半导体pn结,异质结和异质结构PPT课件
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半导体pn结异质结和异质结构ppt课件
“雪亮工程"是以区(县)、乡(镇) 、村( 社区) 三级综 治中心 为指挥 平台、 以综治 信息化 为支撑 、以网 格化管 理为基 础、以 公共安 全视频 监控联 网应用 为重点 的“群 众性治 安防控 工程” 。
PN结的正向导电性
在PN结上外加一电压 ,如果P 型一边接正极 ,N型一边接负极,电流便 从P型一边流向N型一边,空穴和电子都向 界面运动,使空间电荷区变窄,甚至消失,
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若干半导体杂质掺杂的一些考虑
杂质半导体ni,电子浓度n,空穴浓度p 之间的关系
n = ni e^(Ef-Ei)/kT, P = ni e^(Ei-Ef)/kT, ni^2 = n p Ei本征费米能级 Ef杂质费米能, 在n型半导体中,n>p,因此, Ef>Ei 在p型半导体中, p>n,因此, Ei>Ef
“雪亮工程"是以区(县)、乡(镇) 、村( 社区) 三级综 治中心 为指挥 平台、 以综治 信息化 为支撑 、以网 格化管 理为基 础、以 公共安 全视频 监控联 网应用 为重点 的“群 众性治 安防控 工程” 。
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几个重要参数和概念 • 接触电位差:
由于空间电荷区存在电场,方向由N到P,因 此N区电位比P区高,用V表示,称作接触电位 差,它与半导体的类型(禁带宽度),杂质掺杂 浓度,环境温度等密切相关,一般为0.几V到 1.几V • 势垒高度:
半导体光电材料基础-4PPT课件
:电子的亲和能
W:电子的功函数 Eg:禁带宽度
两种半导体紧密
接触时,电子
(空穴)将从
n(p)型半导体流
向p(n)型半导体,
直至费米能级相
P型
N. 型
等为止。
5
5.1 异质结及其能带图
(1)不考虑界面态时的能带图 突变反型(pn)异质结能带图(形成异质结后)
交界面两边形成空间电 荷区(x1-x2),产生内建电 场。
EcEv0.76eV
交界面两侧半导体中的 内建电势差VD1,VD2由掺 杂浓度、空间电荷区 (势垒区)宽度和相对 . 介电常数共同决定。 8
5.1 异质结及其能带图
(1)不考虑界面态时的能带图 突变反型(np) 异质结能带图
N型
P型
形成异质结前
.
N型
P型
形成异质结后 9
5.1 异质结及其能带图
异质结具有许多同质结所所不具有的特性,往往具 有更高的注入效率。
反型异质结:由导电类型相反的两种不同的半导体 单晶材料构成。如:p-nGe-GaAs(p型Ge与n型GaAs)
同型异质结:由导电类型相同的两种不同的半导体 单晶材料构成。如:n-nGe-GaAs(n型Ge和n型GaAs)
异质结的能带图对其特性起着重要作用。在不考虑
导带阶 Ec 12
价带阶
E v E g 2 E g 1 1 2
E c E vE g2E g1
以上式子对所有突变异
P型
N型.
质结普适 7
5.1 异质结及其能带图
(1)不考虑界面态时的能带图 突变p-nGe-GaAs异质结能带图
n-GaAs
Ec 0.07eV
Ev 0.69eV
(完整)半导体异质结精品PPT资料精品PPT资料
同质结注入比
Jn Dn Lp ND J p Dp Ln N A
决定同质结注入比的是掺杂浓度
• 异质结注入比:
由于能带断续的存在,由左向右的空穴注入除了要 克服势垒之外,还要克服一个附加台阶,因而空穴流
Jp exp[(qV DE v)]
而由右向左的电子注入只需克服势垒
Jn exp[ q(V DV D 1)]
加正向电压时 p 2 (x 2 ) p 1 0 e x p (q V D k T V E v p 2 0 e x p q k V T
• 空穴的电流密度
Jp
qDp2p20 Lp2
expqkV T1
Lp2为空穴扩散长度,Dp2为空穴扩散系数
异质结耗尽层宽度的计算
设势阱平面在x, y方向的长度分别为Lx和Ly,
异质结的形成
晶格匹配越好,界面态密度越低
晶格失配 定义
2(a2 a2) a
a2 a1
a
a1和a2分别是两种材料的晶格常数 (a2>a1),a为平均值
三元合金的禁带宽度和晶格常数 用三元或四元化合物半导体来制作出晶格匹配非常完美的异质结。
异质结的形成条件
满足禁带宽度的要求,选择晶格失配小的材料
异质结耗尽层宽度的计算
• 假设条件:在热平衡下,界面两端的费米能级相同 禁带宽度Eg和电子亲和能皆非杂质浓度的函(非简并)
• 导带边缘的不连续和价带边缘的不连续不会受杂质浓度影响 • 能带的弯曲量VD(扩散电势)为两种半导体功函数之差
V DV D 1V D 2W 1W 2
VD2 N A p VD1 N D n
