真空元件介绍
SMC气动第三册(真空元件)
记号 06 08 10 12 01 02 03
尺寸 ø6 ø8 ø10 ø12 Rc 1 8 Rc 1 4 Rc 3 8
形式 快换接头 快换接头 快换接头 快换接头 螺纹拧入 螺纹拧入 螺纹拧入
表① 连接形式的组合
主体形式 盒型 (内置消声器) 直接配管型 (无消声器) ① ② ③ ① ② ③ SUP 快换接头 快换接头 螺纹拧入 快换接头 快换接头 螺纹拧入 VAC 快换接头 螺纹拧入 螺纹拧入 快换接头 螺纹拧入 螺纹拧入 EXH — — — 快换接头 快换接头 螺纹拧入
页号
5.01 5.03 5.04 5.06 5.07 5.09 5.11 5.15 5.22 5.23 5.34 5.36 5.37 5.38 5.39 5.42 5.44 5.46 5.47 5.48 5.51 5.53 5.54 5.57 5.59 5.60 5.61 5.63 5.64 5.65 5.68 5.70 5.72 5.73 5.74
注意
1 配管不能是螺旋状。
真空侧和供给侧都不能出现螺旋状配管， 应尽量短而直。 配管容积增 大则响应时间变长。
2 真空发生器排气侧的配管有效截面积应大。
排气一旦节流，真空发生器的性能就变差。
4 吸入流量过大，则真空开关的设定困难。
几 mm大小的小工件， 一旦选定吸入流量过大的真空发生器， 和未吸 着时的真空压力之差太小， 会使真空压力开关的设定变困难， 故要选 定合适的真空发生器。
注意
1 方向控制阀，速度控制阀等相关元件应参见各自样本的注意 事项。
维护
警告
1 要定期对真空过滤器和消声器进行清洗。
过滤器及消声器的孔眼被堵， 真空发生器的性能便降低。 在粉尘多的 场合，应使用处理流量大的真空过滤器。
真空元件的认识及应用实例
目錄
1. 真空吸盘 2. 真空用氣閥 3. 真空壓力開關 4. 真空過濾器 5. 真空發生器大型真空組件 6. 真空元件選型 7. 應用實例
1.真空吸盘
吸盘是直接吸吊物体的元件，通常是由 橡胶材料与金属骨架制成的。
1.1 吸盤類型
1.真空產生設備
1.真空產生設備
1.2 吸盤實物圖
5.2真空組件實物
最適合用于100克的電子部品﹐小型精密工件的吸取。
5.真空發生器.大型真空組件
5.2真空組件實物
最適合用于100克的 電子部品﹐小型精 密工件的吸取。
兩級擴壓管結構﹐吸 入流量40%增加。
三級擴壓管結構﹐吸 入流量250%增加﹐ 空氣消費流量20%減 少。
5.真空發生器.大型真空組件
5.3真空組件其他相關元件
1.真空表﹕顯示真空壓力。量程0~~-100kpa,3級精度； 2.管道﹕真空回路中﹐應選用真空壓力不變形﹐不變癟的管子； 3.管接頭﹕使用可在真空狀態下工作的； 4.真空用氣缸﹕ a:活塞杠內有通孔﹐作為真空通路。吸盤安裝在活塞杠端部﹐有螺紋連接式和帶 倒鉤的直接安裝式。 b:真空口有缸蓋連接型（真空口接管不動）和活塞杠連接型（活塞杠運動）
3.真空壓力開關
3.1 真空壓力開關
用于檢測真空壓力的開關，保証真空系統安全可靠的工作。一般響應頻率較高。 按功能分：通用型和小孔口吸著确認型（利用气橋原理，壓力傳感 器檢測壓差 ） 按電触點分：無触點式（電子式），有触點式（磁性舌簧開關式等）
3.2真空壓力開關實物
3.真空壓力開關
3.2真空壓力開關實物
4.真空過濾器
4.2.2 真空過濾器管式結構
4.真空過濾器
4.2.3 真空過濾器小型直通型
陶瓷真空开关管产品介绍
陶瓷真空开关管(Vacuum Switching Tubes)产品介绍真空开关是一种具有发展前途的电力开关，近几年来中等电压等级的真空开关需求量在世界市场上已占了总生产量的70-80%。
此外，随着技术水平的不断提高，高电压及超高压等级的真空开关亦在大力开发中。
真空开关管（又称真空灭弧室）是真空开关的关键部件，人们常称它为真空开关的心脏，它的设计和制造在我国已有30多年的历史，并且在国内已形成了一支具有研究、开发、设计、制造各种类型真空开关管能力的队伍。
当前各种真空开关所需的真空开关管已广泛应用于电力系统、石油、化工、煤矿、冶金和电气化铁道等各个领域，基本上满足了我国国民经济建设和发展的需要。
一．真空开关管的基本结构和分类真空开关管的基本结构如图所示。
外壳是用玻璃、陶瓷或微晶玻璃等无机绝缘材料做成的，呈圆筒形状，两端用金属盖板封接组成一个密封容器。
外壳内部有一对触头，其中静触头固定在静导电杆的端头，动触头固定在动导电杆的端头。
动导电杆通过波纹管和金属盖板的中心孔伸出真空开关管外。
动导电杆在中部与波纹管的一个端口焊在一起。
波纹管的另一个端口与金属盖板焊接。
波纹管是一种弹性元件，侧壁呈波浪状的金属管，它可以纵向伸缩。
由于在动导电杆和金属盖板之间引入了波纹管，真空开关管的外壳就被完全密封，动导电杆可以前后移动，但不会破坏外壳的密封性。
真空开关管内部的气压应低于1.33*10-3Pa，一般为10-4Pa左右，因而动触头和静触头始终是处在高真空状态下。
在触头和波纹管周围都设有屏蔽罩，触头周围的屏蔽罩称做主屏蔽罩，波纹管周围的屏蔽罩称做辅助屏蔽罩或波纹管屏蔽罩。
如果真空开关接入如图所示的电路，当操动机构使动导电杆向上运动时，动触头和静触头就会闭合，电源与负载接通，电流就流过负载。
反之，动导电杆作反方向向下运动时，动触头就会分离，在刚分离的瞬间，触头之间将立刻产生真空电弧，真空电弧是依靠触头上蒸发出来的金属蒸汽来维持的，直到工频交流电流接近零时，金属蒸汽将接近停止蒸发，同时加上真空电弧的等离子体很快向四周扩散，电弧就被熄灭，触头间隙很快地变为绝缘体，于是电流就被分断。
真空系统元件及连接
起源进入气缸上下部。密封垫片13、华 赛胶圈14、活塞15，将气缸分为两部分， 并移动与气缸之中，从而控制阀门的开
闭
5、挡板阀
6、翻板阀
下图为三种不同结构的真空翻板阀。他们利用压缩空气作为阀板翻转的 动力源。在阀门发开或关闭的过程中，阀板的运动有一个翻转过程，能 翻转一个角度。图13-10所示的阀门结构中，阀盖的翻转靠四连杆机构 实现，阀盖能实现90°翻转。13-11的结构中，靠滚轮将阀盖档翻，此结 构的发明阀盖不能翻转90°。图13-12的阀门结构简单，总高度低，阀板 能翻转90°在翻板阀中，当阀板翻转90°是流导较大
