的研发中，主要采用了以下几种方法。
首先是通过提高磷酸的制备技术，减少杂质的含量。
采用高纯度原料、优化反应条件、增加纯化工序等手段，可以将杂质的含量降低到PPB（万亿分之一）级。
其次是通过高效的纯化和分离工艺，进一步去除残留的杂质。
现阶段主要采用的方法包括离子交换法、吸附法和蒸馏法等。
再者是通过控制磷酸的结晶过程和提高晶体的生长质量，实现均匀性的提高。
最后是通过引入新的磷酸生长剂、改变晶体生长条件等手段，提高磷酸晶体的质量。
电子级磷酸的研发还面临着一些挑战。
目前国内外的磷酸生产企业主要以工业级磷酸为主，电子级磷酸的生产规模相对较小，需要加大研发和生产投入。
电子级磷酸的生产流程复杂，制备工艺要求高，需要建立完善的质量控制体系。
电子级磷酸的价格相对较高，需要降低成本，以提高竞争力。
对于电子级磷酸的展望，主要体现在以下几个方面。
随着电子产业的快速发展，对电子级磷酸的需求将不断增加，市场潜力巨大。
随着电子级磷酸技术的不断提高，磷酸产品的纯度和均匀性将会大幅度提高，为电子行业的进一步发展提供有力支撑。
电子级磷酸的研发还将促进国内相关产业链的形成和发展，提高我国在电子材料领域的竞争力。
电子级磷酸的研发和生产取得了一定的进展，但仍面临着一些挑战。
展望未来，电子级磷酸市场潜力巨大，技术水平将进一步提高，为电子行业的发展提供有力支撑。
一种超高纯电子级磷酸的生产方法[发明专利]
![一种超高纯电子级磷酸的生产方法[发明专利]](https://img.taocdn.com/s3/m/dbcda72bd5bbfd0a795673f6.png)
专利名称：一种超高纯电子级磷酸的生产方法专利类型：发明专利
发明人：罗培华
申请号：CN201110092973.9
申请日：20110414
公开号：CN102730654A
公开日：
20121017
专利内容由知识产权出版社提供
摘要：本发明公开了一种超高纯电子级磷酸的生产方法，包括：(1)将高纯三氯氧磷加热气化；三氯氧磷蒸气进入磷酸发生器；(2)高纯水加热制得水蒸汽，水蒸气进入磷酸发生器；(3)调节在磷酸发生器里水蒸气与三氯氧磷蒸气的质量比例，进行反应，生成超高纯磷酸和氯化氢蒸气，磷酸加入集液槽，氯化氢经除沫后进入盐酸集液器；(4)所得磷酸经加热，真空脱出氯化氢之后即得到超高纯电子级磷酸；(5)所得盐酸进入蒸发器，蒸出氯化氢气体并用吸收液循环吸收得到高纯盐酸；吸收后的尾气经冷凝除沫后通过尾气塔排入大气。
本方法通过三氯氧磷和水蒸汽进行气相反应，增大反应物接触面，有效控制反应速度，并控制磷酸中水和氯化氢含量，可制得超高纯电子级磷酸，副产高纯盐酸。
申请人：罗培华
地址：550014 贵州省贵阳市白云区龚家寨办事处
国籍：CN
代理机构：贵阳中工知识产权代理事务所
代理人：刘安宁
更多信息请下载全文后查看。
电子级磷酸的研究与生产进展
微粒 ： 采取 加压 进样 消 除气 泡 干扰 ， 用激 光散 射 型颗 粒计 数 器测 量 液体 中单个 粒 子通 过 狭窄 光束 时 的散 射光 强 度进 行检 测
的总 含量 在 １ 级 ： 中 ， 机 物 以多 核芳 烃 为 主 、 ０ 其 有
与 黄磷 亲 和力 较强 ． 主要 以磷 化砷 形 式存 在 、 与 砷 易 磷 生成 共 晶 ． 与磷 结合 密 切 。 锑 都不 易脱 除 。
湿法 路线 最初 用 酸处 理磷 矿 石时 引入 的杂 质 太 多 ．导致 后续 净 化 的流程 过长 且 难 以制得 高 品质 的
１ ． 检 测 方法 ＿ ２ ２ ］
四氟 乙烯 微滤 膜过 滤 ， 制得 电子级 磷 酸 ４ 磷 化氢 （ Ｈ ） 解 法 。 Ｈ 气 体净 化干 燥后 经 ） Ｐ 分 Ｐ 催 化 热分 解 、 冷凝 获得 高 纯磷 ， 在纯 氧或 洁 净 空气 再
中燃 烧并 用纯 水 吸收得 到 电子 级磷 酸
超 净高 纯化 学试 剂 的纯度 和 洁净 度对 电子产 品 的成 品率 、 电性 能及 可靠 性有 重要 影 响 。 际半导 体 国 设 备 与 材 料 组 织 （ Ｅ ） 电 子 级磷 酸 先 后 发 布 了 Ｓ ＭＩ 对 Ｓ ＭＩ ３ － ０ ０ 、７ ５ １ ０ Ｅ ６ ３ １ ０ ０ 、 １ ６和 １ ０ Ｃ １ ７等 ４个 版 本 的 标 准 。 １为 已公开 的 Ｓ ＭＩ ３ —０ ０ 标 准 指标及 表 Ｅ Ｃ ６ ３ｌ Ｉ ＬＰ （ 国 ） 司 ２ ０ Ｃ Ｐ 美 公 ０ ８版产 品 指标 …。此 外 ． 际 实