总电流 JJJq DnDp ex p q V 1 由超于晶n与P格区中p导电分带子别底的是比运nN型动区和就导p不型带仅半底要导更受体接材的近料相费晶对米n 格介能周电级期常,势数故p 的。P影区响导,带同的时电受子n 1 到浓1 一度0 个高沿于薄N区层p 生2 长方2 0 向z展开的人工附加周期势场的影响 ,周期
第九章半导体异质结课件
概述
由于电势的不连续以及禁带宽度的不一致,使得异质结界面附近的能 带产生突变,即产生了“尖峰” 、“凹口” (或下陷)一些与同质结不同的情 况,这些将严重地影响载流子的运动,使得异质结具有一些同质结所没有
的特性。
一、不考虑界面态
1、突变反型异质结
一个P型A材料和一个n型B材料形成的异质结。 A 、B两材料在未形成异质结前的热平衡能带图如下图所示:
Ⅲ- Ⅴ族氮化物: BN、GaN、InN、AlN 等六方晶系; 3、 Ⅱ- Ⅵ族半导体: CdTe、HgTe、ZnTe、ZnSe、CdS、ZnS、 CdS 等闪锌矿; 4、 Ⅱ- Ⅵ族半导体: PbTe、SnTe等NaCl结构(离子晶体); 5、氧化物半导体: ZnO。
三、异质结的生长技术
1.液相外延技术(LPE) 2.汽相外延技术(VPE) 3.金属有机化学汽相沉积技术(MOCVD) 4.分子束外延技术(MBE)
一、 异质PN结的高注入比特性
人们针对不同的异质结构,提出了多种异质结伏安特性的模型,如: 扩散模型、热电子发射模型、隧道模型、发射-复合模型、隧道-复合模型、 扩散-发射模型等等。
利用扩散模型可以获得异质PN结的电子电流密度Jn和空穴电流密度Jp 的表达式,将Jn和Jp取比值得到异质结的注入比。
(a1 ,a2分别为两种半导体晶体的晶格常数)
突变异质结交界面处的悬挂键密度△Ns为两种材料在交界面处的悬挂键密度 之差。即 △Ns = NS1 - NS2
二、 计入界面态的影响
以金刚石结构为例:
以(111)晶面为交界面时,其悬挂键密度为:
以(110)晶面为交界面时,其悬挂键密度为:
以(100)晶面为交界面时,其悬挂键密度为:
二、 计入界面态的影响
《半导体物理学》【ch09】 半导体异质结构 教学课件
半导体异质结及其能带图
01 半导体异质结的能带图
9. 1. 1 半导体异质结的能带图 在以上所用的符号中, 一般都把禁带宽度较小的半导体材料写在前面。 研究异质结的特性时, 异质结的能带图起着重要的作用。在不考虑两种半导体交界面处的界面态 的情况下,任何异质结的能带图都取决于形成异质结的两种半导体的电子亲和能、禁带宽度及功 函数, 但是其中的功函数是随杂质浓度的不同而变化的。 异质结也可以分为突变型异质结和缓变型异质结两种。如果从一种半导体材料向另一种半导体材 料的过渡只发生于几个原子距离范围内,则称为突变型异质结。如果发生于几个扩散长度范围内, 则称为缓变型异质结。由于对于后者的研究工作不多,了解很少,因此下面以突变型异质结为例 来讨论异质结的能带图。
集成电路科学与工程系列教材
第九章
半导体异质结构
半导体物理学
半导体异质结构
导入
第6 章讨论的pn 结是由导电类型相反的同一种半导体单晶材料组成的,通常也称为同质结,而 由两种不同的半导体单晶材料组成的结则称为异质结。虽然早在1951 年就已经提出了异质结的 概念, 并进行了一定的理论分析工作,但是由于工艺技术存在困难, 一直没有实际制成异质结。 自1957 年克罗默指出由导电类型相反的两种不同的半导体单晶材料制成的异质结比同质结具有 更高的注入效率之后,异质结的研究才比较广泛地受到重视。
半导体异质结及其能带图
01 半导体异质结的能带图
9. 1. 1 半导体异质结的能带图
半导体异质结及其能带图
01 半导体异质结的能带图
9. 1. 1 半导体异质结的能带图 (2 )突变同型异质结的能带图 图9-4(a)为均是n 型的两种不同的半导体材料形成m 异质结之前的平衡能带图;图9-4(b)为形成 异质结之后的平衡能带图。当这两种半导体材料紧密接触形成异质结时, 因为禁带宽度大的n 型 半导体的费米能级比禁带宽度小的n 型半导体的费米能级高,所以电子将从前者向后者流动。结 果在禁带宽度小的n 型半导体一边形成了电子的积累层,而另一边形成了耗尽层。这种情况和反 型异质结不同。对于反型异质结,两种半导体材料的交界面两边都成为耗尽层;而在同型异质结 中,一般必有一边成为积累层。式(9-4)、式( 9-5)和式( 9-6)在这种异质结中同样适用。 图9 5 为pp 异质结在热平衡状态时的平衡能带图,其情况与nn 异质结类似。
半导体物理及器件工艺PPT ch1_p-n结
kT q
ln N AN D ni2
与使用各自静电势推导结果一样
26
(3) 其它耗尽区特性 a)突变结电场强度与电势分布
I. 电场强度 • 假设突变耗尽近似:空间电荷区中无自由载流子,电场完全由正、
负空间电荷的分离产生。
根据电中性原理,空间 电荷区有:
qNAxp=qNDxn
问题:空间电荷区或耗尽区 在两边的厚度与什么有关? 规律如何?