超高真空针阀结构如图。针 阀是一种微调阀，其阀塞维 针形，主要用做调节气流量， 微调阀要求阀口开启逐渐变 大，从关闭到开启最大能连 续细微地调节。针形阀塞既 能实现这种功能。针形阀塞 一般用经过淬火的钢制长针， 而阀座是用锡、通等软质材 料制成。阀针与阀座见的密 封是依靠其锥面紧密配合大 道的。阀针的锥度有1：50 和6°两种，阀椎体表面要经 过精细研磨。途中的阀杆与 阀座间的密封是靠波纹管实 现的。
1、开关电路。如图13-1，当高真空阀2和前级阀4关闭，预抽阀7打开时，机 械真空阀抽真空，气流流经预真空抽气管道。当阀7打开，机械阀可单独对扩 散阀抽真空。当阀2和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器 进行抽真空，此时气流刘静扩散阀。阀门在这种工艺操作中的作用是开关气 路，改变气流的流经路线。
8、针阀
通常的高、低真空阀门，密封 垫圈的材料为橡胶，不能承受 高温烘烤。因而不能使用在高 真空设备上。能使用在超高真 空设备上的超高真空阀门必须 满足：
2.3.3真空元件、气爪的主要类型
2、真空元件组成
图2-18 薄发生装置-真空泵
图2-19 德国普旭真空泵
气体传输泵是真空泵得一种，能使气体不断的吸入和排出，借以达到 抽气目的。
图2-23 SMC MHS2气爪
图2-24 SMC MHZ2气爪
3、气爪概述
气爪作为一项末端气动执行元件，主要用于抓起工件，根据工Байду номын сангаас的形 状、大小、工作环境及作业目的等多方面要求的不同，有很多种品种和规 格。
国内常用的气爪进口型的一般是日本SMC的MH系列的，国产的MH 型气爪大多是基于SMC的MH系列的标准生产的。
4、气爪类型（MH系列）
图2-22 SMC MHC2气爪
图2-20 台湾亚德客真空电磁阀
真空控制阀用于气体管路的开关控制，是两位DO控制。一般用于小型 管道的控制。只能用作开关量，是DO控制，只能用于小管道控制，常见于 DN50及以下管道。
图2-21 台湾沃米斯PFTK/PFYK真空吸盘
PFTK/PFYK标准型吸盘固定金属底座产品特点:1、标准型吸盘固定金 属底座规格；2、标准平型吸盘，适用于钢板、板材等表面平整的吸附物。
真空系统的组成元件
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真空系统的组成元件
作成： 作成：樊斌杰 日期:2010 /07月 :2010年 日期:2010年/07月
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平面连续镀膜线真空系统
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一、真空阀门 1．概述 ． 在真空系统中，用来改变气流方向，调 节气流量大小，切断或接通管路的真空系 统元件称为真空阀门。
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表1 真空阀门分类 名称 分类方法
根据阀门的职能 根据结构塑式 根据驱动方式 根据材料 根据用途 根据通道方式 低真空阀门、高真空阀门、超高真空阀门 挡板阀、翻板阀，碟阀、隔板阀、闸阀、针阀 、插板阀 手动阀、电动阀、手电两用阀、电磁阀、气动 阀、液压真空阀 金属真空阀、玻璃真空活塞(考克)、塑料阀 截止阀、隔离阀、放气阀、节流阀、换向阀、 封闭送料阀 脚阀、直通阀、双通阀、三通阀、四通阀
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真空系统是由真空泵、真空测量装置、真空阀门、连 接导管以及捕集器、除尘器、真空继电器规头等元件， 经过精心组装而成的。它能在人们所期望的时间内将被 抽容器内的压力降低到所要求的真空度。由于真空泵和 真空测量仪器前面已经讲述，这里仅介绍真空阀门和捕 集器。
真空元件真空发生器真空吸盘的应用
真空元件真空发生器真空吸盘的应用随着客户对汽车产品质量要求的进一步提高，汽车企业自动化技术应用的程度将越来越高，汽车企业自动化的普及将提高设备的生产效率，进一步降低单件产品的生产成本。
与此同时，真空技术在汽车生产企业的应用也将越来越广泛，真空技术将更稳定、快速、便于监控维护。
在汽车车身制造的四大工艺--冲压、焊装、涂装、总装中，真空系统在冲压车间的应用最多，随着生产节拍的不断加快，最新的真空技术如何能满足冲压工艺不断严格的要求，保证在正确的时间将物料搬运到恰当的工位呢?在汽车车身制造的4大工艺-冲压、焊装、涂装、总装中，以冲压车间对真空系统的应用最多。
在冲压车间，主要是利用真空发生器产生真空，通过真空吸盘吸住工件，配合输送装置(机械手、快速送料装置等)在自动上下料等场合进行工位之间的搬运。
目前，真空系统主要包括:真空吸盘、真空发生器、控制阀、连接部件、安装部件等元器件，其中最关键的是真空吸盘和真空发生器。
真空吸盘真空吸盘是自动化系统中直接与工件接触的部件，也是最关键的部件。
随着汽车行业的不断发展，对生产效率要求不断提高，输送装置的速度也越来越快，同时进行冲压的钢板上会提前进行清洗、涂油，这样就要求真空吸盘必须能够承受很强的横向力，防止在搬运的过程中相对于吸取的工件产生滑移，保证工件送到下一工位时能够位置准确，不产生废件。
正是基于这样的需求，SHIAN公司开发出了汽车行业专用TWSA品牌吸盘。
SHI 汽车行业专用吸盘面积达并带有内部支撑，对汽车生产时常用的铝材或薄板不会造成变形，并且需抽真空的体积更小。
此外，专用吸盘特殊设计的内部构造，使其用于搞横向力时不受影响，适用于油性表面及各种很强的动态搬运。
真空发生器冲压线每天24小时，分三班运作，每班需要更换新夹具两到三次。
如果机器人上的真空夹具出现不可察觉的损坏，比如系统中产生漏真空。
那么，随着漏真空的增大，冲压件将无法搬运，造成损害。
有时甚至会使某个子系统崩溃，导致整个冲压线生产停滞，造成极大的经济损失。
第十二章 真空元件
第二节 真空吸盘
