全自动平行光曝光机说明书
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DONGGUAN JUEDING AUTOMATION EQUIPMENT CO.,LTD.
FV-2300
PLC
对位平台
进行定位时，根据相机读取的图像信息，自动计算出定位所需的 XYθ移 动量，然后通过控制一个 3 轴平台的移动，实现对工件进行 XYθ校正， 从而达到精确定位的目的。
3-4-2.对位软件（FAST）
• 气压源阀内是否打开及气压源压力是否4.2kg/cm²以上，压缩空气是否干净，
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东莞市珏鼎自动化设备有限公司
DONGGUAN JUEDING AUTOMATION EQUIPMENT CO.,LTD.
过滤器是否堵塞。
• 冰水阀是否打开。
• 确认排风机是否运转，排风管是否连接妥当，差压式微风开关(Air Flow Switch) 是否在机台排风口处且Teflon 管必须完全插入机台的排风口内。
※ 机器的进出料方向可依据客户的需要而定。默认为左进料，右出料。 1． 进料口高效过滤器。 2． 进料传动。 3． 进料机械手。 4． 进料整列气缸。 5、进料传动电机。 6． 光源机架。 7． 进料口静电枪。 8． 出料口静电枪。 9． 烙板放置平台。
5
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注意：请勿用手直接接触光学元件，安装时灯源室必须同曝光室一样用水 准仪校正机台在长、宽、高等水准，必要时得调整螺丝脚至适当高度，机 台定位后请依序安装下列元件：(1) 冷光镜 (2) 5KW 灯 (3) 折光镜 (4) 拆除光学积光器及平行光镜上的保护包装 (5)气压三点组合等接头。 4-3 场地要求:
钟后会自动将整个电源全部关闭，则系统停止。 4．如只想将灯关闭，则切换到灯源系统画面内按住关灯按钮 1 秒钟关闭灯源， 必须6 分钟后才能再次点灯。
请参考以下画面及说明： 6-1 主画面：(如下图)
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10
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• 在空气保护开关一次侧或二次侧接线、更换灯管、电器元件，做任何修理工 作之前请确定已切断空气保护开关。若在维修中请设立“故障维修中”的标 记和警示装置，以确保维修人员的安全。
• 在曝光室内曝光状态下工作时，请戴上耐UV 的防护面罩和棉手套并穿 长袖衣服。请勿用肉眼直视明亮的高强度 UV 光，否则会引起眼睛伤害，
11
东莞市珏鼎自动化设备有限公司
DONGGUAN JUEDING AUTOMATION EQUIPMENT CO.,LTD.
即使戴上防护面罩亦请勿直视 UV 积光器中的强光，因为其中明亮程度的
注意: 请勿与其他机台共用同一排风系统以免粉尘或化学物质吸入灯源系统 而使其受污染无法使用。
六、点灯操作
1
将机台电源总开关打开则停止开关红灯亮确定有电源进入 2
按启动开关机器启动则停止按钮红灯灭，启动开关绿灯亮 3
1. 检查灯室过滤网马达是否有 ON。 2. 检查抽风马达是否有抽风。 3. 检查灯源冷却马达是否有送风冷却灯。
操作和管理维护简单化。
主要应用于适用于 LCD、CTP、CF、黑膜等多种产品之精密曝光作业。
实际调试设备或发生故障时，除使用本说明书外，请参照配件说明书和软件说明书。 无法完全涵盖非正常操作及临界点时的复杂信息变化等无法预计的状况。 因此本书中未明确记载的内容，原则上可以理解为“不可以”。
※本说明书力求准确无误，但错误之处在所难免，若您发现任何不当和 错误，请联系本公司。
影像定位精度 T/T 气压需求
冰水需求
使用环境 重量
无尘室 温度
设备尺寸
±4um
±4um
不含曝光时间 18S
不含曝光时间 18S
0.5Mpa
0.5Mpa
30L/min 压力 2.5-3Mpa 水 30L/min 压力 2.5-3Mpa 水
温≤15°1 英寸配管
温≤15°1 英寸配管
无尘室等级10000 以下
可见光仍可引起眼睛的不适。请勿将皮肤直接在 UV 光下曝晒，以免引起
皮肤晒伤。
3-2.
曝光室恒温系统
该系统控制冰水温度,通过蒸发器,用风机把冷风送入曝光室中。
3-3.