或qVbi。 • 远离结区的n型和p型半
导体仍是均匀的,因此 Vbi可由p区和n区内部费 米能级的差值(或功函数) 来确定。
qVbi p n E Fn E Fp
问题:此时n区电子若逸出到真空能 级,需克服多少能量?势垒+亲和能
• 由于本征费米能级EFi不随外界变化而变化,因此也可以此为参 考标准进行内建势垒的计算;
第一章pn结二极管第二章异质结二极管量子阱超晶格第三章金属半导体肖特基二极管包括欧姆接触和肖特基接触第一章pn结二极管11二极管的基本特性12同质pn结特性13同质pn结的电流电压iv特性14pn结小信号模型15pn结二极管瞬态特性16非突变同质结11二极管的基本特性二极管
第一部分 半导体器件
第一章 pn结二极管 第二章 异质结二极管(量子阱、超晶格) 第三章 金属-半导体肖特基二极管(包括欧姆接 触和肖特基接触)
肖特基二极管
……
3
(1)开关特性
问题:二极管导通时的电压有什么特点?电压源 同质结二极管的近似 等效电路,(a)开路, (b)端电压近似恒定
4
Diode logic (AND gate) was used in early digital computers Diodes can switch analog signals (Parallel resonator network)
第六章 pn结 ppt课件
电势能增大,即引起能带的整体上下移动。
载流子扩散的结果是使杂质电离,形成内建电场,其大小就是载流 子电势能的改变量。
电离中心 内建电场
n eeee 扩散
++++ ----
扩散 h
h h
p
h
浓度梯度形成的电场
第六章
pn 结
—— pn结能带图
流过pn结的总电流密度为漂移电流和扩散电流密度之和:
费米能级的改变=电势能的改变
p
EFp
n
EFn
Ecp
E
电子扩散区
p
e
Lp
q(VD+V)
EFp Evp
Ecn
h
EFn
Ln
n
空穴扩散区
Evn
第六章
理想pn结模型
pn 结
—— pn结电压特性
小注入:注入的少数载流子浓度比平衡多子浓度小得多;
突变耗尽层:外加电压直接降落在耗尽层上,耗尽层中的电荷是由 电离中心的电荷组成,耗尽层外的半导体呈电中性;
不考虑耗尽层中载流子的产生与复合作用,即通过耗尽层的电子和 空穴的电流是常数;
满足玻尔兹曼分布。
第六章
pn 结
理想pn结的电流电压方程 计算的基本步骤: 计算势垒边界的非平衡载流子浓度;
—— pn结电压特性
由扩散连续性方程得到扩散区中非平衡载流子的分布;
由扩散方程算出少子的电流密度;
得到电流电压方程。
外加正向电压下,pn结势垒的变化及载流子的运动
pn结加正向电压V,由于势垒两侧的载流子浓度很大,电阻很小, 正向偏压几乎都降落在结区,削弱内建电场(qVD-qV);
内建电场(qVD-qV)减弱,打破了载流子扩散与漂移的平衡态,使 扩散流起主导,存在净扩散电流。
课件:第二章 PN结
2.1 热平衡(无偏压) Байду номын сангаасN结
二、电场和电势分布:
(2)电势分布:
P型电 中性区
qNd
N型电 中性区
(ii)P区耗尽层: (xp x 0)
d (x)
dx
(x)
q Na
s
(x
xP ),
-xp
xn
x
-qNa
耗尽区
(x) (x)dx
q Na
s
(x
xP
)dx
q Na
2 s
(x
xP )2
中性区耗尽区 耗尽区 中性区 x
即:(xn )
q Nd
s
x n C2
0,
C2
q Nd
s
xn
-xp
0
xn
(x)
qNd
s
( xn
x),
(xn x 0)
(2 115)
qNa xP s
qNd xn s
电场分布图
2.1 热平衡(无偏压) PN结
二、电场和电势分布:
(1)电场分布:
P型电 中性区
qNd
qNd
(2)静电势法: 取费米势为电势能的零点。
-xp
-qNa
N型电
中性区
xn
x
n0 ni exp /VT (110 9) p0 ni exp /VT (11010)
边界区 耗尽区 边界区
N型电中性区:
P型电中性区:
n
VT
ln
n ni
VT
ln
Nd ni
,
(2 1 6)
p
VT
ln
p ni
2.1 热平衡(无偏压) PN结
半导体物理第11次课.ppt
• 利用j1=j2,V1+V2=V,得
j
2
js1
js
2
sh
eV 2kT
eV
eV
js1e 2kT js2e 2kT
实验发现,饱和区之间的 I-V特性与左式符合得很好。
ex ex * sh(x)
2
2D 电子气
N+GaAspGaAlAs异质结
2DEG的特点及用处
• 2DEG在空间上分开了掺杂区与高载流子浓度 区(调制掺杂);
• 量子约束:两种不同的半导体材料做成重复相间的多 层结构,只要两种材料的能带结构合适,电子和空穴 的运动将被局限在各自的势阱中。
• 形成多量子阱的条件:窄带材料(势阱)的宽度较小, 可以和电子的德布罗意波长相比。宽带材料(势垒) 的宽度较大,使两个相邻势阱中的电子波函数不能互 相耦合。
• 能级分立:阱中电子(或空穴)在垂直于结平面方向 的能量不再连续,只能取一系列分立的值,它们和势 阱的宽度、深度以及电子和空穴的有效质量有关。势 阱中的电子和空穴在平行于异质结的方向上的运动是 自由的,因而能带将由一系列的子能级组成,态密度 和能量的关系呈台阶形+尖峰。
