太阳能电池专用等离子体刻蚀机

太阳能电池生产设备主要设备

扩散系统

用途:

设备应用于大规模集成电路、分立器件、

光电子器件、电力电子器件、太阳能电池等领域，适用2"～8"硅片退火、氧化、扩散、预沉积等工艺。

主要技术指标

1.可配加工硅片尺寸：3"～8"

2.工作温度范围：400～1300℃

3.恒温区长度及精度：600～

1250℃800mm/±0.5℃

4.单点温度稳定性：600～

1250℃±1℃/6h

5.最大可控升温速度：15℃/min

6.最大降温速度：5℃/min

7.自动送舟

太阳能电池专用等离

子体刻蚀机

用途:

等离子体刻蚀机是采用高频辉

光放电手段，使气体离解成活性原

子和自由基，与被反应物进行反

应，生成挥发性反应物，达到刻蚀

目的。M42200-3/WJ等离子体刻蚀

机主要用于太阳能电池的周边掺

杂硅的刻蚀。具有占地面积小﹑装

片容量大﹑生产效率高等到优点。

同时还具有手动/自动功，除装卸

片手动操作外其余过程实现了全

自动，保证了工艺的

准确性和重复性，大大提高了产品

质量。

主要技术指标

1．刻蚀介质：掺杂硅氮化硅多晶硅

2．刻蚀部位：晶片周边

3．硅片尺寸：Φ210mm圆片或156×156mm方片

4．生产量： >300片/批

5．射频功率： 13.56MHz 100～1000W可调

6．气路系统：五路路浮子流量计或二路质量流量计＋三路浮子流量计

7．抽气系统：机械泵＋节流阀

8．刻蚀周期：＜25分/批

9．控制方式：手动/自动

10．整机功率： 2.5KW

太阳能电池链式烧结炉

用途：

主要用于太阳能电池片的键合烧结，也可用于其它贴片元件的烧结。主要技术指标：

1．最高温度：1000℃

2．工作温度：150℃—950℃

3．控温精度：±3℃/2h（采用日本温控仪）

4．网带宽度：380mm（可根据用户要求改变）

5．炉膛有效高度：10mm（可根据用户要求改变）

6．加热段数：9段（可根据用户要求改变）

7．出口冷却方式：水冷+风冷、风量可调

8．网带速度：1000—5000mm/min 连续可调

9．加热功率：＜100Kw

10.加热方式：近红外灯管加热

11.护功能：有超温、断偶、报警和保护功能

12.温度曲线：按委托方提供的曲线调试

13.网带速度稳定性：优于3%

14.每各温区一路气体，进、出口各一路气体

15.计算机控制

APCVD(常压CVD)

用途:

主要技术指标

1.有效成膜宽度：300mm

2.加热区数量：3个

3.加热区长度:2000mm

3最高加热温度区：700℃

4.温区控制精度：±2℃,

5.送气路数：5路浮子流量计控制（三路恒温源瓶）

6.加热方式：红外加热器加热

7. 网带速度：700—1500mm/min 连续可调

8.成膜均匀性：±5%

快速扩散炉

用途:

该设备主要用于硅片的快速扩散和晶片的快速退火.

主要技术指标:

1.最高温度:1150℃

2.工作温度:500---1100℃

3.升温速度:50℃/S

4.炉膛尺寸:170mmχ35mmχ550mm

5.加热功率:20KW

6.送气路数:三路

7.保护功能:有超温,断偶保护功能

链式烘干炉

用途:

主要用于太阳能电池和厚膜电路丝网印刷后的烘干主要技术指标:

1.最高温度：300℃

2.工作温度：100℃—250℃

3．控温精度：±3℃/2h

4．网带宽度：600mm

5．炉膛有效高度：30mm

6．加热段数：3段

7．出口冷却方式：风冷、风量可调

8．网带速度：200—1500mm/min 连续可调

9．加热功率：＜15Kw

10．加热方式：近红外灯管加热

11．总长度：5000mm

12．炉体长度：3000mm

13．控制方式：手动、自动、具有自动开、关机功能

等离子体粉末纯化系统

用途:该设备主要用于硅体粉末材料等离子提纯和粉体材料的改性.

主要技术指标

1.反应室有效工作尺寸：Φ80×260mm

2.机械泵抽速：80l/s

3.极限真空：10Pa

4.工作真空：30Pa～100Pa 连续可调

5.真空系统：机械泵＋电磁阀＋节流阀＋过

滤器

6.送气路数：二路

7.送气系统：针阀＋浮子流量计＋电磁阀＋

源瓶＋电磁阀

8.送料装置：电动螺旋送料，电机速度可调。

9.真空测量：复式真空计

10.电源：13.56MHz 1000W 或DC2000W

11.放电较均匀