图12－5 真空吸盘的形状和结构
第三节 真空顺序阀
• 如要变化真空信号，可使用真空顺序阀（或称真空控制 阀），其结构原理与压力顺序阀相同，只是用于负压控 制。如图12－7所示为其职能符号，图中当真空顺序阀的 控制口上的真空达到设定值时，二位三通换向阀就换向。
图12－7 真空顺序阀的职能符号
图12－9 真空泵回路
第五节 真空回路
• 二、真空发生器真空吸附回路 • 真空发生器是利用压缩空气通过喷嘴时的高速流动在 喷口处产生真空。图12－10所示为采用三位三通阀控制 真空吸附和真空破坏的回路。 • 图12－11所示为采用真空发生器组件的回路。
第五节 真空回路
图12－10 采用三位三通阀的真空回路 1－真空发生器 2－减压阀 3－节流阀 4－换向阀 5－过滤器 6－真空开关 7－吸盘
图12－11 采用真空发生器组件的回路 1，2－电磁阀 3－真空发生器 4－节流阀 5－真空开关 6－过滤器 7－吸盘
第四节 真空开关
• 真空压力开关是用于检测真空压力的开关。当真空压力 未达到设定值时，开关处于断开状态。当真空压力达到 设定值时，开关处于接通状态，发出电信号，指挥真空 吸附机构动作。当真空系统存在泄漏、吸盘破损或气源 压力变动等原因而影响到真空压力大小时，装上真空压 力开关便可保证真空系统安全可靠的工作。 • 真空压力开关按功能分，有通用型和小孔口吸着确认型； 按电触点的形式分，有无触点式（电子式）和有触点式 （磁性舌簧开关式等）。一般使用的压力开关，主要用 于确认设定压力，但真空压力开关确认设定压力的工作 频率高，故真空压力开关应具有较高的开关频率，即响 应速度要快。
第一节 真空发生器
•
（a） （ b） 图12－1 真空发生器工作原理 3－接收管
真空发生器
1、概述真空发生器是利用压缩气源产生负压的一种新型、高效、清洁、经济的真空元器件。
真空发生器具有体积小、真空度高、安装维修方便、可靠性好等优点，广泛应用在工业自动化机械、电子以及机器人等各个领域。
在工业自动化机械中，装盒机械的上盒和上盖、装箱机械的箱板成型取送、贴标机中标签的供给和传送等场合都使用了真空吸附装置。
在这一类机械中，一个共同的特点是所需的真空流量小、真空度要求不高且多为间歇工作。
使用传统真空泵提供真空源，不仅机械结构复杂而且由于真空响应时间长而影响机器的可靠性和工作效率。
而真空发生器与吸盘配合，可进行各种物料的吸附，搬运，尤其适合于吸附易碎、柔软、薄的非铁非金属材料或球型物体，有着无可比拟的优势，在自动化生产中起着越来越重要的作用。
2、真空发生器的结构和性能分析2.1、真空发生器的结构真空发生器由喷管、吸附腔、扩散腔3 部分组成。
真空发生器的工作原理是利用喷管高速喷射压缩空气，在喷管出口形成射流，产生卷吸流动。
在卷吸作用下，使得喷管出口周围的空气不断地被吸走，使吸附腔内的压力降至大气压以下，形成一定真空度。
如图1 所示。
由流体力学可知,对于不可压缩空气气体的连续性方程为：A1v1=A2v2式中A1、A2-管道的截面面积，m2；v1、v2-气流流速，m/s。
由上式可知，截面增大，流速减小；截面减小，流速增大。
对于水平管路，按不可压缩空气的伯努里方程为P1+1/2ρv12=P2+1/2ρv22式中P1、P2-截面A1、A2处相应的压力，Pa；v1、v2-截面A1、A2处相应的流速，m/s；ρ-空气的密度，kg/m2。
由上式可知，流速增大，压力降低，当v2>>v1时，P1>>P2。
当v2 增加到一定值，P2 将小于一个大气压，即产生负压。
故可用增大流速来获得负压，产生吸力。
2.2、真空发生器的性能分析(1)真空发生器的主要性能参数空气消耗量：指从喷管流出的流量；真空流量：指从吸附口吸入的空气流量；真空度：指大气压力与真空腔内的绝对压力之差。
真空元件介绍
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ＳＭＣ（中国）有限公司 北京分公司 吴胜超
流量特性
流量特性表为：通过随着 流量的変化，真空圧 吸入流量 真空圧 力的変化来表示的。
•选定应答时间时使用 •确认 有泄漏的工件被吸附时所 达到的真空压力 时使用
真空发生器种类
ＴＹＰＥ 型 号 特 長
一体型 真空发生器 组件 個別型 真空发生器 电磁阀组合
ＺＭ ＺＬ ＺＸ ＺＲ ＺＨ ＺＵ ＺＹ
真空吸盘直径的選定
吸盘直径(mm) (mm)
150N
提升力（N)
吸盘直径(mm) (mm)
提升力（N)
真空吸盘直径的選定（計算）
基本上和气缸出 基本上和气缸出 上和气缸 力計算Ｆ＝ＰＡ Ｆ＝ＰＡ相同 力計算Ｆ＝ＰＡ相同
吸盘
W: 提升力 提升力(N) P : 真空压力 (kPa) S : 吸盘的面积 (cm2) t : 安全率 水平吊上 ：4以上 以上 垂直吊上 ：8以上 以上
根据工件的有无真空压 力变化示意图
ON 真空压力开关 動作範囲
小
工件有 工件無 大気圧
OFF
選定
吸着搬送是は将工件吊起来搬送的、大工件的落 下也会造成对人体的危害。 根据工件的种类和操作要求按照下述方法暂时选 定，然后再有必要进行实际上的吸附确认试验。 真空機器的基本選定请按照以下２个項目来进行
真空吸盘直径選定 吸附响应時間 時間的 ① 真空吸盘直径選定 ② 吸附响应時間的選定
水平吊
垂直吊
请尽量避免 这种方式
吸着响应時間的選定
阀的有效断面积
从吸着响应时间，也能反推真空发生器的尺寸或真空泵系统的切换阀 的尺寸。
吸着响应時間（計算）
真空元件
真空元件近年来，真空吸附技术在工业自动化生产中的应用越来越广泛。
真空吸附是利用真空发生装置产生真空压力为动力源，由真空吸盘吸附抓取物体，从而达到移动物体，为产品的加工和组装服务。
对任何具有较光滑表面的物体，特别是那些不适合于夹紧的物体，都可使用真空吸附来完成。
真空吸附已广泛应用于电子电器生产、汽车制造、产品包装、板材输送等作业中。
在一个典型的真空吸附系统中，常用的元件有：真空发生装置（真空泵或真空发生器），真空开关，真空破坏阀，真空过滤器和真空吸盘等。
一、真空发生装置真空发生装置是产生真空的元件，有真空泵和真空发生器两种类型。