超晶格晶格常数超大的人工晶格
• 超晶格: 形成超晶格的条件: 量子阱的数目很多,一般在50个以上。 窄带材料(势阱)的宽度较小,可以和电子的德布罗 意波长相比。 宽带材料(势垒)的宽度也较小,使相邻势阱中的电 子波函数能够互相耦合。
• 各量子阱的分立能级因阱间相互作用而扩展成子能带。 但DOS总体形状与多量子阱仍然相似,但原先的尖峰 扩展成较宽的峰。
界面态的影响
• 原因:晶格失配 • 对于晶格常数为a1和a2的两种材料,晶格失配定义为
2 a2 a1 a2 a1
半导体物理异质结解析PPT课件
第13页/共30页
界面量子阱中二维电子气的势阱和状态密度
第14页/共30页
电子的能量:
二维电子气的状态密度
k空间原胞的面积:
k空间k-k+dk圆环的面积: E-k关系: 状态密度:
第15页/共30页
低维半导体材料及其状态密度
Bulk
QW
QD
3D
2D
0D
DD((EE))
DD((EE))
D(E)
E
• qVD = qVD1 + qVD2 = EF2 - EF1 = W1 - W2
半导体物理学
第7章 金第属4页和/半共导30体页的接触
SCNU 光电学院
4
突变反型异质结的能带特征
• n型半导体的能带弯曲量为qV2,且导带底在交界面处形成一个向
上的“尖峰”。
• p型半导体的能带弯曲量为qV1,且导带底在交界面处形成一个向
第2页/共30页
pn结的能带图
qVD E Fn EFp
第3页/共30页
突变反型异质结的能带图
• 形成异质结时电子从n型半导体流向p型半导体,空穴的流动方向相反。
• 达到平衡时,两块半导体具有统一的费米能级。
• 在异质结界面的两边形成空间电荷区,产生内建电场和附加电势能,使 空间电荷区中的能带发生弯曲。
EE
EE
Modification of density of states by confining carriers
第16页/共30页
双异质结间的单量子阱结构
第17页/共30页
双异质结间的单量子阱结构
势阱形状: 波函数分离变量: 波函数分离变量: 薛定谔方程:
第18页/共30页
界面量子阱中二维电子气的势阱和状态密度
第14页/共30页
电子的能量:
二维电子气的状态密度
k空间原胞的面积:
k空间k-k+dk圆环的面积: E-k关系: 状态密度:
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低维半导体材料及其状态密度
Bulk
QW
QD
3D
2D
0D
DD((EE))
DD((EE))
D(E)
E
• qVD = qVD1 + qVD2 = EF2 - EF1 = W1 - W2
半导体物理学
第7章 金第属4页和/半共导30体页的接触
SCNU 光电学院
4
突变反型异质结的能带特征
• n型半导体的能带弯曲量为qV2,且导带底在交界面处形成一个向
上的“尖峰”。
• p型半导体的能带弯曲量为qV1,且导带底在交界面处形成一个向
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pn结的能带图
qVD E Fn EFp
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突变反型异质结的能带图
• 形成异质结时电子从n型半导体流向p型半导体,空穴的流动方向相反。
• 达到平衡时,两块半导体具有统一的费米能级。
• 在异质结界面的两边形成空间电荷区,产生内建电场和附加电势能,使 空间电荷区中的能带发生弯曲。
EE
EE
Modification of density of states by confining carriers
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双异质结间的单量子阱结构
第17页/共30页
双异质结间的单量子阱结构
势阱形状: 波函数分离变量: 波函数分离变量: 薛定谔方程:
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半导体物理基础 PN结 ppt课件
(4)集成电路中的隔离介质和绝缘介质; (5)集成电路中电容器元件的绝缘介质。 硅表面二氧化硅薄膜的生长方法:热氧化和化 学气相沉积方法。
11
11
PN结制作工艺过程
• 扩散工艺:由于热运动,任何物质都有一种从 浓度高处向浓度低处运动,使其趋于均匀的趋 势,这种现象称为扩散。
• 离子注入技术:将杂质元素的原子离化变成带 电的杂质离子,在强电场下加速,获得较高的 能量(1万-100万eV)后直接轰击到半导体基 片(靶片)中,再经过退火使杂质激活,在半 导体片中形成一定的杂质分布。
12
12
PN结制作工艺过程
• 外延工艺:外延是一种薄膜生长工艺, 外延生长是在单晶衬底上沿晶体原来晶 向向外延伸生长一层薄膜单晶层。
• 外延工艺可以在一种单晶材料上生长另 一种单晶材料薄膜。
• 外延工艺可以方便地形成不同导电类型, 不同杂质浓度,杂质分布陡峭的外延层。
13
13
PN结制作工艺过程