玻璃进出料部分
进出料机械手采用 YAMAHA 单轴机器人，比传统的气缸更快速，平
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东莞市珏鼎自动化设备有限公司
DONGGUAN JUEDING AUTOMATION EQUIPMENT CO.,LTD.
1
东莞市珏鼎自动化设备有限公司
DONGGUAN JUEDING AUTOMATION EQUIPMENT CO.,LTD.
目
录
一、 概要 二、 规格 三、 系统配置 四、 安装 五、 开机前检查 六、 点灯操作 七、 曝光机调试步骤 八、 自动运行 九、 手动画面说明和设置说明 十、 参数 十一、 维护与保养及日常点检 十二、 注意事项 十三、 常见故障及修理方法 十四、 电气元件资料附件
• 在更换或接触任何灯源系统的元件时，请先洗净双手，戴上干净的细麻布手 套、棉手套、PE 手套或橡皮手套，若不慎接触到光学元件的表面，请用无尘 布沾上清洁液(20%乙醇+80%DI 水)清洁其表面。
2. 灯源系统和点灯系统：主要包括高精度5kw 灯源供应器和自动点灯和三维调整台。 3. 365nm 紫外光学系统：主要有精密光学平行5KW 汞氙灯、集光器、冷光镜、光学
• 场地高度需比机台总高度搞出200mm 以上。 • 墙壁与机台之间的距离需保持在600mm 以上，利于散热及维修
4-4 电气需求:
• 电力电压源为 AC380V, 3ф ，50HZ，10.0KVA，25A。 • 接线确认，接线为红、白、黑接三相电源线，接地为第三种接地100Ω以下。
五、开机前检查
• 空气保护开关是否打开。
2
一、概要
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DONGGUAN JUEDING AUTOMATION EQUIPMENT CO.,LTD.
前言
该系统采用进口平行光源、进出料机械手、进出料传输段、平台接板整
列机构、自动升降机构、自动图像定位系统，使该机实现全自动套刻曝光
作业。全中文操作系统，友好的操作界面，I/O 监控，报警查看，使设备的
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全自动平行光曝光机
使用说明书
东莞市珏鼎自动化设备有限公司
地址 ：广东省东莞市东城区光明新村 69 号 电话 :0769-23227860 传 真 :0769-23227861 E-mail:3167695060@163.com
滑的加减速，可实现快速平稳的搬运，速度曲线如下： 搬运玻璃时
速度
300 加速度
减速度
时间 目标位置
机械手空载运行。
速度 350
加速度
减速度
时间 目标位置
注
意：进出料机械手在运动的时候请不要碰触机械手！否则会造成
伤害事故！
3-4. 全自动图像定位系统。
3-4-1.对位系统构成
显示器
相机镜头
13
东莞市珏鼎自动化设备有限公司
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相机角度不限,支持多种平台,强大的自动校正功能,Mark 点搜索方式 自动校正功能可以计算每台相机与平台的相对位置，包括相机、中心点、 相机与平台的角度、相机解析度（mm/像素）、平台的旋转中心点等参数。 定位时，FV-aligner 利用校正参数作演算从而执行精密定位。
积光器，平行光镜。 4. 冷却气压系统：此系统为独立系统为设备提供稳定的冷却和恒定的正压空气。 5. 曝光作业系统：此系统有无杆汽缸开合机构和由电气控制的能量和时间曝光系统。 曝光作业系统包含触控式人机界面、PLC 软体和电控设计。
注意：机器所有光学元件，尽可能不要清洁，以免损坏光学系统。如有小面积 污渍可以按照上述要求小心清洁。
• 当灯在操作状态,在灯源室内进行维修工作时，必须戴上耐 UV 防护面罩，耐 热手套和耐UV 工衣以保护维修人员。5KW 的汞氙灯是一种高压灯，在握持搬 运中必须特别小心，若掉落或破裂会产生外爆力，石英玻璃碎片若飞溅人体 会引起人员伤害。
• 请绝对不要用手接触灯的玻璃部分，因为接触的指纹或斑点会产生热点“HOT SPOTS”引起玻璃老化，严重时会导致灯管爆裂。
1. 灯源操作画面：按下此按钮将跳至灯源操作画面。
2. 曝光操作画面：按下此按钮将跳至能量曝光工作画面。 3. 手动操作画面：按下此按钮将跳至各组件手动操作画面。 4. 参数设定画面：按下此按钮将跳至参数设定画面。
4 点灯
1. 请按至灯源系统画面，准备点灯。
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2. 请按住点灯按钮2 秒钟，灯源将点起。 5
1． 切换到倍率画面调整倍率。 2． 切换到曝光操作画面设定所需的能量和曝光时间。 3． 如到休息时间可按红灯停止按钮，开始将会灯源关闭，等到灯头冷却 6 分
