卢瑟福背散射谱法

卢瑟福背散射谱法

英文名称：Rutherford back scattering spectroscopy

定义：以兆电子伏特级的高能氢元素离子通过针形电极(探针)以掠射方式射

入试样，大部分离子由于试样原子核的库仑作用产生卢瑟福散射，改变了运

动方向而形成背散射。测量背散射离子的能量、数量，分析试样所含有元素、

含量和晶格的方法。

卢瑟福背散射光谱(RBS)是一种离子散射技术,用于薄膜成份分析。 RBS在量化而不需要参考标准方面是独一无二的。在RBS测量中，高能量(MeV)He+离子指向样品，这样给定角度下背向散射He离子产生的能量及分布情况被记录下来。因为每种元素的背向散射截面已知，就有可能从RBS谱内获得定量深度剖析(薄膜要小于1毫米厚).

1、RBS分析的理想用途

●薄膜组成成份/厚度

●区域浓度测定

●薄膜密度测的（已知厚度）

2、RBS分析的相关产业

●航天航空

●国防

●显示器

●半导体

●通信

3、RBS分析的优势

●非破坏性成分分析

●无标准定量分析

●整个晶圆分析（150, 200, 300 mm）以及非常规大样品

●导体和绝缘体分析

●氢元素测量

4、RBS分析的局限性

●大面积分析（~2 mm）

●有用信息局限于top ~1 μm