• 光刻工艺:光刻工艺是为实现选择掺杂、 形成金属电极和布线,表面钝化等工艺 而使用的一种工艺技术。
0 dx
• 由电场强度的概念,电力线最密集的地
方电场强度最大。因此在公式2-1-15中
取x=0,得到最大电场
EM
qNd xn
K0
• 电场和电势分布:2-1-16和2-1-18
26
26
2.1 热平衡PN结
• 单边突变结:结一边的杂质浓度远高于
另外一边。
•
推导出内建电势为2-1-19
0
qN d xn2 2k 0
Chap2 PN 结
1
1
PN结制作工艺过程
• 采用硅平面工艺制备PN 结的主要工艺过程
11
11
PN结制作工艺过程
• 扩散工艺:由于热运动,任何物质都有一种从 浓度高处向浓度低处运动,使其趋于均匀的趋 势,这种现象称为扩散。
• 离子注入技术:将杂质元素的原子离化变成带 电的杂质离子,在强电场下加速,获得较高的 能量(1万-100万eV)后直接轰击到半导体基 片(靶片)中,再经过退火使杂质激活,在半 导体片中形成一定的杂质分布。
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12
PN结制作工艺过程
• 外延工艺:外延是一种薄膜生长工艺, 外延生长是在单晶衬底上沿晶体原来晶 向向外延伸生长一层薄膜单晶层。
• 外延工艺可以在一种单晶材料上生长另 一种单晶材料薄膜。
• 外延工艺可以方便地形成不同导电类型, 不同杂质浓度,杂质分布陡峭的外延层。
13
13
PN结制作工艺过程
• 光刻工艺:光刻工艺是为实现选择掺杂、 形成金属电极和布线,表面钝化等工艺 而使用的一种工艺技术。
0 dx
• 由电场强度的概念,电力线最密集的地
方电场强度最大。因此在公式2-1-15中
取x=0,得到最大电场
EM
qNd xn
K0
• 电场和电势分布:2-1-16和2-1-18
26
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2.1 热平衡PN结
• 单边突变结:结一边的杂质浓度远高于
另外一边。
•
推导出内建电势为2-1-19
0
qN d xn2 2k 0
Chap2 PN 结
1
1
PN结制作工艺过程
• 采用硅平面工艺制备PN 结的主要工艺过程
半导体物理 第二章 PN结 图文
国家级精品课程——半导体器件物理与实验
第二章 PN结
引言
4-4 外延工艺:
外延是一种薄膜生长工艺,外延生长是在单晶衬底上沿晶体 原来晶向向外延伸生长一层薄膜单晶层。
外延工艺可以在一种单晶材料上生长另一种单晶材料薄膜。
外延工艺可以方便地形成不同导电类型,不同杂质浓度,杂 质分布陡峭的外延层。
外延技术:汽相外延(PVD,CVD)、液相外延(LPE)、分 子束外延(MBE)、热壁外延(HWE)、原子层外延技术。
硅平面工艺的主体
国家级精品课程——半导体器件物理与实验
第二章 PN结
引言
4-1 氧化工艺:
1957年,人们发现硅表面的二氧化硅层具有阻止杂质向硅内 扩散的作用。这一发现直接导致了氧化工艺的出现。 二氧化硅薄膜的作用: (1)对杂质扩散的掩蔽作用; (2)作为MOS器件的绝缘栅材料; (3)器件表面钝化作用; (4)集成电路中的隔离介质和绝缘介质; (5)集成电路中电容器元件的绝缘介质。 硅表面二氧化硅薄膜的生长方法: 热氧化和化学气相沉积方法。
N(x) (a)
Na
Nd xj
(b) -a(x - xj)
引言
扩 SiO2 散 结 N-Si
杂质扩散
P
N-Si
N-Si
由扩散法形成的P-N结,杂质浓度从P区到N区是
逐渐变化的,通常称之为缓变结,如图所示。设 P-N结位置在x=xj处,则结中的杂质分布可表示为: x
Na Nd (x xj), Na Nd (x xj)
Al
液体
Al
P
N-Si
N-Si
N-Si
把一小粒铝放在一块N型单晶硅片上, 加热到一定温度,形成铝硅的熔融体, 然后降低温度,熔融体开始凝固,在N 型硅片上形成含有高浓度铝的P型硅薄 层,它和N型硅衬底的交界面即为P-N 结(称之为铝硅合金结)。
PN结精品PPT课件
P区相对于N区具有电势差 —— VD
3、P-N结能带图
P区电子的能量向上移动 qVD
—— 抵消原来P区和N区电子费密能级的差别
且有
qVD (EF ) N (EF )P
—— 半导体中载流 子浓度远远低于金属
—— PN结处形成的 电荷空间分布区域约 在微米数量级
4.p-n结接触电势差
• 平衡p-n结的空间电荷区两端间的电势差VD 为p-n结的接触电势差或内建电势差。相应 的电子电势能之差即能带的弯曲量qVD为 pn的势垒高度。
0
—— 反向抽取使边界少子 的浓度减小
反向电流 j j0 (eqV / kBT 1)
边界处 x 0
N0
n
0 P
(
e
qV
/
kBT
1)
电子扩散流密度
n
0 P
(
e
qV
/
kBT
1) Dn Ln
Dn and Ln —— 电子的扩散系数和扩散长度
注入到P区的电子电流密度
jn
qn
0 P
(
e
qV
/
k
BT
1) Dn Ln
—— 在N区边界空穴积累,同时向N区扩散,也是非平衡 载流子边扩散、边复合形成空穴电流