1.真空泵真空泵的结构形式和工作原理与空气压缩机相类似，在气动系统中多采用容积型真空泵，如回转式真空泵、膜片式真空泵和活塞式真空泵。
2.真空发生器真空发生器由于它获取真空容易，结构简单，体积小，无可动机械部件，使用寿命长，安装使用方便，因此应用十分广泛。
真空发生器产生的真空度可达88 kPa，尽管产生的负压力（真空度）不大，流量也不大，但可控、可调，稳定可靠，瞬时开关特性好，无残余负压，同一输出口可正负压交替使用。
(1) 工作原理典型真空发生器结构原理如图13－37 所示。
它是由先收缩后扩张的拉瓦尔喷管1、负压腔2和接收管3等组成,有供气口、排气口和真空口。
当供气口的供气压力高于一定值后，喷管射出超声速射流。
由于气体的粘性高速射流卷吸走负压腔内的气体，使该腔形成很低的真空度。
在真空口A处接上真空吸盘，靠真空压力和吸盘吸附面积可吸取物体。
图13－37真空发生器工作原理1－拉瓦尔喷管 2－负压腔 3－接收管 4－真空腔（2）真空发生器的性能1）真空发生器的耗气量真空发生器耗气量是由工作喷嘴直径决定的，但同时也与工作压力有关。
同一喷嘴直径，其耗气量随工作压力的增加而增加。
喷嘴直径是选择真空发生器的主要依据。
喷嘴直径越大，抽吸流量和耗气量越大，而真空度越低；喷嘴直径越小，抽吸流量和耗气量越小，但真空度越高。
气动系统与元件
器动元件气动元件分类：①驱动元件：利用空气压缩而获得推力的元件，如气缸，气爪，气动马达②真空元件：利用空气压缩而产生真空环境或吸附其它产品的元件，如真空发生器，真空吸盘③控制元件：控制驱动元件启停的元件，如电磁阀，手动阀④气源处理元件：除掉压缩机产生的压缩空气的水份、油份、垃圾等杂质或者调节压力的元件，如减压、过滤器、空气干燥机、排水器，除油器、曾压阀⑤检测元件：检测压缩器，真空压力以及流量的元件，如压力传感器、流量传感器一、气动系统控制元件的组成源头（空气压缩机-后冷却器-气罐-主路过滤器-空气干燥机）-分路：(三联组合：气压过滤器、减压阀、油雾器)-手动残压释放3通阀-压力开关-消音器-（电磁阀-速度控制阀-气缸）二、真空元件是指工作在低于大气压力的场所，称为真空元件，组成的系统为负压系统真空的分类：真空也可用百分数表示，即一个标准大气压下的比例，在真空技术中，将低于大气压的压力称为真空度，大气压力一般为0.1MP，相对真空度：是指被测对象的压力与测量地点大气压的差值⑴真空系统的组成：一般是由真空发生器、吸盘，真空阀及辅助元件组成。
其中真空发生器和吸盘是真空系统单独应用的。
真空系统可用于工件搬运，自动化工业，例如；玻璃的搬运，包装，机械手抓取工件等⑵真空元件1.气源2.空气过滤器3.减压阀4与5二位二通电磁阀6.真空发生器（利用压缩空气抽真空的元件）10.可调节流阀11.消音器7.真空开关（一种检测真空范围的开关）8.真空过滤器（过滤抽吸粉尘用）8与9之间接的是真空表9.被抽真空的执行元件，如真空罐、真空吸盘等1.真空发生器原理1.1作用：真空发生器的作用是吧正压转为负压，产生吸力1.2原理：伯努利原理ρV2+ρgℎ=CP+12P是压强，ρ密度，V速度，H高度根据能量守恒定律当H不变时，V曾大，P减小1.3根据文丘里原理：文丘里流量计是测量流体压差的一种装置。
它是一个先收缩而后逐渐扩大的管道。
真空角阀工作原理
真空角阀工作原理真空角阀，是一种常用于真空系统的关键元件，它的工作原理是通过控制阀门的开启和关闭，以控制真空系统中的气体流动。
本文将详细介绍真空角阀的工作原理。
一、真空角阀的结构和组成真空角阀由阀体、阀盖、阀芯和驱动装置等部分组成。
阀体是角形的，其内部设有阀座和出口通道。
阀盖与阀体相连接，阀芯则位于阀体内部，通过驱动装置控制阀芯的运动。
二、真空角阀的工作原理真空角阀的工作原理可以分为开启和关闭两个过程。
1. 开启过程：当驱动装置提供动力时，阀芯受到推力向上运动。
当阀芯与阀座分离时，真空系统中的气体可以通过出口通道流出，实现真空系统的放气。
2. 关闭过程：当驱动装置停止提供动力时，阀芯受到阀盖和弹簧的作用力向下运动。
当阀芯与阀座接触时，阀门关闭，阻止气体进入真空系统。
三、真空角阀的特点真空角阀具有以下特点：1. 快速响应：真空角阀的驱动装置可以迅速控制阀芯的运动，实现快速开启和关闭，提高系统的响应速度。
2. 高密封性：真空角阀的阀座与阀芯接触时，形成密封，阻止气体流动。
这种密封性能可以保证真空系统的稳定性和可靠性。
3. 大流量：真空角阀的出口通道宽度较大，可以容纳较大的气体流量，满足真空系统的工艺要求。
4. 长寿命：真空角阀采用耐磨损材料制造，具有较长的使用寿命。
阀盖和阀芯的接触部分经过特殊处理，减少磨损，延长使用寿命。
5. 节能环保：真空角阀的驱动装置采用电动或气动方式，相比传统的手动阀门，可以节约能源，并减少环境污染。
四、真空角阀的应用领域真空角阀广泛应用于各种真空系统中，例如半导体制造、光学薄膜沉积、真空冷冻干燥等领域。
它们在这些领域中起到关键的控制作用，用于调节气体流动和维持系统的稳定性。
总结：真空角阀是真空系统中不可或缺的元件，其工作原理是通过控制阀门的开启和关闭来控制气体流动。
它具有快速响应、高密封性、大流量、长寿命、节能环保等特点，并广泛应用于各种真空系统中。
通过对真空角阀的了解，我们可以更好地理解和应用真空技术，提高工作效率和产品质量。
真空知识及真空产品介绍
分路器
真空管
接头元件
2020/6/26
创新的真空自动化
42
汽车行业
2020/6/26
创新的真空自动化
43
木工行业
2020/6/26
创新的真空自动化
44
注塑行业
2020/6/26
创新的真空自动化
45
包装行业
2020/6/26
创新的真空自动化
46
CD光盘行业
2020/6/26
创新的真空自动化
创新的真空自动化
22
新型吸盘–磁铁吸盘SGM
2020/6/26
创新的真空自动化
23
新型吸盘–磁铁吸盘SGM
2020/6/26
创新的真空自动化
24
新型吸盘–磁铁吸盘SGM
磁铁吸盘SGM应用录像
2020/6/26
创新的真空自动化
25
安装部件
弹簧缓冲支杆
2020/6/26
铝型材
固定夹
挠性接头
创新的真空自动化
真空基础知识 及
Schmalz真空元件产品
真空基础知识
什么是真空 / 压力 ?