10． 玻璃整列气缸。 11． 对位平台。 12． 平台升降电动缸。 13． CCD 光源。 14． 出料口高效过滤器。 15． 三色灯。 16． 操作界面。 17． FAST 对位系统操作界面。 18． 出料口传动。 19． 出料机械手（YAMAHA 单轴机器人+气缸）。
2-2-2．光源系统。
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2-2-3．外形尺寸
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机架尺寸
光源尺寸
8
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无尘室等级10000 以下
22±1°C
22±1°C
2000KG
2000KG
长：2380mm 宽：2100mm 高：2200mm
长：2380mm 宽：2100mm 高：2200mm
Hale Waihona Puke Baidu
2-2.机器各部分名称机功能 2-2-1．控制系统及功能简要说明
4
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EX525-AU01
5KW
AC380V 400mm×500mm 420mm×520mm ≥92% ≤1° ≥28 mw/cm^2 320nm-450nm 365nm USHIO ≥1500h 滚筒+机械手 ±0.02mm 有
EX825-AU01
8KW
AC380V 400mm×500mm 420mm×520mm ≥92% ≤1° ≥45 mw/cm^2 320nm-450nm 365nm USHIO ≥1500h 滚筒+机械手 ±0.02mm 有
三、 系统配置
曝光机系统配置图
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3-1.平行光源系统
1. 光源系统电气硬件配置图：
一般安全预防措施(请先详读)
为了确保作业人员及保养人员的安全和防止机器以外受损，本机设计有许多安 全防护设置,在使用中必须遵守以下安全防护措施:
四、安装
4-1 搬运要求: • 搬运前小心拆装，避免机器损坏。
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• 搬运途中避免碰撞。
• 到达定位后需重新调整机台的水平度。 4-2 零组件组立:
机台定位后请检查所有光学元件是否正常，所有部件是否紧固。
二、规格
3
2-1.基本规格
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设备型号 光源功率 电压 基板尺寸 光照面积 光照均匀性 平行半角 光强（mw/cm^2） 发光波长（nm） 管理波长（nm） 光源品牌 灯管寿命 基板进出方式 基板整列精度 恒温曝光功能
FV-2300
PLC
对位平台
进行定位时，根据相机读取的图像信息，自动计算出定位所需的 XYθ移 动量，然后通过控制一个 3 轴平台的移动，实现对工件进行 XYθ校正， 从而达到精确定位的目的。
3-4-2.对位软件（FAST）
• 气压源阀内是否打开及气压源压力是否4.2kg/cm²以上，压缩空气是否干净，
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过滤器是否堵塞。
• 冰水阀是否打开。
• 确认排风机是否运转，排风管是否连接妥当，差压式微风开关(Air Flow Switch) 是否在机台排风口处且Teflon 管必须完全插入机台的排风口内。
※ 机器的进出料方向可依据客户的需要而定。默认为左进料，右出料。 1． 进料口高效过滤器。 2． 进料传动。 3． 进料机械手。 4． 进料整列气缸。 5、进料传动电机。 6． 光源机架。 7． 进料口静电枪。 8． 出料口静电枪。 9． 烙板放置平台。
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注意：请勿用手直接接触光学元件，安装时灯源室必须同曝光室一样用水 准仪校正机台在长、宽、高等水准，必要时得调整螺丝脚至适当高度，机 台定位后请依序安装下列元件：(1) 冷光镜 (2) 5KW 灯 (3) 折光镜 (4) 拆除光学积光器及平行光镜上的保护包装 (5)气压三点组合等接头。 4-3 场地要求:
钟后会自动将整个电源全部关闭，则系统停止。 4．如只想将灯关闭，则切换到灯源系统画面内按住关灯按钮 1 秒钟关闭灯源， 必须6 分钟后才能再次点灯。
请参考以下画面及说明： 6-1 主画面：(如下图)
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10