——只有N区的空穴和P区的电子在结区电场的作用下才能 漂移过PN结
N区的空穴一到达边界即被拉到P区 P区的电子一到达边界即被拉到N区 —— PN结方向抽取作用
PN加有反向电压 V Vr 势垒变为 q(VD Vr )
P区边界电子的浓度
nP
n e0 qVr / kBT P
n e0 qVr / kBT P
图5-2 合金法制造p-n结过程
3、P-N结能带图
P区电子的能量向上移动 qVD
—— 抵消原来P区和N区电子费密能级的差别
且有
qVD (EF ) N (EF )P
—— 半导体中载流 子浓度远远低于金属
—— PN结处形成的 电荷空间分布区域约 在微米数量级
4.p-n结接触电势差
• 平衡p-n结的空间电荷区两端间的电势差VD 为p-n结的接触电势差或内建电势差。相应 的电子电势能之差即能带的弯曲量qVD为 pn的势垒高度。
0
—— 反向抽取使边界少子 的浓度减小
反向电流 j j0 (eqV / kBT 1)
边界处 x 0
N0
n
0 P
(
e
qV
/
kBT
1)
电子扩散流密度
n
0 P
(
e
qV
/
kBT
1) Dn Ln
Dn and Ln —— 电子的扩散系数和扩散长度
注入到P区的电子电流密度
jn
qn
0 P
(
e
qV
/
k
BT
1) Dn Ln
—— 在N区边界空穴积累,同时向N区扩散,也是非平衡 载流子边扩散、边复合形成空穴电流
——只有N区的空穴和P区的电子在结区电场的作用下才能 漂移过PN结
N区的空穴一到达边界即被拉到P区 P区的电子一到达边界即被拉到N区 —— PN结方向抽取作用
PN加有反向电压 V Vr 势垒变为 q(VD Vr )
P区边界电子的浓度
nP
n e0 qVr / kBT P
n e0 qVr / kBT P
图5-2 合金法制造p-n结过程
半导体物理 第六章 pn结ppt课件
E E cn x n n exp( ) x n 0 k T 0
qV ( x ) qV D n ) n 0exp( k T 0
当 X=Xn时,V(x)=VD,
n(x)=nn0
当 X=-Xp时,V(x)=0, n(-xp)=nn0
qV D n ( x ) n n exp( ) p p 0 n 0 k T 0
产生漂移电流
6.1.3
电子从费米能级高的n区流 向费米能级低的p区, 空穴从p流到n区。
最后,Pn具有统一费米能级EF,
EFn不断下移,EFp不断上 Pn结处于平衡状态。 移,直到EFn=EFp,
能带发生整体相对移动与pn结空 间电荷区中存在内建电场有关。
随内建电场(np)不断增大, V(x)不断降低,
使漂移电流〉扩散电流
少数载流子的抽取或吸出:n区边界nn’处的空穴被 势垒区强场驱向p区, p区边界pp’处的电子被驱向n 区。
qV D p p exp( ) n 0 p 0 k T 0
平衡时,pn结具有统一的费米 能级,无净电流流过pn结。 1. 外加电压下,pn结势垒的变化及载流子的运动 势垒区:载流子浓度很小,电阻很大; 势垒外:载流子浓度很大,电阻很小; 外加正向偏压主要降在势垒区;外加正向电场与 内建电场方向相反, 产生现象:势垒区电场减小,使势垒区空间电荷减小; 载流子扩散流〉漂移流, 净扩散流〉0 ; 宽度减小; 势垒高度降低(高度从qVD降到q(VD-V)
高温熔融的铝冷却后,n型硅片 上形成高浓度的p型薄层。
P型杂质浓度NA,
n型杂质浓度ND,
特点:交界面浓度发生突变。
在n型单晶硅片上扩散受主杂质,形成pn结。 杂质浓度从p到n 逐渐变化,称为缓变结。
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非本征半导体:是掺杂的半导体。由于在价带和导 带分别加入的空穴和自由的电子,使半导体的导电性能 发生改变。
如:五价的杂质原子(P,As)掺入四价Si后必 有一个电子成为自由电子运动在导带中,形成电子导电 类型的n型半导体。由于有较高能量的自由电子的进入导 致原来在带隙中的费米能级逐渐向上移。如果在半导体 中加入 三价的杂质原子(B),与硅的结合将有一个键 悬空,形成空穴,此空穴可以在价带中自由移动,形成 了空穴导电类型的p型半导体,由于有空穴的进入导致原 来在带隙中的费米能级逐渐向下移。
本征半导体载流子浓度ni, p i
本征半导体:
ni = pi = n =p = Eg/2KT) = A T^3/2
4.9 E15 (me mh/mo)^3/4
e^(-Eg/2KT)
T^3/2 exp(-
是温度T,禁带宽度Eg的函数,温度越高, ni越大, Eg越宽, ni越小 T为3OOK时, Si: ni = p i=1.4 E10/cm*-3
几个重要参数和概念
• 接触电位差:
由于空间电荷区存在电场,方向由N 到P,因此N区电位比P区高,用V表示,称作接 触电位差,它与半导体的类型(禁带宽度), 杂质掺杂浓度,环境温度等密切相关,一般 为0.几V到
1.几V
• 势垒高度:
在空间电荷区内电子势能为-qV, 因此电子从N区到P区必须越过这个势能高 度,该高度称作势垒高度
PN结加反向电压时,空间电荷区中的正负电荷 构成一个电容性的器件。它的电容量随外加电压 改变,反向时电容减小正向时电容增大.