电子级磷酸中痕量硫酸根含量的测定方法
电子级磷酸中痕量硫酸根含量的测定方法张岚欣王存文王为国徐汶张俊峰（武汉工程大学绿色化工过程省部共建教育部重点实验室，武汉 430073）[摘要]本文研究了电子级磷酸中痕量硫酸根含量的分光光度测定法，实验结果表明，在最大波长460nm处测定，硫酸根含量与吸光度成良好的线性关系，随着磷酸取样量的增加，吸光度值所需的稳定时间相应增加，稳定后磷酸取样量与硫酸根含量成良好线性关系，因此实验过程中可通过调整磷酸的取样量来调节硫酸根含量，使之在标准曲线的测定范围内。
实验可测定的硫酸根的浓度范围为2ug/ml~~12ug/ml，硫酸根含量范围为8ppm~~300ppm。
本文还研究了稳定剂的影响，测定了回收率，验证了本实验方法的可靠性。
[关键词]电子级磷酸分光光度法硫酸根含量[文章编号] [中图分类号]TQ 0657.3 [文献标识码]Determination Method of Trace Amount SO42- in Electronic Grade Phosphoric AcidZhang Lanxin, Wang Cunwen, Wang Weiguo,Xu Wen,Zhang Junfeng( Key Laboratory for Green Chemical Process of Ministry of Education, Wuhan Institute ofTechnology ,Wuhan 430074，Hubei province,China )[Abstract]In this paper, spectrophotometric method by which the trace amount SO42- was determinated in electronic grade phosphoric acid was researched, The experimental result shows that under the max wavelength of 460nm，there is good linear relation between absorbance and the content of SO42-,and the stationary time that absorbance needs become longer according to the increase of phosphoric acid quality.When absorbance become stationary, there is good linear relation between absorbance and phosphoric acid quality.So wo can adjust absorbance by adjusting phosphoric acid quality to make absorbance in scope of standard curve in our experiment. Concentration limit of SO42- that we can determinate is 2ug/ml~~12ug/ml，and the content limit of SO42- is 8ppm~~300ppm .We also studied the impact of stabilizer and determinated recovery,checked the reliability of this experiment method.[Keywords] electronic grade phosphoric acid ;spectrophotometric method;the content of SO42-前言电子级磷酸属高纯磷酸,是电子行业使用的一种超高纯化学试剂,属于微电子化学产品之一,目前世界上仅有美国、日本、韩国等少数几个国家能够生产。
