光刻胶MSDS-东进

○ 应停留在上风处。 ○ 避免停留在低洼处。 ○ 出入密闭空间以前应进行通风。 ○ 不得向大气环境排放。 ○ 应注意避免排放到河流等，以防污染环境。 消除方法： ○ 迅速切断所有火源(禁止附近吸烟或有火花、火焰)。 ○ 防止流入排水口、下水道、地下室或封闭场所。 ○ 在地面形成很滑或易滑表面，需完全清除。
吸入： ○ 患者移到通风新鲜空气处，逾期保持呼吸畅通姿势休息。 ○ 就医接受诊疗。
食入： ○ 漱口。 ○ 就医接受诊疗。
第五部分 消防措施
危险特征： 通常条件下稳定 有害燃烧产物：不会产生危险的聚合反应 灭火方法及灭火剂：
○ 灭火方法：窒息灭火 ○ 适用灭火剂：粉末灭火剂、二氧化碳、洒水、一般泡沫灭火剂、洒水、水喷雾、一般泡沫灭火
物质安全资料表 MSDS
第一部分 化学品及企业标识
化学品中文名称： DSP-B10
化学品俗名或商品名： DSP-B10
化学品英文名称： DSP-B10
企业名称：(株)东进世美肯
地址： 京幾道华城市杨甘面寥塘里 625-3
邮编：445-935
电子邮件：jge@
传真：+82-31-353-2200
亚急性和慢性毒性： 刺激性：未分类
○ 腐蚀皮肤或刺激性：未分类. • PGMEA：兔子:无刺激性(IUCLID) • Novolac Resin：无资料 • PAC：无资料
○ 眼睛受伤严重或刺激性：未分类. • PGMEA：兔子：弱刺激性 (IUCLID) – 未分类. • Novolac Resin：无资料 • PAC：无资料
生物降解性： ○ PGMEA：log Kow = 0.36, 28 天后 99 %(DOC), 87 % (BOD) (GLP) (HSDB) ○ Novolac Resin：无资料 ○ PAC：无资料
非生物降解性：无资料 生物富集或生物积累性：
○ PGMEA：易分解性(OECD TG 301), Log Pow = 0.36(25°C) ○ Novolac Resin：无资料 ○ PAC：无资料 其他有害作用：无资料
混合物
浓度 80~90% 5~15% <5%
CAS No. 108-65-6 9003-35-4 107761-81-9 ※ 该内容属经营机密，请做好保密工作。
第三部分 危险性概述
危险性类别： ○ 可燃性液体:区分 3 ○ 特定标的器官毒性物质(1 次暴露):区分 2 ○ 特定标的器官毒性物质(反复暴露):区分 2
E2010-6021-O 第 1／9页
燃爆危险： 加热后容器可能会出现爆炸。
第四部分 急救措施
皮肤接触： ○ 脱掉污染的衣服和鞋子，再次使用前需洗净。 ○ 迅速清洗皮肤。 ○ 用大量水和肥皂洗净。 ○ 就医接受诊疗。 ○ 污染的衣服应洗净后再穿。
眼睛接触： ○ 用流动清水至少清洗 20 分钟以上。 ○ 佩戴隐形眼镜的，如能轻易取出应立即取出。 ○ 就医接受诊疗。
眼睛防护： • 为了从飞溅物、有害液体中保护眼睛，应佩戴可与防护眼镜一起使用的面罩。 • 应在距离现场不远处安装洗漱设备和紧急洗涤设备（淋浴式）。
身体防护： 可能直接接触的，应穿戴非渗透性防护服。 手部防护：可能直接接触的，应佩戴非渗透性防护手套。 其他防护：无资料
第九部分 理化特性
外观与性状 ：黑红色粘性液体
引燃温度（℃）： 无资料
爆炸上限％（V/V）：7.0vol%
爆炸下限％（V/V）：1.5vol%,
溶解性：无资料
主要用途： 半导体及 TFT-LCD 制作中 Pattern 形成工序使用的 Positive Photoresist.