• 根据 DIN 28400标准: „真空是空气分子密度小于地面大气分子密度的一种状态。 当气体
的压力小于大气压力时可称之为真空。“
• 这意味着，我们可以利用周边压力与绝对压力之间压力 差。
•然而，这个压力差并不是在所有地方 都相同的。
2020/6/26
创新的真空自动化
14
吸盘概览
SAF - 扁平吸盘 (NBR), 圆形 SAB - 波纹形吸盘 (NBR)，1.5 折,圆形 SAOF - 扁平吸盘(NBR), 椭圆形 SAOB - 波纹形吸盘(NBR)，1.5折,圆形
SMC气动基础真空元件
计算法 W=P*S*0.1*(1/t) (W’=P’/760*1.033*S*1/t)
W:吸吊力(N)
W’:吸吊力(kgf)
W
P:真空度（kpa)
水平吊
P’:真空度(mmHg)
S:吸盘面积（cm2)
T:安全系数 水平吊：4以上
垂直吊：8以上
W
垂直吊
（应当避免作为基本方 法使用）
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真空元件的选定
1-b求吸盘直径的方法 计算法
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真空元件的选定
选定步骤1 吸盘的选定
根据算出的吸盘的吸吊力求吸盘的直径。 有时，计算值作为参考值，还要进行必要的吸着试验来确认。 吸吊力的计算要根据工件的重量及移动时（上升、停滞、回转等）的加速度产生的惯性力，给予充分的裕量。 还要考虑到吸盘个数及配置情况给予裕量。
1-a求理论吸吊力的方法
吸盘
2-d真空发生器、真空切换阀的尺寸（无漏气的场合）
(Φ D=√(4/3.14)*(720/P’*1.033)*(W’/n)*t*100 )
Φ D=√(4/3.14)*(1/P)*(W/n)*t*1000
W:吸吊力(N) Φ D:吸盘直径(mm) W’:吸吊力(kgf) n:吸盘数量 P:真空度（kpa) P’:真空度(mmHg) t:安全系数 水平吊：4以上
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真空吸盘ZPT系列
ZPT 02 U N
A5
ZPT 16 U GS K 20 0 6 A10
吸盘垫直径 真空吸盘 吸盘材质 式样
真空取出口 吸盘形状 的螺纹直径
吸盘材质 缓冲方冲式程真空取出口真 的空 取取 付出 接口 线
不带缓冲
带缓冲
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ZPT大型高荷重
不带缓冲
真空电容的作用
真空电容的作用真空电容是一种常见的电子元件，它在电子设备中起着重要的作用。
本文将从不同角度介绍真空电容的作用。
真空电容在电子电路中起到存储和释放电能的作用。
在电容器中，两个导体之间通过真空隔开，形成一个电场。
当电容器充电时，正极吸引负电荷，负极吸引正电荷，电荷在导体间积累，储存电能。
当电容器放电时，储存的电能被释放，供电给电路中的其他元件使用。
因此，真空电容在电子设备中起到平衡电能供给和需求的作用。
真空电容在信号处理中起到滤波作用。
在某些电子设备中，由于电源的不稳定或其他因素的影响，信号中可能会混入一些噪声。
这些噪声会影响信号的质量和准确性。
而真空电容可以通过选择合适的电容值和连接方式，对输入信号进行滤波，去除掉其中的杂波和噪声，从而提高信号的质量和准确性。
真空电容还可以用于调节电路的频率响应。
在某些电子设备中，需要对输入信号的频率进行调节或选择。
而真空电容可以通过改变电容值或连接方式，来调节电路的频率响应。
例如，在调谐电路中，通过调节真空电容的电容值，可以选择特定的频率进行接收或放大，从而实现对特定频率信号的处理。
真空电容还可以用于存储和传输信息。
在一些存储设备中，真空电容可以作为存储单元，储存二进制信息。
通过改变电容器中导体的电荷状态，可以表示不同的二进制数值。
同时，真空电容还可以用于传输信息。
在通信设备中，真空电容可以作为电路的核心部件，实现信号的传输和处理。
通过改变电容值或连接方式，可以调节信号的幅度、频率等特性，实现信息的传输和处理。
真空电容还可以用于改善电路的稳定性和可靠性。
在一些高压、高温、高频等特殊环境下，传统的电容器可能无法满足要求。
而真空电容由于其结构特点，可以在较为恶劣的环境下工作，具有较好的稳定性和可靠性。
因此，在某些特殊应用领域，真空电容被广泛应用。
真空电容在电子设备中具有多种作用。
它可以存储和释放电能，滤波信号，调节频率响应，存储和传输信息，改善电路的稳定性和可靠性。
SMC气动基础--真空元件
T1:最终真空度Pv的63%的到达时间(sec)
T2:最终真空度Pv的95%的到达时间(sec) Q1:平均吸入流量L/min(ANR) D:配管内径(mm) L:从真空发生器或切换阀到吸盘的配管长度(m) V:从真空发生器或切换阀到吸盘的容积(L) Q2:从真空发生器或切换阀到吸盘之间配管系统 的最大流量 Q2=S*11.1 L/min(ANR) Q:取Q1、Q2种的小流量L/min(ANR) S:配管的有效面积(mm2)
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真空元件的选定
选定步骤1 吸盘的选定
根据算出的吸盘的吸吊力求吸盘的直径。
有时，计算值作为参考值，还要进行必要的吸着试验来确认。
