内层蚀刻制程讲义
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槽名项目浓度温度压力添加方式分析频率换槽频率显影Na2CO3 1.0±0.2%30±2℃ 1.5±0.5Kg/cm2分析添加1次/班1次/班
蚀刻比重
Cu2+
H+
ORP
1.29-1.36
130-180g/L
2-3N
450-550mv
50±2℃
上喷
2-.2.2Kg/cm2
下喷
1.8-
2.0 Kg/cm2
自动添加1次/班/
剥膜NaOH5±2%50±2℃ 1.5±0.5Kg/cm2分析添加1次/班1次/班
Hmin =
Hmax
(W1-W2) ×10
2.54 ×2 ×长×宽×8.93 ×t
流失铜厚
时间(min)
2H A-B
The End