电子级磷酸的纯化技术及其配套技术
将 磷 酸三 甲酯或 磷酸 三 乙酯等磷 酸三 酯蒸 馏提
纯后 ， 加入 装有 超纯 水 的密 闭 容 器 中 ， ０ ２３４— 在 ．９
２ ９ ３０ Ｍ ａ压力下 加 热 到 １０～１ ０ｃ ． ４ Ｐ ２ ８ Ｃ水解 ， 可制
剂需求 量将 超 过 １０ｋ／ ， ６ ｔａ 电子 化学 品市场 销 售 额
标准 ， 电 子 级 磷 酸 划 分 为 Ｓ ＭＩＧａｅ 、 Ｅ Ｉ 将 Ｅ ｒ ｌ Ｓ Ｍ ｄ
Ｇ ａｅ ｒｄ２和 Ｓ ＭＩ ｒｄ ３ Ｅ ａｅ 。 Ｇ
因此 ， 微 电 子生产 企 业对 电子 级磷 酸要 求 的 各 标 准不 同 ， 将其划 分 为 ４个 档 次 ： 低 档产 品 ， 用 ① 适 于 中小规模 集成 电路 及 电子器 件加 工 工 艺 ， 于 大 用 于 １２ ｍ 宽 电路 蚀 刻 以及 Ｌ Ｄ液 晶制造 工 艺 ； ． Ｃ ②
完整 的研发 、 生产 、 检测 及包 装运 输体 系 。
成本高， 用来 精制 磷 酸 的工 业 化 还有 很 多 问题 尚待
解 决 ， 实用 阶段 尚有 一定距 离 。 距 ２ ６ 热法磷 酸或湿 法 净化磷 酸结 晶法 ．
基 于 技术 保 密 等原 因 ， 内外 电子 级 磷 酸生 产 国 技术 的相关 资料 报 道 相 对很 少 。 目前 ， 内外 生 产 国
严格保 密其 核心 技 术 ， 技术 拥 有 方 甚 至 不进 行 专 利
交换膜 ， 否则 分离 Ｓ Ｏ 一等 杂质 相 当 困难 ， 而且 膜 孔
易 于被堵 塞 ， 能处 理 浓 度 较高 的磷 酸 。此法 精 制 不
申请 。 因此 ， 该技 术 的研 发 必须依 靠 自主创 新 ， 立 建
电子级磷酸市场
电子级磷酸及其市场摘要：随着我国微电子和面板产业的高速发展，世界上许多著名IC晶体圆代工、半导体封装以及LED、TFT-LCD大型企业在中国建厂，电子化学品的需求逐渐增大。
预计2010年中国对电子级磷酸市场需求量将会达到15万－16万吨每年。
整个电子化学品市场预计超过80亿美元，年增长率近20％；世界电子化学品产业市场年平均净增长率为8％以上。
而电子级磷酸的性能优良，已是电子工业重要的化学品之一。
1.电子级磷酸简介磷酸依制备工艺的差别可分为肥料级、工业级、食品级、药用级、试剂级、电子级等级别。
电子级磷酸属于高纯磷酸，广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业，主要用于芯片的清洗和蚀刻，其纯度和洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响，纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗，纯度较高的主要用于电子晶片生产过程的清洗和蚀刻。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐，也是高纯有机磷产品的主要原料。
近年来由于电子工业和液晶显示电视迅速发展，用于半导体、液晶显示器(LCD)及其他电子设备作蚀刻剂的电子级磷酸需求增长强劲。
目前我国已成为世界LCD需求增长最快的国家，2011年我国将成为世界重要的集成电路(1C)制造基地之一。
而“十五”期间我国电子化学晶年均增长率超过20%，预计到2010年我国电子化学品市场规模将超过200亿元，成为化工行业中发展速度最快、最具活力的行业之一。
随着半导体芯片制造业和LCD制造业向中国大陆的转移，特别是武汉光谷、富士康、中芯国际等大型电子产业在武汉的安家落户，与之配套的电子级磷酸的用量将大幅增长，对电子级磷酸的研究显得十分重要和迫切。
1.1应用与需求生产具有稳定的电气特性和可靠性的电子元件和电路时，要求处理硅晶片的化学试剂非常纯净。
不溶性固体颗粒或金属离子可能在微细电路之间导电，使之短路，几个金属离子或灰尘足以使线宽较小的IC报废。
为了避免硅晶片发生粒子污染，必须使用隔膜过滤器净化到0.2μm粒度以下的电子级纯度的化学试剂。
电子级磷酸简介
