菲希尔膜厚仪培训学习报告

出差学习报告

2013-4-12应菲希尔邀请，到菲希尔仪器有限公司进行免费培训一天。主要培训课程内容如下：

第一部分：仪器性能和技术参数介绍

第二部分：X射线测厚仪内部结构，基本原理及电脑软件操作

第三部分：操作中注意事项

针对以上每个部分内容具体阐述如下：

第一部分：仪器性能和技术参数介绍

1.1)仪器性能：主要用于测量涂镀层厚度及成份，分析合金成分，测量镀液主盐离子浓度。因为是利用光的方式，所以是非接触式，非破坏式，不会影响实验的样品。仪器放置应特别注意与存在电磁的场合隔离开来，房间温度最好控制在20 + /-5℃。相对湿度控制在40~60%为宜。平时经常开启空调除湿功能。

1.2)技术参数介绍、

测试台左方测试台右方

测试台正面

第二部分：X射线测厚仪内部结构，基本原理及电脑软件操作

2.1)X射线仪器内部——比例接收器：是一种用气体工作介质，输出信号的脉冲幅度与入射辐射的能量成正的探测器，可以对单个粒子进行计数。通常采用圆筒形的结构，中间是一根细丝，与电源正极相连，圆筒外壳与负极相连，中间形成一个非均匀电场，并且充有惰性气体。

2.2)基本原理：膜厚仪也叫X射线测厚仪，它的原理是粒子入射后与筒内气体的原子发生碰撞，使其电离。在电场作用下，电子向中心阳极丝运动，正离子则以比电子慢得多的速度向阴极筒壁运动。电子在运动过程中受到电场的加速，促使更多的原子电离，这些原子电离产生的次级电子又会加速导致更多的次级电离。电子越接近阳极，电场越强，电离的可能性越大，这种电离不断增值的过程叫做电子雪崩过程。最终能够在阳极丝得到较大的脉冲幅度。在计数管的工作电压一定时，正比计数管所产生的电脉冲值与被吸收的光子能量呈正比。

来进行定性和定量分析，精度可以达到0.01um

2.3)电脑软件操作

(1)开关机的顺序，开机时先开电源，再开高压钥匙，最后开电脑软件；关机时先关软件，其次关高压钥匙，最后关电源。

(2)预热30分钟后进行测量基准，建议每天开机后都不需做一次。

(3)进行测量:产品程式中选用对应的程式进行测试，样品放置在视频窗口十字中央，调整位置焦距最清晰。

(4)测试完成后打印报表，对应的参数可以修改。

(5)校正产品程式：确定是否需要校准，可以通过测量校准片来检验，测量数据平均值误差与校准片之差不符合校准片的精度，可以进行“归一化”操作，如果归一化过后，仍然不符合校准片的精度，这时应进行校正。校正时选择需要校正的程式，输入校正片的标准值，按照指示放置相应的材料和校正片进行测量。

(6)底材修正：主要用于修正该程式的零点。因为不同批次不同的厂家，其中合金含量有所不同，如果底材是单一的纯元素，则不需要做底材修正，不能用不同的底材做修正，会造成测量误差。

(7)归一化：主要是用来当前的产品程式修正，使测量结果更精确。仪器在外部条件改变的情况下，软件计算出来的光谱与实际测出的光谱会有一定的差异，这样有时在计算结果时会产生一定的偏差，而通过归一化可消除这种偏差。

第三部分：操作中注意事项

(1)测量的时间的选择：测量时间越长稳定度越好，一般来说单层镀金

不少于15秒，双镀层和合金比例不少于30秒，三镀层不少于45秒，镀液主盐浓度测试时间在30~60秒之间。

(2)样品放置原则：从正面看，X射线荧光接受器在所放置的样品前面，必须正确的放置样品，保证X射线荧光不受干扰的到达探测器。对于表面很平的样品来说，把它放置在测量台上就可以了，但是对于棒状的圆柱形样品来说，放置时应注意使样品在量测台上的纵轴与仪器轴平行。角形和台阶式样品，样品不能挡住X荧光，为了正确量测镀层的厚度，样品直径应大于样品测试面积的4倍。

(3)如果测量结束后，出现“错误”，“无效光谱”“不能测量”时，应检查所测样品的镀层情况是否与所选择的程式是一致的，进行底材修正，测量基准，和归一化

(4)底材修正对于正确测量样品是非常重要的，必需引起高度重视。感想：通过这次培训学习，了解仪器一般情况下常出现的问题，在工作中针对这种常出现的问题该如何去解决，如何正确的放置样品，减小测量误差，另外保养仪器，以及温湿度对仪器的测试结果造成的误差该尽量避免。