Q03-JS-01 单晶炉操作规范

生效日期：2006年 4 月25日

1、目的

为正确、规范的操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。

2、适用范围

适用于单晶炉的操作。

3、主要内容

A.单晶的取出（适用于拉晶过程中单晶的取出）

a.作业准备

1)准备好手套、耐高温手套、纸巾。

2)准备好钳子、取单晶的架子。

3)用湿纸巾将炉体从上到下擦拭一遍。

注意事项及原由

4)所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。

5)取单晶前一定要将炉体内彻底擦拭一遍，有利于整体环境，防止交叉污染。

6)彻底清扫炉体时不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏。

b.单晶的取出

1)单晶冷却完毕后，关闭Ar气同时提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所

需高度。

2)待炉内压力到达极限后关闭主室球阀而后关闭真空泵电源之后进行测漏并进行相

应记录。

3)若无异常，充Ar气至常压，盖住翻板，打开液压泵，升起副室(副室为开门结构

的打开副室炉门)。

4)缓慢转动副室至侧面，同时把安全接盘移到炉筒口处。

5)把取单晶的架子放在副室炉筒正下方，准备接单晶。

6)稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入架子内。

7)确认单晶完全入架子内后，按住籽晶，用钳子将籽晶从细径处夹断，将籽晶从重

锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置。

8)将单晶放入中转区，待冷却后将炉号写在单晶上。

注意事项及原由

9)漏气率<0.67Pa/min为正常，否则有关人员处理并报告班长或主任。

生效日期：2006年 4 月25日

10)升副室前必须确认炉内压力正常，翻板必须盖住，防止单晶坠落，缓慢转动副室，

防止单晶与副室内壁碰撞，必须安全接盘移至炉筒口处，防止单晶附落。

11)夹断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳(重锤温度高，不可用

手直接接触)。

12)取籽时应慎重作业，防止损坏籽晶。

13)单晶取出后，必须及时、准确的记录炉号。

B.石墨件的取出（适用于每炉石墨件及埚底料的取出及大清时整个热场的取出）

a.取出导流筒及大盖

1)准备好不锈钢小车。

2)戴好手套、及耐高温手套。

3)按顺序取出导流筒及大盖。

4)取出的石墨件要放在不锈钢台车上。

b.取出埚底料

1)准备好耐高温手套、钳子、不锈钢筒。

2)用钳子夹住石英埚的上端部分提起，使其松动。

3)戴好耐高温手套将石英埚取出，若石英埚体能将埚底料全部带出直接放入不锈钢

筒；若不能则将石英埚、埚底料放到车间指定的区域，剩下的埚底料随三瓣埚一

并取出。若出现闷炉等意外情况则是能随石英埚体一并取出的一并取出，否则，

用耐高温手套、钳子像装料一样取出，直至彻底取出。

注意事项及原由

4)所需物品必须准备齐全，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。

5)取导流筒及大盖时要从炉内向上平移轻拿放小心烫伤人身及衣服，切忌石墨件的

碰撞造成损坏及对成型毡的磕碰，造成成型毡与热电堆孔发生偏移影响欧陆，影

响温度，影响成晶。

6)不锈钢小车上平铺一层石墨板，而且要处于洁净状态，一是为了防止重金属原子

在高温时向石墨件的扩散，进而在拉晶时向单晶内的扩散，影响了单晶的寿命，

二是不洁净的石墨条对石墨件的再次污染。

生效日期：2006年 4 月25日

7)用工具操作时注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身入衣服，切忌将埚

底料不慎从热场的缝隙掉下，这一工序尽量把埚内的料全部取出。

c.三瓣埚、埚底、埚杆的取出

1)带好手套、耐高温手套准备好埚杆板手。

2)依次取出三瓣埚、埚底、埚杆，埚杆从中央孔的位置用埚杆板手取出不锈钢螺栓。

3)取出的石墨件一并放在不锈钢小车上移至适当的位置，自然冷却。

注意事项及原由

4)注意别磕碰坏石墨件，炉内温度高小心烫伤人身及衣服。

5)耐高温手套切忌不要碰到加热器，这样会将耐高温手套的碎屑粘到加热器上。

6)取三瓣埚、埚底时残留的埚底料不要掉入炉底及炉底波纹管内，若出现这样的情

况，一定要设法将其取出，否则会造成下炉液面晃动影响成晶，残留的埚底料一

并取出将其全部倒入不锈钢筒内。

7)取埚杆时不要使埚杆碰到加热器、保温筒等其它石墨件以免造成损坏，取出后要

将埚杆板手从埚杆内取出放到指定的位置保证埚杆板手再次使用仍然处于常温以

防烫伤。

8)不锈钢小车在移动时不要碰到车间其它的物品，以防烫坏或损坏而污染石墨件。

9)操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。

10)出现异常立刻处理，并报告组长或主任，并进行相应记录。

d.埚底料的分类

1)埚底料或事故引起的闷炉料都要将其存在不锈钢筒内移到指定的区域自然冷却。

生效日期：2006年 4 月25日

2)不锈钢筒内的埚底料或事故引起的闷炉料待其冷却后都要将其放入指定料筐指定

区域，并表明原料P、N型及对应的炉号及成晶情况以便为原料的进一步处理提

供方便。

注意事项及原由

3)埚底料应及时存放到指定的区域，避免多个拆炉对埚底料分类记忆不清。

4)一定要把表征埚底料或事故引起的闷炉料所对应的参数表征清楚，目的是再利用

时减少因分离不清而造成单晶参数的不合格。

C.大罐的清理（适用于单晶炉的清扫作业）

a.作业准备

1)准备好毛刷、吸管、专用工具.

2)带好手套、防尘口罩.

注意事项及原由

3)所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。

b.清理大罐

1)用专用工具打开大罐盖，取出过滤网。

2)用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的挥发物。

3)将清扫后的过滤网缓慢放进大罐。

4)用刷子和吸尘器清扫大罐盖。

5)盖好大罐盖并用专用工具上好大罐盖。

注意事项及原由

6)打开在罐前确认真空泵球阀在关闭状态，否则在清理过程中会向炉内返气，造成

炉内污染。