电子级磷酸盐简介电子级磷酸属于高纯磷酸,广泛用于大规模集成电路、薄膜液晶显示器(TFT-LCD)等微电子工业,主要用于芯片的清洗与蚀刻,其纯度与洁净度对电子元器件的成品率、电性能及可靠性有很大影响,纯度较低的主要用于液晶面板部件的清洗(面板级),纯度高的用于电子晶片生产过程的清洗与浊刻(称为IC级)。
电子级磷酸还可用于制备高纯磷酸盐,也就是高纯有机磷产品的主要原料,另外还可用作超高纯试剂与光纤玻璃原料等。
产业链制作工艺电子级磷酸可由元素磷或磷的氧化物经化学反应得到,也可由成品磷酸净化精制而得,制备的关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量与颗粒度。
目前有如下几种主要制备工艺:1)用高纯磷制备电子级磷酸;2)用高纯三氯化磷制备电子级磷酸;3)用三氯氧磷制备电子级磷酸。
提纯工艺主要有:1)磷酸的净化精制法;2)有机溶剂萃取法;3) ①冷冻结晶法;②熔融结晶法;5)其她净化法其她的净化方法有电渗析:①电渗析法;②膜分离。
电子级磷酸的国际质量标准国际半导体设备与材料组织(SEMI) 将电子化学品按应用范围分为SEMI-C1、SEMI - C7、SEMI-C8与SEMI -C12四个等级。
我国则划分为BV-Ⅰ、BV-Ⅱ、BV- Ⅲ与BV- Ⅳ四个等级,BV-Ⅲ级已达到国际SEMI -C7质量标准,适用于018～112μm工艺技术的加工制作,这就是目前我国生产的较高水平的微电子化学品。
国内外技术差别国内技术水平:目前国内市场所需MOS 级、BV电子级磷酸已有工厂生产,BVII级与BVIII电子级磷酸仍处于研发状态,所需产品依赖进口。
国外技术水平:高纯电子化学品的生产技术在国际上尚处于高度保密与高度垄断阶段,生产技术主要由德国、日本与美国等少数几个发达国家掌握,有关生产方法、工艺技术、实验研究、产品质量指标体系的确立及分析方法、设备包装材质的研究等等内容鲜见报道,国外技术拥有方甚至不进行实质性专利申请,技术研发机构很难检索到有价值的技术文献信息。
磷酸化学品安全技术说明书 磷酸msds
其她防护:
工作场所禁止吸烟、进食与饮水,饭前要洗手。工作完毕,淋浴更衣。单独存放被毒物污染的衣服,洗后备用。保持良好的卫生习惯。
第九部分:理化特性
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主要成分:
含量:工业级一级≥85、0％。
外观与性状:
纯磷酸为无色结晶,无臭,具有酸味。
pH:
熔点(℃):
42、4(纯品)
沸点(℃):
TLVWN:
ACGIH 3mg/m3
监测方法:
工程控制:
密闭操作,注意通风。尽可能机械化、自动化。提供安全淋浴与洗眼设备。
呼吸系统防护:
可能接触其蒸气时,必须佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩);可能接触其粉尘时,建议佩戴自吸过滤式防尘口罩。
眼睛防护:
戴化学安全防护眼镜。
身体防护:
穿橡胶耐酸碱服。
手防护:
第七部分:操作处置与储存
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操作注意事项:
密闭操作,注意通风。操作尽可能机械化、自动化。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具(半面罩),戴化学安全防护眼镜,穿橡胶耐酸碱服,戴橡胶耐酸碱手套。远离易燃、可燃物。避免产生粉尘。避免与碱类、活性金属粉末接触。搬运时要轻装轻卸,防止包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。稀释或制备溶液时,应小心把酸慢慢加入水中,防止发生过热与飞溅。
磷酸化学品安全技术说明书
说明书目录
第一部分
化学品名称
第九部分
理化特性
第二部分
成分/组成信息
第十部分
稳定性与反应活性
第三部分
危险性概述
第十一部分
毒理学资料
第四部分
急救措施
电子级磷酸的等级
表 3 不同等级磷酸杂质要求工业级食品级色度≤40≤20砷（以As计）质量分数/%≤0.01≤0.0001氯化物（以Cl计）质量分数/%≤0.001≤0.0005氟（以F计）质量分数/%≤0.001重金属（以Pb计）质量分数/%≤0.05≤0.001注参考GB3149-92和GB/T1282-1996高纯磷酸产品属于微电子化学品垄断产品之一，目前，国外如美国、日本、德国的电子级磷酸均已有工业化生产，但由于技术保密，其产品质量指标及生产技术未见报道。
