ZYGO干涉仪使用指导书
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
零件号
序列号
如果测量的是球面还需要在ISO10110窗口中输入曲率半径标称值、实测值、测试波长、零件有效口径。
标称半径
实测半径
波长
有效口径
9.6.3掩膜去除
去除自动掩膜在analysis control窗口中将 auto aperture栏中的ON改成
去除手动掩膜在mask窗口中选择pick然后选中需要去除的掩膜，点击
有掩膜都被清除。
测量
点击measure按钮或者控制盒上的measure按钮或按下键盘上“F1”键开始测量。
10.0 特殊测量：透过波前
10.1平面的透过波前
将干涉仪，待测平片，反射镜按光轴方向依次放置。如果是棱镜，则将反射镜放置到与出射光垂直的位置。