半导体同质p-n结,异质结的形成
采用不同的掺杂工艺,将P型半导体与N型 半导体制作在同一块半导体上,在它们的交界面就形 成空间电荷区称PN结。
一块单晶半导体中 ,一部分掺有受主杂 质是P型半导体,另一部分掺有施主杂质是N型半导体 时 ,P 型半导体和N型半导体的交界面附近的过渡区 称PN结。
ni pi = 1.96 E20/cm^-3
杂质半导体ni,电子浓度n,空穴浓度p 之间的关系
n = ni e^(Ef-Ei)/kT, P = ni e^(Ei-Ef)/kT, ni^2 = n p Ei本征费米能级 Ef杂质费米能, 在n型半导体中,n>p,因此, Ef>Ei 在p型半导体中, p>n,因此, Ei>Ef
1. 用PN结. 利用击穿特性制作稳压二极管和雪崩二极管; 3. 利用高掺杂PN结隧道效应制作隧道二极管; 4. 利用结电容随外电压变化效应制作变容二极管; 5. 将半导体的光电效应与PN结相结合还可以制作多种光电器件。
如利用前向偏置异质结的载流子注入与复合可以制造半导体激光二极 管与半导体发光二极管;
PN结的正向导电性
在PN结上外加一电压 ,如果P 型一边接正极 ,N型一边接负极,电流便 从P型一边流向N型一边,空穴和电子都向 界面运动,使空间电荷区变窄,甚至消失, 多数载流子在电场的作用下可以顺利通过。 如果N型一边接外加电压的正极,P型一边 接负极,则空穴和电子都向远离界面的方 向运动,使空间电荷区变宽,电流不能流 过。这就是PN结的单向导电性。
n型p型半导体的能带结构
Xs Wn Wp
Eg Es
Eo
Ec E fn Ei , Efi E fp Ev
p-n结形成的内部机理
• 施主和受主,电子和空穴(载流子,移动电 荷),空间电荷(固定离子)
• 多数载流子和少数载流子,(载流子的扩散 运动,空间电荷区的形成,内建电场的建立),
• 内建电场阻止多数载流子的进一步扩散,增 强了少数载流子在反方向的漂移运动,最后 达到动态平衡(热平衡,电中性),随温度变 化时,平衡被破坏)
6. 利用光辐射对PN结反向电流的调制作用可以制成光电探测器; 7. 利用光生伏特效应可制成太阳电池; 8. 利用两个PN结之间的相互作用可以产生放大,振荡等多种电子 功能; PN结是构成双极型晶体管和场效应晶体管的核心,是现代微电子 技术、光电子技术的基础。
半导体异质结
基本概念:
异质结就是一种半导体材料生长在另一种 半导体材料上所形成的接触过渡区。依照两种 材料的导电类型分同型异质结(P-p结或N-n结) 和异型异质(P-n或p-N)结。按照两种材料晶格常 数的失配程度,异质结可分为两类,即匹配型 异质结和失配型异质结,由于两种异质材料具 有不同的物理化学参数(如电子亲和势、 能带 结构、介电常数、晶格常数等), 接触界面处产 生各种物理化学属性的失配,使异质结具有许 多不同于同质PN结的新特性。
半导体,本征半导体,非本征半导体
半导体: 最外层价电子填满了价带,导带没 有电子,有一定带隙宽度。在一定条件下使价带中的电 子获得能量跃迁到导带中,在价带中形成空穴,在导带 中出现电子时,半导体导电。
本征半导体:不掺杂的半导体。此时的费米能级 在带隙的中间。价带中的电子靠热激发或光激发直接跃 迁到导带,使空穴和电子的浓度相等。随着温度的升高 本征半导体的导电性能变大。
PN结的伏安(I-V)特性:
I为流过PN结的电流;Is为PN结的反向饱和电流,与温度和材料有关的参数, V为外加电压; Vt=kT/q,为温度的电压当量(Vt=26mV.),当外加正向电压V为 正值且比Vt大几倍时, 正向电流随正向电压的增加按指数规律增大,PN结为正向 导通状态.外加反向电压即v为负值,且|v|比Vt大几倍时,PN结只流过很小的反 向饱和电流,且数值上基本不随外加电压而变,PN结呈反向截止状态。由PN结 的I/V特性曲线得到:PN结具有单向导电性和非线性伏安特性.
PN结有同质结和异质结两种。用同一种半 导体材料制成的 PN 结叫同质结 ,由禁带宽度不同 的两种半导体材料制成的PN结叫异质结。
制造同质PN结的方法有合金法、扩散法、 离子注入法、外延生长法等。
制造异质结通常采用外延生长法。
PN结的应用
根据PN结的材料、掺杂分布、几何结构和偏置条件的不同,利 用其基本特性可以制造多种功能的晶体二极管。
PN结的反向电压特性及电容特性
PN结加反向电压时,空间电荷区变宽, 电场增 强, 阻止了多数载流子的扩散,而P区和N区的少数 载流子电子和空穴沿反向电场运动,产生反向漏电 流,由于少子是本征激发,它决定于温度而不决定于 反向电压,当反向电压增大到一定程度足以把少子 全部吸引过来时,电流达到恒定,称作反向饱和漏电 流, 当反向电压再增大电流突然增大时,称作PN结 击穿。如果外电路不能限制电流,则电流会大到 将PN结烧毁.
如:五价的杂质原子(P,As)掺入四价Si后必 有一个电子成为自由电子运动在导带中,形成电子导电 类型的n型半导体。由于有较高能量的自由电子的进入导 致原来在带隙中的费米能级逐渐向上移。如果在半导体 中加入 三价的杂质原子(B),与硅的结合将有一个键 悬空,形成空穴,此空穴可以在价带中自由移动,形成 了空穴导电类型的p型半导体,由于有空穴的进入导致原 来在带隙中的费米能级逐渐向下移。
本征半导体载流子浓度ni, p i
本征半导体:
ni = pi = n =p = Eg/2KT) = A T^3/2
4.9 E15 (me mh/mo)^3/4
e^(-Eg/2KT)
T^3/2 exp(-
是温度T,禁带宽度Eg的函数,温度越高, ni越大, Eg越宽, ni越小 T为3OOK时, Si: ni = p i=1.4 E10/cm*-3
几个重要参数和概念
• 接触电位差:
由于空间电荷区存在电场,方向由N 到P,因此N区电位比P区高,用V表示,称作接 触电位差,它与半导体的类型(禁带宽度), 杂质掺杂浓度,环境温度等密切相关,一般 为0.几V到
1.几V
• 势垒高度:
在空间电荷区内电子势能为-qV, 因此电子从N区到P区必须越过这个势能高 度,该高度称作势垒高度
PN结加反向电压时,空间电荷区中的正负电荷 构成一个电容性的器件。它的电容量随外加电压 改变,反向时电容减小正向时电容增大.
