电子厂房洁净室系统

洁净室的定义
洁净室为将一定空间范围内之空气中的微 尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除 ，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力 、气流速度与气流分布、噪音震动及照明 、静电控制在某一需求范围内，而给于特 别设计之房间以符合制程工艺之需求
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洁净等级
每立方呎塵粒數 每立方公尺塵粒數
100,000 10,000 1,000 100 10
PV
HV
LIGHTING
BA
SPEAKER
IW
FFU HARMONIC
MAU&DC BANK&HARMONIC FILTER
HVAC MONITOR
FFU MONITOR
ION. SYS.
FMS
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HJT C/R 主要洁净需求
Cleanliness 0.1
100
1000
10000
Temperature 23±0.5℃ 23±0.5℃ 23±2℃ 23±2℃ Humidity 45±5% RH 45±5% RH 45±5% RH 45±10% RH
Cooling Coil (Step1) Air Washer Eliminator Cooling Coil (Step2) Eliminator Re-heating Coil Chemical Filter Medium-filter (EU8) HEPA (EU12) Steam Humidifier Back-draft Damper
SA
SA
RA
RA
轴流风机系统
(独立设置外气空调箱)
温度控制
洁净度控制
温度控制
SA SHAFT SA SHAFT
VD
VD
MA
湿度控制
架构表及主要系统设备介绍
HJT FAB 8N PROJECT
ELEC
C/R
GAS
CHEMICAL
HVAC
DI
ARCH
P-P
ARCH
EPOXY COATING RAISED FLOOR CEILING GRID SYS. PARTITION AIR SHWOR/AIR LOCK TOOL FOUNDATION VIRBRATION DEFENCE
BA
CDA
COIL
DESMOKE FAN
COIL
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MAU + 空气循环系统
外气空调箱功能
压力之控制 湿度之控制 外气微尘粒之预处理 气态分子之控制
空气循环系统功能
洁净度之控制 溫度之控制 湿度之维持 气态分子之控制
MAU
洁净室热源分布
洁净室系统流程
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外气处理空调箱
Pre-filter (EU3) Medium-filter (EU6) Fan
RA RA
RA RA
P = 30Pa FAB
t = 23 C
P = 25Pa RAP
t = 25 C
RA RA
RA RA
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0.01 ISO1
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Байду номын сангаас
制程线宽与洁净度之关系
預估製程良率 (%)
製程線寬 (um)
0.65 0.50 0.35 0.25 0.18 0.15 0.12 100
90
80
70
60
潔淨度 Class 1
Class 0.1
Class 0.01
50
40
30
20
10
0
公元 1989
1992
1995
1998
电 子 厂洁 净 室 系 统简 介
大纲
为何需要Clean Room
洁净室的定义 洁净等级定义 制程线宽与洁净度之关系
洁净室系统型式
风管系统 FFU系統 轴流风机系统
Clean Room之环境因子
影响C/R洁净度的环境因子
HJT C/R 介紹
架构表及主要系统介绍 Layout 说明 MAU与空气循环系统
HVAC FIRE PROTECTION
MAU SYS. FFU SYS 2’nd CHW DRY COIL AIR WASHER SYS.
FIRE SPRINKLER DESMOKE SYS. ADRANCE DETECTOR SYS. AIR SAMPLING SYS.
CDA
PCW
ELEC/CONTROL
0.5um
00..32uumm
微塵粒徑
0.1um
1
0.1
0.01
英制 100k 10k
1k
100
10
1
0.1
SI制
M6
M5
M4
M3
M2
M1
ISO/TC209 ISO8 ISO7 ISO6 ISO5 ISO4 ISO3 ISO2
1,000,000 100,000 10,000 1,000 100 10 1
轴流风机系统
天花空间为正压气室 独立设置外气空调箱
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风管系统
(循环空调箱兼处理外气)
OA RA DUCT
洁净度、温度及湿度控制
AHU
SA DUCT
RA
RA
SA
SA
SA
FFU系統
(独立设置外气空调箱)
FROM OA
MAU
MA 湿度控制
温度控制
洁净度控制
温度控制
RA SHAFT RA SHAFT
2001
2004
2007
2010 年
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污染物大小
0.3um粒径
人类头发直径-100um
肉眼可视粒径
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影响C/R洁净度之环境因子
温度 湿度 压力 微尘粒子 照度 微振动 噪声 静电 化学物质
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洁净室空调系统型式
风管系统
以风管输送洁净空气 循环空调箱兼处理外气
FFU系統
天花空间为微负压气室 独立设置外气空调箱
OA
MA
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洁净室热源分布
MA
q4 Ta4'
q6 Ta5
Ta1
SAP q5
q3
Ta2
q1
EQUIPMENT
FAB
RA SHAFT
RA Ta4 qc
RA
q2 Ta3
RAP
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洁净室系统流程
DE-SMOKE
MA
MA
Outside
P = -5Pa TRUSS t = 22 C
RA SHAFT RA SHAFT
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电子厂平面配置概念图
FAB 2
CUB SB
FAB 1
OB
WH
回主画面
SUB – FAB（MASK SHOP)
回主画面
RAP
回主画面
FAB、SB3F、G/R
回主画面
TRUSS、SB4F-TEST AREA
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电子厂剖面概念图
DESMOKE FAN
RAISED FLOOR
PV
PCW