净化厂房用组合式空调机组应用指引

净化厂房用组合式空调机组应用指南

（机组特点、设计选用、加工制造、性能测试、维护管理）

一、净化厂房用组合式空调机组的特点

●净化厂房用组合式空调机组一般多为卧式组合式空调机组。

（一）净化厂房的净化空调系统一般有如下特点：

①处理的风量大（一般4000 m3/h~160000 m3/h）。断面尺寸大。

②内部阻力大（一般总阻力超过1000 Pa，可高达2500 Pa）。要求强度高，密封好。

③对空气处理的参数和质量要求高。处理功能段多，空调器长度长。

●有洁净度多级过滤的要求。

●有温度和相对湿度的要求。

●有压差的要求。

●根据生产工艺要求对空气中低浓度化学污染也有一定的要求。

④对处理空气的参数的精度要求高。

●温度精度严格到±0.1~0.5。

●相对湿度精度严格到±3%~5%。

⑤对处理空气的机械露点要求较低10℃~12℃。要求保温性能好，没有冷桥。

⑥新风机组不能停，风机要一用一备。

（二）根据洁净厂房净化空调系统的特点对净化空调机组提出了相应的要求。

①由于净化空调系统的风量大，阻力大等特点。则净化空调机组的体型大；

组合功能较多，长度较长；风机的送风量大，压头高（1500 Pa）；进而要

求机组箱体有足够的强度和刚度；启动和运行时，不应产生较大的永久

变形和破坏；同时要求箱体的密封程度高，漏风率低一般在静压1000 Pa

时漏风率≤1%。

②由于净化空调系统的处理的空气露点比较低（10℃~12℃），比一般民用

空调（15℃）低得多，因此对机组机箱壳体的保温性能高，不产生冷桥

λ）的厚度应≥50 mm：框架内腔也填有保现象。一般保温材料（03

.0

=

温材料，在结构上不存在刚性接触，以消除冷桥现象。

③由于净化空调系统有温度、相对湿度、洁净度、压差以及空气品质等要

求，因此净化空调机组的功能段多，为了保证洁净度，保护系统末端的

高效过滤器，在机组内不仅设有粗效、中效，必要时还要设置亚高效和

高效；为了保证温度和相对湿度，则机组内要设置有降温去湿、加热、

加湿等功能段；为了保证空气中的品质，必要时在机组内还要设淋水段

和化学过滤器段以消除新风中的低浓度的化学污染。

较为典型的新风机组的功能段组合如下：有四级过滤（粗、中、化学、

高），有两级淋水（自来水和纯水）两级表冷，二级加热，一级加湿和风

机段，共有12个功能段。

④由于空调机组用于洁净厂房的净化系统中，因此机组内表面的材料和结

构均应考虑便于清洁处理，内表面光滑，减少凹凸和缝隙而且要求耐水、

耐磨、不生锈。

⑤除上述之外更重要的是要配有相对严格、精密的自动控制系统，才能保

证净化空调系统要求的温湿度精度和压差精度。

⑥对于新风机组而言还有备用问题，除整机备用外，还可能有风机备用的

问题。

⑦为适应过滤器的阻力变化，以节省能量或有效地调节洁净厂房的正压，

风机须采取变频措施。

⑦新风机组有六大功能：

保证室内正压。有足够的新风量。

保证室内相对湿度。两级表冷降温去湿。淋水和喷蒸汽加湿。

消除外气有害的分子成分。淋水加化学过滤器。

保护FFU的ULPA。因此，有五级过滤器。

在北方冬季要有防冻措施。

风机要一用一备。

（三）生物净化系统的净化空调机组的特点

因为生物净化系统研究控制的主要对象是微生物是活的不断生长繁殖的粒子，因此净化空调机组要铲除细菌生长繁殖的条件，切断细菌传播的途径。

对生物净化系统用的净化空调机组除上述7个特点之外还必须增加以下要求：

①净化空调机组的断面风速避免表冷器带水，其断面风速≤2 m/s工业洁净室用空

调机组的断面风速为2.5 m/s。

②为了适应灭菌薰蒸，其机组箱体内表面应耐药物的腐蚀。

③排水顺畅，没有凝水集聚。

④加湿采用蒸汽，不能用淋水、喷雾和湿膜加湿。

二、典型净化空调机组的功能段的组合型式

（一）新风机组（MAU）的功能段组合

①用于微电子前工序的新风机组功能段的组合（16段）

②用于光电子前工序的新风机组功能段的组合（15段）

③典型的洁净室用新风机组功能段组合（12段）

（二）典型净化空调机组（AHU）的功能段组合

（三）典型净化循环机组（RCU）的功能段组合