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• 在空气保护开关一次侧或二次侧接线、更换灯管、电器元件，做任何修理工 作之前请确定已切断空气保护开关。若在维修中请设立“故障维修中”的标 记和警示装置，以确保维修人员的安全。
• 在曝光室内曝光状态下工作时，请戴上耐UV 的防护面罩和棉手套并穿 长袖衣服。请勿用肉眼直视明亮的高强度 UV 光，否则会引起眼睛伤害，
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即使戴上防护面罩亦请勿直视 UV 积光器中的强光，因为其中明亮程度的
注意: 请勿与其他机台共用同一排风系统以免粉尘或化学物质吸入灯源系统 而使其受污染无法使用。
六、点灯操作
1
将机台电源总开关打开则停止开关红灯亮确定有电源进入 2
按启动开关机器启动则停止按钮红灯灭，启动开关绿灯亮 3
1. 检查灯室过滤网马达是否有 ON。 2. 检查抽风马达是否有抽风。 3. 检查灯源冷却马达是否有送风冷却灯。
操作和管理维护简单化。
主要应用于适用于 LCD、CTP、CF、黑膜等多种产品之精密曝光作业。
实际调试设备或发生故障时，除使用本说明书外，请参照配件说明书和软件说明书。 无法完全涵盖非正常操作及临界点时的复杂信息变化等无法预计的状况。 因此本书中未明确记载的内容，原则上可以理解为“不可以”。
※本说明书力求准确无误，但错误之处在所难免，若您发现任何不当和 错误，请联系本公司。
影像定位精度 T/T 气压需求
冰水需求
使用环境 重量
无尘室 温度
设备尺寸
±4um
±4um
不含曝光时间 18S
不含曝光时间 18S
0.5Mpa
0.5Mpa
30L/min 压力 2.5-3Mpa 水 30L/min 压力 2.5-3Mpa 水
温≤15°1 英寸配管
温≤15°1 英寸配管
无尘室等级10000 以下
可见光仍可引起眼睛的不适。请勿将皮肤直接在 UV 光下曝晒，以免引起
皮肤晒伤。
3-2.
曝光室恒温系统
该系统控制冰水温度,通过蒸发器,用风机把冷风送入曝光室中。
3-3.
玻璃进出料部分
进出料机械手采用 YAMAHA 单轴机器人，比传统的气缸更快速，平
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目
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一、 概要 二、 规格 三、 系统配置 四、 安装 五、 开机前检查 六、 点灯操作 七、 曝光机调试步骤 八、 自动运行 九、 手动画面说明和设置说明 十、 参数 十一、 维护与保养及日常点检 十二、 注意事项 十三、 常见故障及修理方法 十四、 电气元件资料附件
• 在更换或接触任何灯源系统的元件时，请先洗净双手，戴上干净的细麻布手 套、棉手套、PE 手套或橡皮手套，若不慎接触到光学元件的表面，请用无尘 布沾上清洁液(20%乙醇+80%DI 水)清洁其表面。
2. 灯源系统和点灯系统：主要包括高精度5kw 灯源供应器和自动点灯和三维调整台。 3. 365nm 紫外光学系统：主要有精密光学平行5KW 汞氙灯、集光器、冷光镜、光学
• 场地高度需比机台总高度搞出200mm 以上。 • 墙壁与机台之间的距离需保持在600mm 以上，利于散热及维修
4-4 电气需求:
• 电力电压源为 AC380V, 3ф ，50HZ，10.0KVA，25A。 • 接线确认，接线为红、白、黑接三相电源线，接地为第三种接地100Ω以下。
五、开机前检查
• 空气保护开关是否打开。
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一、概要
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前言
该系统采用进口平行光源、进出料机械手、进出料传输段、平台接板整
列机构、自动升降机构、自动图像定位系统，使该机实现全自动套刻曝光
作业。全中文操作系统，友好的操作界面，I/O 监控，报警查看，使设备的
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全自动平行光曝光机
使用说明书
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地址 ：广东省东莞市东城区光明新村 69 号 电话 :0769-23227860 传 真 :0769-23227861 E-mail:3167695060@163.com
滑的加减速，可实现快速平稳的搬运，速度曲线如下： 搬运玻璃时
速度
300 加速度
减速度
时间 目标位置
机械手空载运行。
速度 350
加速度
减速度
时间 目标位置
注
意：进出料机械手在运动的时候请不要碰触机械手！否则会造成
