丝网烧结炉结构
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冷却区
冷却区采用水冷,给水温度大约在20~25摄氏度范围内。
烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个隔离炉膛, 通过风帘隔离,隔离炉膛防止相邻区域中的过程气体相互混合。
烘干区与烧 结区连接处 的隔离炉膛
烧结区与冷 却区连接处 的隔离炉膛
除了上述三个主要部分外,在炉体头部有上料区,在尾 部有下料区,外加一个单独的冷凝器,冷凝媒介为冷却水。
烧Fra Baidu bibliotek炉培训材料
功能及用途
烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除 浆料中的有质成分、完成铝背场及珊线烧 结。硅片在炉中,上、下两面能同时烧结, 烧结过程如下:
对第三道丝印后硅片表面浆料进行烘干 去除浆料中的有质粘结剂 铝背场及珊线烧结
烧结炉结构
烧结炉总体结构
炉体分为三个部分: 炉体分为三个部分:
1.烘干区 2.烧结区 3.冷却区
烘干区
烘干区包括四个加热区:ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE4, 其中ZONE 4 为对流加热区,位于其它三个温区上部,每个加 热区温度单独可调、加热元件为电热丝,加热温度可设置到 500摄氏度,但过程温度不应超过300摄氏度。
烧结区
烧结区包括六个加热区:ZONE 1、ZONE 2、ZONE 3、ZONE4 、 ZONE 5、ZONE 6,ZONE 1~4 为预烧结区,ZONE 5 和 ZONE 6 为主烧结区,加热元件为近红外线加热管,其中1~4区加 热管功率为1600W,5、6区加热管功率为2700W,每个温区温 度单独可调,1~4温区温度可设置到700摄氏度,5、6温区可 设置到摄氏1050度。
烧结炉的开关机
烧结炉的开关机
开机步骤
1. 慢速开启冷却水主给水阀,给烧结炉供水。通常各管道给水阀和流量 已设定好,勿需调节。 2. 慢速开启压缩空气主阀,炉子提供过程气体,同时给各气缸提供压缩 空 。通常各管道流量已设定好,勿需调节。 3. 将主电源开关拨到“1”,开启主电源。 4. 启动PC,等待机器完成自检和监控程序装入。 5. 将“Drive On”拨到“1”,“Drive PC/Manual”拨到“0”,将 “Heating FF”拨到“ON”,将“Heating HTO”拨到“ON”。 6. 点击启屏幕上“Drive on/off” 收音开关,并按确认收音键,启动 传送带 。 7. 如果有设置好的升温程序,顺序装入,使炉子逐步升温到过程温度。 如果没有,则手动设置,每200度为一阶,逐步升温到过程温度。第 一次装入后,需点击加热收音开关,开始加热 。 8. 根据工艺要求调整工艺参数,只需调整各温区温度和带速设定值。当 过程值达到设定值后,机便处于就绪状态。
烧结炉的开关机
烧结炉的开关机
开机步骤
关机步骤则与关机步骤相反,需注意:当炉温降到100度左右时,方可 将传送带停下。
故障诊断与修复
监控程序几乎可以定位所有故障,当故障发生时,报警系 统会发出声光报警,并可能停炉。可打开“Alarm” 标签,察 看报警信息,判断故障位置,分析故障原因,并排除故障。 常见的故障报警及处理: 空气流量过小或过大,空气压力不稳。提请设施部作解决。 压缩空气中有大量水份和油份,加大流量,排除积累在流量计 中的水份,同时提请设施部设法滤去压缩空气中的水份和油份。 冷凝器排风量过小,开大风门,同时提请设施部加大抽风量。 冷却水温度过高,提请设施降低水温。 HTO过滤器堵塞,用风枪吹洗过滤器。 传送带过长,调整链带长度。 温度超出设定充许范围,检查设定值是否合适,并件适当调整。 加热管烧断,更换加热管。 固态继电器,更换继电器。