吸吊力的计算要根据工件的重量及移动时（上升、停滞、回转等）的加速度产生的惯性力，给予充分的裕量。 还要考虑到吸盘个数及配置情况给予裕量。
1-a求理论吸吊力的方法 计算法 W=P*S*0.1*(1/t) (W’=P’/760*1.033*S*1/t) W:吸吊力(N) W’:吸吊力(kgf)
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气液联用缸
• 靠近火源或环境温度高于60℃的装置上避免使用气液联用缸， 以免液压油引起火灾 •
气液联用缸应配卡套式接头，避免使用快插式接头，以免漏油； 配管应使用铜管或尼龙管，以便能承受较高的脉冲压力
• 气液联用缸因定期地排放残余空气
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注意事项
•
动力源故障造成装置紧急停止，再启动时不应造成人身、装置、 工件受损
真空发生器 （ZH系列）
真空压力开关 （ZS系列）
真空过滤器 （ZF系列）
真空元件的选定
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概述
• 现状：
以真空压力为动力源， 已成为实现自动化的 一种手段
• 用途： 对于任何具有光滑表面的物体，特别对于非铁、非金属且不适合加紧的物体，
真空元器件.ppt
真空元器件
真空元器件
6.4 真空开关（Vacuum switch）
真空开关是用于检测真空压力的开关。当真空压力未达 到设定值时，开关处于断开状态。当真空压力达到设 定值时，开关处于接通状态，发出电信号，控制真空 吸附机构动作。
真空开关按触点形式可分为有触点式（磁性舌簧管开关） 和无触点式（半导体真空开关）。
膜片式真空开关属于有触点式真空开关，它是利用膜片 感应真空压力变化，再用舌簧管开关配合磁环提供压 力信号。图11-5为膜片式真空开关的工作原理图。
真空元器件
真空元器件
6.5 控制阀
真空组件里常用两种电磁阀，真空发生用电磁阀和真空释 放用电磁阀。
图5.49所示为一种真空组件动作原理图。图5.49a所示为 真空发生电磁阀A通电时的工作状况，此时供气通路接通，压 缩空气流入真空发生器产生真空，可以用来吸附工件。
真空元器件
真空元器件
真空发生器常设计成二级扩散管形式，如图所示。采用二级式真空发生 器与单级式产生的真空度是相同的，但在低真空度时吸入流量增加约一倍。 这样，在保持低真空度的应用场合，吸附动作响应快。如用于吸取透气性工 件时特别有效。
二级真空发生器 a)结构 b)特性曲线
真空元器件
（2）特点 用真空发生器产生真空的特点有：
图5.49b所示为真空释放电磁阀B通电时的工作状况。当 被吸附的工件到位需要释放时，真空发生电磁阀A和释放电磁 阀B同时动作(A断电，B通电)。此时。停止产生真空,同时压缩 空气经B从吸附口流向吸盘，将工件快速释放。由此可见，真 空发生用的电磁阀A的作用是接通供气，真空释放电磁阀B的 作用是加快工件释放。
真空系统的真空是依靠真空发生装置产生的，真空发生装 置有真空泵和真空发生器两种。真空泵是一种吸入口形成负 压，排气口直接通大气，两端压力比很大的抽除气体的机械。 主要用于连续大流量，适合集中使用且不宜频繁启停的场合。 真空发生器是利用压缩空气的流动而形成一定真空度的气动 元件，适合从事流量不大的间歇工作和表面光滑的工件。
真空电子管
真空电子管真空电子管作为一种古老的电子元件，自1907年爱迪生发明之后，至今仍然能够被广泛应用于许多电子电路中。
真空电子管是由一种电路元件，称为真空管，以及电子元件中唯一可以电子放大的元件组成，它是由一个导体和一个电子器件的结构组成的，导体的一端通过空气或真空中的电子薄膜相连，另一端具有可传递电流的引线，以及几个控制电流流动的接口，隔离体中有一个控制电子流动的一对电极，这种结构以一种独特的方式将电流进行放大，而不消耗太多能量。
真空电子管最初用于无线电的收发，后来又被广泛的应用于电力放大、模拟电路的控制等方面，是一种重要的电子元件。
由于其较高的效率，真空电子管可以将较小的电流放大到一定的大小，被广泛的用于早期的缩放放大器和电影中的特效，它们的成功开创了电子电路技术的新纪元。
随着科学技术的发展，真空电子管被日益被取替，但仍然是电子技术中重要的元件。
真空电子管由许多不同的元件组成，如阴极、阳极、电子云、发射管、杂散电路等。
其中阴极是最重要的，它的全称是阴极二极管，它的主要作用是收集传入的电子。
阳极是管子的主要部分，它的主要作用是放大电压和电流；电子云（膜）是阳极和阴极之间，以及空气和真空之间的电路，它允许电子从阴极流向阳极。
发射管则是放大管的重要组成部分，它可以帮助将阴极传输的电子放大到管子的另一端；最后，杂散电路是阳极和阴极之间的电路，它可以调节一些放大参数。
真空电子管可以运用在许多不同的领域，如计算机、电话、医疗设备、传感器等，甚至在家庭、旅游行业也有很多应用。
在家庭电器方面，真空电子管可以用于音频产品的音量控制；在旅游行业，它们可以用于摄像机的控制，以及小型无线电台的制作等等。
如今，真空电子管也被广泛应用于专业的航空系统，它们能够控制复杂的电子系统，保证航班的安全。
真空电子管在世界范围内引起了极大的反应，它们成功的被使用于许多不同领域，甚至今天它们也仍然可以被广泛的应用到各种科学技术领域。