伤害事故！
3-4. 全自动图像定位系统。
3-4-1.对位系统构成
显示器
相机镜头
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相机角度不限,支持多种平台,强大的自动校正功能,Mark 点搜索方式 自动校正功能可以计算每台相机与平台的相对位置，包括相机、中心点、 相机与平台的角度、相机解析度（mm/像素）、平台的旋转中心点等参数。 定位时，FV-aligner 利用校正参数作演算从而执行精密定位。
积光器，平行光镜。 4. 冷却气压系统：此系统为独立系统为设备提供稳定的冷却和恒定的正压空气。 5. 曝光作业系统：此系统有无杆汽缸开合机构和由电气控制的能量和时间曝光系统。 曝光作业系统包含触控式人机界面、PLC 软体和电控设计。
注意：机器所有光学元件，尽可能不要清洁，以免损坏光学系统。如有小面积 污渍可以按照上述要求小心清洁。
• 当灯在操作状态,在灯源室内进行维修工作时，必须戴上耐 UV 防护面罩，耐 热手套和耐UV 工衣以保护维修人员。5KW 的汞氙灯是一种高压灯，在握持搬 运中必须特别小心，若掉落或破裂会产生外爆力，石英玻璃碎片若飞溅人体 会引起人员伤害。
• 请绝对不要用手接触灯的玻璃部分，因为接触的指纹或斑点会产生热点“HOT SPOTS”引起玻璃老化，严重时会导致灯管爆裂。
1. 灯源操作画面：按下此按钮将跳至灯源操作画面。
2. 曝光操作画面：按下此按钮将跳至能量曝光工作画面。 3. 手动操作画面：按下此按钮将跳至各组件手动操作画面。 4. 参数设定画面：按下此按钮将跳至参数设定画面。
4 点灯
1. 请按至灯源系统画面，准备点灯。
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2. 请按住点灯按钮2 秒钟，灯源将点起。 5
1． 切换到倍率画面调整倍率。 2． 切换到曝光操作画面设定所需的能量和曝光时间。 3． 如到休息时间可按红灯停止按钮，开始将会灯源关闭，等到灯头冷却 6 分
10． 玻璃整列气缸。 11． 对位平台。 12． 平台升降电动缸。 13． CCD 光源。 14． 出料口高效过滤器。 15． 三色灯。 16． 操作界面。 17． FAST 对位系统操作界面。 18． 出料口传动。 19． 出料机械手（YAMAHA 单轴机器人+气缸）。
2-2-2．光源系统。
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无尘室等级10000 以下
22±1°C
22±1°C
2000KG
2000KG
长：2380mm 宽：2100mm 高：2200mm
长：2380mm 宽：2100mm 高：2200mm
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2-2.机器各部分名称机功能 2-2-1．控制系统及功能简要说明
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EX525-AU01
5KW
AC380V 400mm×500mm 420mm×520mm ≥92% ≤1° ≥28 mw/cm^2 320nm-450nm 365nm USHIO ≥1500h 滚筒+机械手 ±0.02mm 有
EX825-AU01
8KW
AC380V 400mm×500mm 420mm×520mm ≥92% ≤1° ≥45 mw/cm^2 320nm-450nm 365nm USHIO ≥1500h 滚筒+机械手 ±0.02mm 有
三、 系统配置
曝光机系统配置图
9
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3-1.平行光源系统
1. 光源系统电气硬件配置图：
一般安全预防措施(请先详读)
为了确保作业人员及保养人员的安全和防止机器以外受损，本机设计有许多安 全防护设置,在使用中必须遵守以下安全防护措施:
四、安装
4-1 搬运要求: • 搬运前小心拆装，避免机器损坏。
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• 搬运途中避免碰撞。
• 到达定位后需重新调整机台的水平度。 4-2 零组件组立:
机台定位后请检查所有光学元件是否正常，所有部件是否紧固。
二、规格
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2-1.基本规格
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设备型号 光源功率 电压 基板尺寸 光照面积 光照均匀性 平行半角 光强（mw/cm^2） 发光波长（nm） 管理波长（nm） 光源品牌 灯管寿命 基板进出方式 基板整列精度 恒温曝光功能