国内有北京试剂研究所、北京化工厂、上海试剂一厂等单位生产MOS级和BV-I级的电子级磷酸，其质量指标如表4。
表4 MOS级和BV-I级的电子级磷酸产品质量主要指标（mg/kg）项目MOS BV-Iｗ（磷酸）＞85% 85%ｗ（Cl） 1 1ｗ（As） 5 0.05ｗ（Cu） 5 0.02ｗ（Fe）10 0.05ｗ（Na）10 0.1ｗ（Pb） 5 0.02还原性物质合格合格另外有如江阴澄星实业集团、贵州宏福公司等都在进行电子级磷酸的研发与生产。
目前中国的市场上电子级磷酸的主要供应商为日本、美国和德国的企业。
随着半导体芯片制造业向中国转移，我国电子级磷酸的用量将会有大幅增长。
现国内外市场销售价用于薄膜液晶显示器TFT-LCD用：20000～25000元/t；集成电路IC 晶圆用：25000～35000元/t。
2006年外商向中国购买的高纯磷酸超过8万t，市场前景看好。
国内对电子级磷酸的研究显的十分重要和迫切。
附录一：食品级磷酸标准项目指标色度≤20磷酸(H3PO4) ＞85%胶(以As计) ≤1ppm氟(以F计) ≤l0ppm重金属(以Pb计) ≤l0ppm附录二：电子级磷酸标准项目指标项目指标磷酸(H3PO4) ＞85% Fe3+≤ 2.0ppm NO3- ≤5ppm Pb2+≤ 0.3ppmSO42- ≤12ppm Li+≤ O.1ppmCl-≤1ppm Mg2+≤ 0.2ppmAl3+≤0.5ppm Mn4+≤ O.lppmSb3+≤10ppm Ni2+≤ 0.2ppmAs3+≤0.05ppm K+≤ 1.5ppmCa2+≤1.5ppm Na+≤ 2.5ppmCr2+≤0.2ppm Sr2+≤ 0.1ppmCo2+≤0.05ppm Ti4+≤ 0.3ppmCu2+≤0.05ppm Zn2+≤ 2.0ppmAu2+≤O.3ppm【供应】供应电子级磷酸(18) 此信息还剩255天就到期啦！快抓紧时间做生意！有效范围：2008-3-10——2009-3-10关键字：磷酸电子级磷酸电子磷酸信息内容：TFT-LCD级,IC级电子磷酸,满足TFT-LCD,IC制程使用,广泛用于大规模集成电路大屏幕液晶显示器等微电子工业,主要用作蚀刻液，清洗剂，参杂剂等电子化学品基地主要生产电子级磷酸及其它化学品。
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磷酸/电子级磷酸
上海紫一试剂厂.com
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磷酸/电子级磷酸
Phosphatestandardconcentrate
Cas号: 【7664-38-2】
MDL: MFCD00011340
分子式: H3O4P; H3PO4
分子量: 98.00
别名: 正磷酸,一缩原磷酸,缩原磷酸,乙烯利水剂
Phosphoricacidsolution
Phosphoricacid
Orthophosphoricacid
Orthophosphoricacid
订货信息:
性状: 无色、无臭、粘稠液体, 溶于水及醇。
纯品磷酸为无色斜
方晶体, 富潮解性。
溶于水和乙醇。
其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱, 但
较醋酸、硼酸等弱酸为强。
能刺激皮肤引起发炎及破坏肌体组织。
磷酸溶于水
并放热, 经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸, 长时间受冷即生成结晶, 有腐
蚀性, 易吸湿。
熔点: 42.℃
沸点: 213℃
密度:1.834( 18℃)
质量标准: GB/T 1282-1996
项目Item 优级纯分析纯
(GR) (AR) 含量(H3PO4)Assay,% ≥ 85.0 85.0 色度, 黑曾单位Color(APHA),% ≤ 10 25 灼烧残渣Ignition residue,% ≤ 0.1 0.2 挥发酸Volatile acid, % ≤ 0.02 0.02