它不仅为科学技术发展贡献了许多，而且在影响和推动了现代电子技术的发展，并且一直是许多不同领域的重要组成部分，已经成为科学技术百年发展的重要见证。
”真空开关”是什么意思？
”真空开关”是什么意思？真空开关是一种常见的电气元件，用于控制电路的开关动作。
与一般开关相比，真空开关在电气性能、可靠性和可承受电流方面具有更优越的特点。
下面将介绍真空开关的工作原理、结构特点以及应用领域。
一、工作原理真空开关的工作原理基于真空中的电弧灭弧特性。
当真空开关发生接通或断开操作时，通过控制触点的闭合或分离，电路中的电流会产生电弧。
而在真空环境下，电弧被迅速熄灭，从而实现可靠的开关效果。
真空开关的灭弧效果是通过在开关触点之间形成低压高频电场来实现的，这样的电场可迫使电弧在非常短的时间内熄灭。
二、结构特点真空开关通常采用户外外装式结构，其外壳由绝缘材料制成，以保证电气安全。
内部由瓷制绝缘体隔开的触点构成闭合和断开电路。
真空开关还包括控制系统和操作机构，通过控制电磁铁或电动机实现开关的操作。
同时，真空开关还有多种保护功能，如过电流保护、过负荷保护和过压保护等，以保证设备和线路的安全运行。
三、应用领域1. 电力系统：真空开关广泛应用于电力系统中的配电系统、变压器站和母线分段等关键设备，以实现电路的安全运行。
2. 工业自动化：在各种工业自动化控制系统中，真空开关可用于控制电机、照明设备和电磁阀等，实现设备的启停控制。
3. 电子设备：真空开关在电子设备中也有着重要的应用，如电视机、微波炉、空调等的开机和关机控制。
4. 矿山行业：在矿山行业中，真空开关可用于控制电动机、提升机和矿井通风系统等设备，提高生产效率和安全性。
总结：真空开关作为一种重要的电气元件，具有优越的电气性能和可靠性，在各个领域都有广泛的应用。
它的工作原理基于利用真空环境下的电弧灭弧特性，能够保证电路的安全运行。
同时，真空开关的结构特点使得其具备良好的绝缘性能和防护功能。
科学合理的应用真空开关，不仅能够提高设备的性能和可靠性，还有助于保障电气系统的正常运行。
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ON 真空压力开关 動作範囲
小
工件有
OFF
工件無 大気圧
選定
吸着搬送是は将工件吊起来搬送的、大工件的落 下也会造成对人体的危害。 根据工件的种类和操作要求按照下述方法暂时选 定，然后再有必要进行实际上的吸附确认试验。 真空機器的基本選定请按照以下２个項目来进行
真空泵与真空发生器的特点
真空泵
最大真空度 吸入流量 结构 体积 重量 寿命 消耗功率 价格 安装 维护 与配套件复合化 真空的产生与解除 真空压力脉动 应用场合 可 达 101.3kPa 能同时达到最大值 可很大 复杂 大 重 有可动件，寿命较长 较大 高 不便 需要 困难 慢 有脉动，需设真空罐 适合连续、大流量工作，不宜频繁 起停，适合集中使用
吸盘
薄膜、纸张等
由多个小型真空吸盘的吸附
水平吊
真空圧力开关
工件的吸附确认 吸附破坏确认
在吸附化示意图
ON
工件有
真空压力开关 動作範囲
大
OFF
工件無 大気圧
吸着確認开关/ZSP1
如果喷嘴直径在φ１以下的话、喷嘴本身就会成 为阻抗，这样真空压力开关就有可能自动地变 成ON。这种场合请使用吸附确认开关/ZSP1。
吸盘
水平吊
垂直吊
请尽量避免 这种方式
吸着响应時間的選定
阀的有效断面积
从吸着响应时间，也能反推真空发生器的尺寸或真空泵系统的切换阀 的尺寸。
吸着响应時間（計算）
選定上的注意事項
根据工件泄漏量的不同，吸附力、响应时间也会 不同。请确认完工件的性质之后再选定。
真空回路（真空发生器系统）
真空发生器回路
真空发生组件／ＺＸ
模块化设计：按需要的功能可自由选择组合 适合抓起小于100g的电子零件及小型精密零件
真空发生器/ＺＨ・ＺＵ
軽量小型 有很多不同大小的喷嘴型号
φ0.5、φ0.7、φ1.0、φ1.3、φ1.5、φ1.8、φ2.0 Ｌ形/ＺＨ 直線形/ＺＵ
器体 扩压段
快换接头
快换接头
真空吸盘的種類
１．吸盘直径
Φ２～φ２５０
２．形状
平形、平形带肋、深形、风琴形
３．材質
（環境、作業
）
丁青橡胶、硅橡胶、聚氨酯橡胶、氟化橡胶 導電性丁青橡胶、導電性硅橡胶
真空吸盘的形状
形状 用途 平形
工件表面是平 面且没有变形
平形带肋
容易变形的工 件
深形
工件表面为曲 面的情况
风琴形
吸附面有倾斜 的情况
断面図
真空发生器的材質
真空发生器喷嘴的种类② 多段喷嘴 （ＺＭ:２段／ＺＬ:３段）
通过不同特性真空发生器的串联组合，实现了即能满 足对高真空压的要求，又能满足对大流量的要求。
圧力形ノズル
流量形ノズル
注意事項（真空发生器）
请注意排气口的背压不要上升，否则的话将 得不到所要的真空压力・吸入。 背压上升的主要原因：
・集中配管时，集中部的配管口径太小。 ・排气配管过长。 ・消音器有效断面积过小。
個別型
真空发生器 电磁阀组合
ＺＨ ・軽量小型 ＺＵ ・可选择流量型，压力型 ＺＹ ・可和电磁阀SY系列组合 ・串行通信单元对应可能
真空发生器／ＺＭ
由２段喷嘴吸入流量大/适用于大型吸盘 Ａｌｌ ｉｎ one （都装在一起）
2段喷管，故吸入流量增加
第1段 喷管扩压段性能
第 2段 喷管扩压段性能
带电子式延时器的真空发生器／ZMA
如果一个工件落下，配管内的 真空压力下降别的工件也有落 下的可能。
通过安装调节阀也可能得到改善。
真空回路的注意事項②
