蔡司场发射优势

蔡司热场扫描电镜技术优势

世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：

y第一台静电式透射电镜 (1949)

y第一台商业化扫描电镜 (1965)

y第一台数字化扫描电镜(1985)

y第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992)

y第一台场发射扫描电镜(1990)

y第一台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜(2003)

y第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)

ZEISS 场发射扫描电镜特点

ZEISS 电镜为肖特基（Schottky）热场发射扫描电镜主要有如下特点：1，电子束噪声较小，<1%。

2，束流稳定度高，优于0.2%/h，适宜于长时间的各种精确分析。

上述两项指标其它厂家均未给出。在理论上其他厂家比蔡司要差一个数量级。

3，同级别最高分辨率。GEMINI镜筒--ZEISS场发射电镜由于其独特的镜筒设计（GEMINI镜筒），具有无以伦比的成像能力,无交叉光路设计,无Boersch（柏旭） 效应,大景深，分辨率高。

传统镜筒：右图

在交叉点有 Boersch 效应

电离量大

镜筒变得很长

对恶劣环境敏感

Gemini 镜筒没有交叉点，Gemini 提供一个

超短的光学系统，最重要的是没有亮度损失！

特点

¾高稳定热场发射电子枪（FEG）

变化 < 0.5 % / h

¾低电子束噪声 1 %

¾无交叉电子束路径

无 Boersch 效应,

大景深

4，低电压技术一直以来代表电镜的最高制造水平，ZEISS场发射电镜具有极好的低加速电压性能，采用 Beam booster （电子束推进器，蔡司专利） 确保在整个低电压 范围的极好图像分辨率，加速电压可低至20V，且在20V时具有较高的分辨率，从低电压低至20V至高电压30KV无需切换模式，其他厂家需要重新调整切换模式 。且最低电压只能做到100V。

5，超大样品室、全部坐标马达驱动样品台及较大的移动范围，为使用提供了极大的方便。

6，抽屉式样品室拉门，方便样品更换及大样品、形状复杂样品的观察。而冷场扫描电镜由于要求的真空度较高，不宜破坏样品室的真空，一般用“样品交换气锁”来更换样品，操作麻烦，且进出样品的尺寸、形状受限。

7，真空系统全自动控制，不需人工干预。

8，独特的环形In-lens二次电子探测器，其信噪比更高，动态范围更好，并且探测器材料不存在老化效应。探测效率高、圆周对称。而其它厂家的In-lens探测器安装在一侧，且结构复杂。只能吸收到部分二次电子。

9， ZEISS专利的VP技术，增强型可变压力二次电子探测器（VPSE)，压力范围2～133Pa。冷场发射电镜一般没有可变压力（低真空）工作方式。可观察药品，生物等全部非导电样品。高真空(HV)和可变压力(VP)方式之间简单的点击选择

10，采用电磁、静电复合式物镜，无漏磁设计，杂散磁场小，可对铁磁体样品进行高分辨率成像。

复合磁/静电物镜的原理和它的等效光学示意图在样品上无磁场!!在所有 kV

保持不变!

11，末级光栏采用多孔光栏结构，用电磁方式进行更换和对中调整，操作方便。镜筒上无需用户调整的部件。

12，德国制造，设计先进，工艺考究。圆形、高刚性、厚壁、整体结构大样品室，5轴马达台，整机四块电路板维护简单结构稳定、防震、防磁。物镜、分子泵、电路板散热器件均用水冷，冷却水恒温，大大增强了稳定性、可靠性和可重复性。