氯化物(Cl)Chloride,% ≤ 0.0002 0.0003 硫酸盐(SO4)Sulfate,% ≤ 0.001 0.003 硝酸盐(NO3)Nitrate,% ≤ 0.0003 0.0005 砷(As)Arsenic,% ≤ 0.001 0.0001 铁(Fe)Iron,% ≤ 0.001 0.002 钠(Na)Sodium,% ≤ 0.05 -- 钾(K)Potassium,% ≤ 0.005 -- 锰(Mn)Manganese,% ≤ 0.0002 0.0002 镍(Ni)Nickel,% ≤ 0.0005 -- 铜(Cu)Copper,% ≤ 0.0005 -- 锌(Zn)Zinc,% ≤ 0.001 --
镉(Cd)Cadmium,% ≤ 0.0005 -- 铅(Pb)Lead,% ≤ 0.0005 -- 重金属(以Pb计)Heavy metals,% ≤ -- 0.001 还原物质(以H3PO4
计)Reducing substances,% ≤ 0.005 0.01
项目电子级磷酸
含量( P2O5) % 63.0-68.0
熔点℃35.0-42.3
外观不规则粉末
硝酸盐(NO3) ppm ≤5
硫酸盐(SO4) ppm ≤5
氯化物(Cl) ppm ≤5
铝( Al) ppb ≤20
锑 (Sb) ppb ≤300
砷 (As) ppb ≤10
钡 (Ba) ppb ≤20
镉 (Cd) ppb ≤10
钙 (Ca) ppb ≤50
铬 (Cr) ppb ≤10
钴(Co) ppb ≤20
铜 (Cu) ppb ≤20
金 (Au) ppb ≤5
铁(Fe) ppb ≤50
铅 (Pb) ppb ≤10
锂 (Li) ppb ≤10
镁 (Mg) ppb ≤20
锰 (Mn) ppb ≤10
镍(Ni) ppb ≤10
钾 (K) ppb ≤20
银 (Ag) ppb ≤10
钠 (Na) ppb ≤50
锶 (Sr) ppb ≤10
锌 (Zn) ppb ≤10
ACS级
项目名称Item ACS Grade 含量(H3PO4)Assay ≥85.0%色度, 黑曾单位Color(APHA) ≤10
水不溶物Insoluble matter ≤0.001%氯化物(Cl)Chloride(Cl) ≤3ppm
硝酸盐(NO3)Nitrate ≤5ppm
硫酸盐(SO4)Sulfate ≤0.003%挥发酸(以乙酸计)Volatile acids(as CH3COOH) ≤0.001%锑(Sb)Antimony(Sb) ≤0.002%钙(Ca)Calcium(Ca) ≤0.002%镁(Mg)Magnesium(Mg) ≤0.002%钾(K)Potassium(K) ≤0.005%钠(Na)Sodium(Na) ≤0.025%砷(As)Arsenic(As) ≤1ppm
重金属(以Pb计)Heavy metals(as Pb) ≤0.001%铁(Fe)Iron(Fe) ≤0.003%
锰(Mn)Manganese(Mn) ≤0.5ppm
还原性物质Reducing substances Passes test
品级Grade 色谱纯
(grade for HPLC)
外观description crystals
含量assay 85-90% (T)
熔点mp ~40 °C
λ neat
紫外吸光度UV absorption
λ: 210 nm ≤0.07
λ: 220 nm ≤0.05
λ: 230 nm ≤0.04
λ: 250 nm ≤0.04
λ: 500 nm ≤0.02
RP gradient test complies
品级Grade 药用级
(Ph. Eur., BP, NF, FCC) assay 85.0-88.0%
alkali phosphates, in accordance
residual solvents, in accordance
substance precip. by Ammonia, in accordance
heavy metals (as Pb) ≤0.0005%
volatile acids (as CH3COOH) ≤0.001%
anion traces。