半导体同质p-n结,异质结的形成
采用不同的掺杂工艺,将P型半导体与N型 半导体制作在同一块半导体上,在它们的交界面就形 成空间电荷区称PN结。
一块单晶半导体中 ,一部分掺有受主杂 质是P型半导体,另一部分掺有施主杂质是N型半导体 时 ,P 型半导体和N型半导体的交界面附近的过渡区 称PN结。
ni pi = 1.96 E20/cm^-3
杂质半导体ni,电子浓度n,空穴浓度p 之间的关系
n = ni e^(Ef-Ei)/kT, P = ni e^(Ei-Ef)/kT, ni^2 = n p Ei本征费米能级 Ef杂质费米能, 在n型半导体中,n>p,因此, Ef>Ei 在p型半导体中, p>n,因此, Ei>Ef
1. 用PN结. 利用击穿特性制作稳压二极管和雪崩二极管; 3. 利用高掺杂PN结隧道效应制作隧道二极管; 4. 利用结电容随外电压变化效应制作变容二极管; 5. 将半导体的光电效应与PN结相结合还可以制作多种光电器件。
如利用前向偏置异质结的载流子注入与复合可以制造半导体激光二极 管与半导体发光二极管;
PN结的正向导电性
在PN结上外加一电压 ,如果P 型一边接正极 ,N型一边接负极,电流便 从P型一边流向N型一边,空穴和电子都向 界面运动,使空间电荷区变窄,甚至消失, 多数载流子在电场的作用下可以顺利通过。 如果N型一边接外加电压的正极,P型一边 接负极,则空穴和电子都向远离界面的方 向运动,使空间电荷区变宽,电流不能流 过。这就是PN结的单向导电性。
n型p型半导体的能带结构
Xs Wn Wp
Eg Es
Eo
Ec E fn Ei , Efi E fp Ev
p-n结形成的内部机理
• 施主和受主,电子和空穴(载流子,移动电 荷),空间电荷(固定离子)
• 多数载流子和少数载流子,(载流子的扩散 运动,空间电荷区的形成,内建电场的建立),
• 内建电场阻止多数载流子的进一步扩散,增 强了少数载流子在反方向的漂移运动,最后 达到动态平衡(热平衡,电中性),随温度变 化时,平衡被破坏)
6. 利用光辐射对PN结反向电流的调制作用可以制成光电探测器; 7. 利用光生伏特效应可制成太阳电池; 8. 利用两个PN结之间的相互作用可以产生放大,振荡等多种电子 功能; PN结是构成双极型晶体管和场效应晶体管的核心,是现代微电子 技术、光电子技术的基础。
半导体异质结
基本概念:
异质结就是一种半导体材料生长在另一种 半导体材料上所形成的接触过渡区。依照两种 材料的导电类型分同型异质结(P-p结或N-n结) 和异型异质(P-n或p-N)结。按照两种材料晶格常 数的失配程度,异质结可分为两类,即匹配型 异质结和失配型异质结,由于两种异质材料具 有不同的物理化学参数(如电子亲和势、 能带 结构、介电常数、晶格常数等), 接触界面处产 生各种物理化学属性的失配,使异质结具有许 多不同于同质PN结的新特性。
半导体,本征半导体,非本征半导体
半导体: 最外层价电子填满了价带,导带没 有电子,有一定带隙宽度。在一定条件下使价带中的电 子获得能量跃迁到导带中,在价带中形成空穴,在导带 中出现电子时,半导体导电。
本征半导体:不掺杂的半导体。此时的费米能级 在带隙的中间。价带中的电子靠热激发或光激发直接跃 迁到导带,使空穴和电子的浓度相等。随着温度的升高 本征半导体的导电性能变大。
PN结的伏安(I-V)特性:
I为流过PN结的电流;Is为PN结的反向饱和电流,与温度和材料有关的参数, V为外加电压; Vt=kT/q,为温度的电压当量(Vt=26mV.),当外加正向电压V为 正值且比Vt大几倍时, 正向电流随正向电压的增加按指数规律增大,PN结为正向 导通状态.外加反向电压即v为负值,且|v|比Vt大几倍时,PN结只流过很小的反 向饱和电流,且数值上基本不随外加电压而变,PN结呈反向截止状态。由PN结 的I/V特性曲线得到:PN结具有单向导电性和非线性伏安特性.
PN结有同质结和异质结两种。用同一种半 导体材料制成的 PN 结叫同质结 ,由禁带宽度不同 的两种半导体材料制成的PN结叫异质结。
制造同质PN结的方法有合金法、扩散法、 离子注入法、外延生长法等。
制造异质结通常采用外延生长法。
PN结的应用
根据PN结的材料、掺杂分布、几何结构和偏置条件的不同,利 用其基本特性可以制造多种功能的晶体二极管。
PN结的反向电压特性及电容特性
PN结加反向电压时,空间电荷区变宽, 电场增 强, 阻止了多数载流子的扩散,而P区和N区的少数 载流子电子和空穴沿反向电场运动,产生反向漏电 流,由于少子是本征激发,它决定于温度而不决定于 反向电压,当反向电压增大到一定程度足以把少子 全部吸引过来时,电流达到恒定,称作反向饱和漏电 流, 当反向电压再增大电流突然增大时,称作PN结 击穿。如果外电路不能限制电流,则电流会大到 将PN结烧毁.