单由单向阀的功能来保持真空或緊急停止 時的落下防止，由于配管中的泄漏可能效 果不好，请极力回避。
作为省能源来进行真空保持的場合、请构筑包括PLC的用 真空压力开关来读取配管中的圧力、进行供給阀的ＯＮ/ ＯＦＦ等的系统。 根据工件和操作的不同，有必要讨论系统的设计。
真空发生器的原理
真空发生器是由先收缩后扩张的拉瓦尔喷管1、 负压腔2和接受管3等组成。
拉瓦尔 喷管1 负压腔2 接受管3
真空发生器喷管的种类①
圧力型喷管（S） 重视最高真空圧力 用途： ・高荷重工件的搬送 ・工件有一定泄漏量的场合比起 流量型来说可以获得更高的真 空压力 流量型喷管（L） 重视吸入流量 用途： ・大口径真空吸盘等应答時间 延迟的短縮 ・对于泄漏量多的工件
配件的種類
带缓冲吸盘 摆动型吸盘 工件挿入不良時、防止工件・装 在吸附有傾斜的工件及容易弯 置的破損时 曲的工件时用
吸着作業时的注意事項①
应尽量保持水平安装。 如果垂直安装的话就得不到防止工件滑落的足够 的吸附力。
吸盘
水平吊
垂直吊
吸着操作的注意事項②
请考虑到牵引力后选定。 对于较大的工件，有必要将在移动时由加速度产 生的风压也作为负重来考虑。
真空发生器
可达 88kPa 不能同时达到最 大值 不大 简单 很小 很轻 无可动件，寿命长 较大 低 方便 不需要 容易 快 无脉动，不需真空罐 需供应压缩空气，宜从事流量不 大的间歇工作，适合分散使用
薄板吸附搬送 铜板吸附搬送・标签自动粘贴机
用途例②
极小零部件的吸附搬送 向打印机的纸张搬送
对于吸附操作必要的产品
供給弁 供给阀
真空破坏阀
真空发生器 エジェクタ
调节阀 真空圧力开关
真空过滤器 真空圧力計
真空吸盘
ＳＭＣ的真空产品
产品名 真空发生器 真空组件 真空吸盘 圧力开关/流量开 关 真空过滤器 真空用分水过滤器 其他 型号 ZA・ZQ・ZM・ZL・ZX・ZR・ZH・ZU・ZY ZQ・ZX・ZR ZP※ ZSE・ZSP / PFM(V) ZFA・ZFB・ZFC・ZFD AMJ VQD-V・SYA・VQZ・ITV・ZCU・AK
流量特性
流量特性表为：通过随着 吸入流量的変化，真空圧 力的変化来表示的。
•选定应答时间时使用
•确认 有泄漏的工件被吸附时所 达到的真空压力 时使用
真空发生器种类
ＴＹＰＥ 型 号 特 長
一体型 真空发生器 组件
ＺＭ ＺＬ ＺＸ ＺＲ
・由多段喷嘴而流量大（ZM2段・ZL3段） ・都装在一起 ・軽量（ZMの約1/2） ・按需要的功能可自由选择组合
真空元件介绍
ＳＭＣ（中国）有限公司 北京分公司 吴胜超
07.06.20作成
説明内容
什么是真空？ 产品説明
１）真空发生器 ２）真空吸盘 ３）真空压力开关 机种选定 回路
什么是真空？①
絶対圧力
圧縮空気
表圧力
100 kPa(0.1MPa)
201.3KPa
101.3KPa 真 空
0 kPa 大気圧
① 真空吸盘直径選定 ② 吸附响应時間的選定
真空吸盘直径的選定
吸盘直径(mm)
150N
提升力（N)
吸盘直径(mm)
提升力（N)
真空吸盘直径的選定（計算）
基本上和气缸出 力計算Ｆ＝ＰＡ相同
W: 提升力(N) P : 真空压力 (kPa) S : 吸盘的面积 (cm2) t : 安全率 水平吊上 ：4以上 垂直吊上 ：8以上
吸着确认 开关
吸着喷嘴
喷嘴直径大
的芯片工件
喷嘴直径小
相对于吸入流量来说 流入的大气量较少， 即使是没有工件的话 也能达到需要的真空 压力。
相对于吸入流量来 说流入的大气量较 多，难达到需要的 真空压力。
小型喷嘴時的調整比较困难
由于喷嘴的阻抗、即便是没有工件的时候真空压力也会上 升，所以有没有工件不会造成太大的压力差，这样就给设 定带来了一定的难度。
材 用途 质 用途 纸壳、铁板、胶合板、其他一般工件 半导体、模具成型品取出、薄工件、食品关联 纸壳、铁板、胶合板 药品性的工件 半导体的一般工件（防止静电） 半导体（防止静电） NBR 硅橡胶 聚氨酯橡胶 氟橡胶 导电性NBR 导电性硅橡胶
材料的特性
(汽油) NBR 硅橡胶 聚氨酯橡胶 氟橡胶 导电性NBR 导电性硅橡胶 苯 碱 性 耐臭氧性 苯,甲苯
提升方向 吸盘
吸着作業的注意事項③
请使吸附位置社于工件重心能平衡的地方。工 件重心和吸附中心的偏离，可能导致工件的落 下。
吸盘
吸盘
吸附作業的注意事項④
请考虑移动时的加速度。工件和吸盘的摩擦力小 的时候，工件可能会脱落。
摩擦力小导致 工件滑落。
吸盘
吸附作業的注意事項⑤
在吸附柔软的工件时，吸附力可能会导致工件起 皱、变形等。这时有必要使用小型的真空吸盘 或带肋的吸盘或降低吸附压力。
空压机
供給弁
安全拴 ＮＯ ＮＣ
真空发生器
消音器
调节阀 真空破壊弁
真空圧力开关
真空用过滤器 真空圧力計
真空吸盘
真空回路（泵系统）
真空泵回路
真空切換阀
真空泵
调节阀 空压机
真空圧力开关
真空过滤器
真空破壊弁 真空吸盘
真空圧力計
真空回路的注意事項①
真空发生器和吸盘的個数：1台真空发生器最好 配一个真空吸盘。
－50 kPa（例）
0 KPa
－101.3kPa 絶対真空
什么是真空？②
真空吸附和气缸的作动原理基本上是一样的。 即为利用压力差来进行作动的。
≪例：圧力差0.1MPa≫ -0.1MPa 0. 0４ＭＰａ ＭＰａ 0MPa 0.5 ＭＰａ 0.1 ＭＰａ 真空 （-0.1ＭＰａ）
0ＭＰａ
用途例①
显像管吸附搬送
真空发生器的代表规格