LED用蓝宝石衬底抛光技术进展

合集下载

相关主题

1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。

ｇｒｅｅｎｐｏｌｉｓｈｉｎｇｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓｗｉｌｌｃｏｍｅｔｒｕｅ．
ａｕｔｏｍａｔｃ，ｉ
ＫｅｙＷｏｒｄｓ：Ｓａｐｐｈｉｒｅ；ＰｏｌｉｓｈｉｎｇＰｒｏｃｅｓｓ；ＣｈｅｍｉｃａｌＭｅｃｈａｎｉｃａｌＰｏｉｆｓｈｉｎｇ（ＣＭＰ）
２２４０５１；３．江苏大学，江苏镇江２１２０１３）
２１３０１６；２．盐城工学院，江苏盐城
摘
要：蓝宝石单晶衬底具有优秀的物理化学性质，作为ＬＥＤ的主要衬底材料，其晶片表面质量要求非常高，而加工工
艺在很大程度上决定了表面质量。对蓝宝石衬底加工的各种工艺原理作简要介绍，如化学机械抛光、磁流变抛光、浮法抛
光等，指出这些加工方法的优缺点、发展进程等。目前蓝宝石衬底的抛光质量已经达到：表面粗糙度０．１ｎｍ，平面度
０．５ｔｘｍ。随着生产工艺的不断进步，数字化、全自动、绿色无污染的抛光工艺是未来蓝宝石衬底加工的发展方向。
关键词：蓝宝石衬底；抛光工艺；化学机械抛光
Ｃｈｉｎａ；３．ＪｉａｎｇｓｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，ＪｉａｎｇｓｕＺｈｅｎｊｉａｎｇ２１２０１３，Ｃｈｉｎａ）
Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅｓａｐｐｈｉｒｅｃｏｎｔａｉｎｓｅｘｃｅｌｌｅｎｔｌｙｐｈｙｓｉｃａｌａｎｄｃｈｅｍｉｃｌａｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓ，ＳＯｉｔｓｕｉｔｓｆｏｒｂｅｉｎｇｔｈｅｓｕｂｓｔｒａｔｅｏｆＬＥＤ．／ｔｉｓｋｎｏｗｎｔｈａｔｔｈｅｓｕｂｓｔｒａｔｅｍｕｓｔｈａｖｅｖｅｒｙｓｍｏｏｔｈｓｕＦｆｖｅａ，ｓｕｃｈａＳｌｏｗｒｏｕｇｈｎｅｓｓａｎｄｈｉｇｈｆｏｒｍｉｎｇ；ｈｏｗｅｖｅｒ，ｔｈｅｓｕ￣Ｃａｃｅ
中图分类号：ＴＨ１６；ＴＧ８７８＋．１；ＴＮ３０５．２
文献标识码：Ａ
文章编号：１００１ — ３９９７（２０１３）０４ — ０２４９ — ０３
ＴｈｅＰｒｏｇｒｅｓｓｏｎＰｏｌｉｓｈｉｎｇＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＳａｐｐｈｉｒｅＳｕｂｓｔｒａｔｅＵｓｅｄｉｎＬＥＤ
ｉｎｆｓｉｈｉｎｇ。ｌｏｆａｔｐｏｌｓｉｈｉｎｇａｎｄｔｈｅｉｒｍｅｒｉｔ，ｄｅｍｅｒｉｔｎｄａｄｅｖｅｌｏｐｉｎｇ．Ｎｏｗｅｈｉｇｈｅｓｔｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｑｕｌｉａｔｙｆｏｓｐｐａｈｉｒｅｓｕ￣ＣａｃｅｏｂｔｉａｎｅｄｓｉｔｈｔａｔｈｅＲａｓｉ０．１ｎｍ，ｌａｆｔｅｓｎｓｓｉ０．５１ｘｍ．Ｗｉｔｈｔｈｅａｄｖｎｃａｅｆｐｏｒｏｃｅｓｓｉｎｇｔｅｃｈｎｉｑｕｅ，ｄｉｇｉｔｉｚｅｄ，
第４期
２０１３年４月
机械设计与制造
ＭａｃｈｉｎｅｒｙＤｅｓｉｇｎ＆Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ２４９
ＬＥＤ用蓝宝石衬底抛光技术进展
卓志国，一，Biblioteka Baidu周
（１．常州大学，江苏常州
海，徐晓明１．２，臧跃２，３
ｑｕａｌｉｔｙｄｅｐｅｎｄｓｏｎｔｈｅｐｒｏｃｅｓｓｔｅｃｈｎｑｕｉｅ．Ｉｔｉｎｔｒｏｄｕｃｅｓｓｏｍｅｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓｃｈ ∞ ＣｕＭＰ，ｍａｇｎｅｔｏ — ｔｈｅｏｌｏｇｉｃｌａ
ＺＨＵＯＺｈｉ — ｇｕｏ，ＺＨＯＵＨａｉ，ＸＵＸｉａｏ－ｍｉｎｇ，ＺＡＮＧＹｕｅ ’
（１．ＣｈａｎｇｚｈｏｕＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，ＪｉａｎｇｓｕＣｈａｎｇｚｈｏｕ２１３１６６，Ｃｈｉｎａ；ＺＹａｎｃｈｅｎｇＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＪｉａｎｇｓｕＹａｎｃｈｅｎｇ２２４０５１，