其他理化性质：无资料
E2010-6021-O 第 4／9页
第十部分 稳定性和反应性
– 应采用中和、氧化、还原、聚合、缩合反应处置，或用凝聚、沉淀、过滤、脱水方法
重新处理后，焚烧残余物。
废弃注意事项：
○ 排放工厂废物的业主（工厂废物排放者）应自行处理工厂产生的废物，或委托废物处理单位、 再生处理他人废物的单位、安装经营废物处理设施的单位进行处理。
○ 应遵守废物管理法规定。
第十四部分 运输信息
E2010-6021-O 第 7／9页
○ 持久性有机污染物管理法：非限制对象 ○ EU 分类信息
• 确定分类结果 - PGMEA：R10, Xi; R36 - Novolac Resin：未分类 - PAC：未分类
• 危险语句 - PGMEA：R10, R36 - Novolac Resin：无资料 - PAC：无资料
稳定性： 通常条件下稳定 禁配物： 强氧化剂 避免接触的条件：热、火花、火焰等火源 聚合物： 不会产生危险的聚合反应 分解产物： 一氧化碳、二氧化碳、氮氧化物、硫氧化物
第十一部分 毒理学信息
急性毒性： • 口服：未分类. (ATEmix>5000mg/kg) - PGMEA：LD50>5000 mg/kg (rat) (OECD SIDS) - Novolac Resin：LD50>5000 mg/kg (rat) (NLM) - PAC：无资料 • 注射：未分类. (ATEmix>5000mg/kg) - PGMEA：LD50>5000 mg/kg (rabbit) (OECD SIDS, IUCLID, NLM) - Novolac Resin：LD50>2000 mg/kg (rat) (NLM) - PAC：无资料 • 吸入：无资料
第十三部分 废弃处置
E2010-6021-O 第 6／9页
废弃物性质：
危险废物
工业固体废物
废弃处置方法：
○ 混有 2 种以上指定废物较难分类处置的，可用焚烧或类似方法减量化、稳定化处置。
• 油水可分离的应按油水分离法事先处理。
• 焚烧处理。
– 用蒸发、浓缩方法处理后，焚烧残余物。
– 用分类、蒸馏、提取、过滤方法精炼后，焚烧残余物。
• 安全（预防措施）语句 - PGMEA：S2, S25 - Novolac Resin：无资料 - PAC：无资料
○ 美国管理信息 • OSHA 规定(29CFR1910.119)：非限制对象 • CERCLA 103 规定(40CFR302.4)：非限制对象 • EPCRA 302 规定(40CFR355.30)：非限制对象 • EPCRA 304 规定(40CFR355.40)：非限制对象 • EPCRA 313 规定(40CFR372.65)：非限制对象
储存注意事项： ○ 保管场所的墙壁、柱子、地面应采用耐火结构，且使用阻燃材料。 ○ 保管场所屋顶应使用阻燃材料，且用非金属板材的轻型阻燃材料装修内部，不得有天顶。 ○ 保管场所地面应采用防水结构，防止浸水或渗水。 ○ 保管场所地面应采用非渗透性结构，设计适当斜坡以便收集。 ○ 保管场所应配备采光、照明及通风设施，以便存储或操作危险品。 ○ 应与热、火花、火焰等火源隔离保管－禁烟。 ○ 应从氧化剂隔离保管。 ○ 容器应避免阳光直射或火具。 ○ 容器应密闭置于通风、阴凉处。 ○ 应上锁保管。 ○ 容器包装材料：使用法规规定容器。
剂. 灭火注意事项： 禁止使用自来水
第六部分 泄漏应急处理
应急处理： ○ 不得触摸泄漏物或在其内容起动。 ○ 立即全方位隔离适当距离作为泄漏区域。 ○ 除相关人士以外禁止出入。 ○ 工作人员应穿戴合适防护用具(见 8.防泄漏及防护用具内容)，避免接触眼睛、皮肤或吸入。
E2010-6021-O 第 2／9页
E2010-6021-O 第 3／9页
第八部分 接触控制/个体防护
最高容许温度：无资料 监测方法：无资料 工程控制：
○ 业主应对气体、蒸汽、雾、烟或粉尘飞散的工作车间安装抑制气体等飞散的设备，或安装密闭 气体等飞散源的设备，或安装局部通风设备或整体通钢换气设备，保障空气中所含浓度不至危 害健康。
呼吸系统防护： • 使用频率高或暴露严重情况下需要佩戴呼吸用防护用具。 • 空气呼吸器已从最低浓度分类至最高浓度，使用前需考虑警告特征。 - 带有有机蒸汽药筒的呼吸器防护用具 - 带有防护面罩和有机蒸汽药筒的呼吸器防护用具 - 带有防护面罩和有机蒸汽过滤用吸收筒的呼吸器防护用具 •未知浓度或其它危及生命或健康的情况 - 带有防护面罩且排放和供应分离的正压供气式呼吸器防护用具 - 带有防护面罩的自给式呼吸器防护用具
致敏性： ○ 呼吸道过敏性：无资料 ○ 皮肤过敏性：未分类 • PGMEA：天竺鼠/maximization test (GLP)：无过敏 • Novolac Resin：无资料 • PAC：无资料
E2010-6021-O 第 5／9页
致突变性：未分类 • PGMEA：in vitro：negative, Ames test, Salmonella typhimurium (GLP) (IUCLID) • Novolac Resin：无资料 • PAC：无资料
危险货物编号：
UN 编号(UN Code)：1866
包装标签：Class 3
包装类别：III
包装方法：
运输注意事项：
○ 火灾时应急措施种类：F-E
○ 泄漏时应急措施种类：S-E
○ 其它运输注意事项
• 运输前应检查确保容器没有损坏、腐蚀、泄漏等。
• 危险品堆垛应保证该危险品不至滚落或装载该危险品的搬运容器掉落、颠倒或损坏。
侵入途径： ○ (呼吸道)：吸入后可引起过敏反应、哮喘或呼吸困难，可刺激呼吸系统。 ○ (经口)：无资料 ○ (眼睛、皮肤)：对皮肤有刺激，入眼后引发严重刺激或可引起过敏性皮肤反应。
健康危害： ○ 吸入或皮肤接触后可引发刺激及过敏反应。 ○ 暴露在产品中，可能会影响生育能力、对胎儿造成有害影响。
环境危害：无资料
其 他：无资料
第十二部分 生态学信息
生态毒性： ○ PGMEA： • 鱼类：LC50 (96 hr)=161 mg/L Pimephales promelas (GLP) (IUCLID) • 甲壳类：EC50 (48 hr) = 370 mg/L Daphnia magna (NITE) • 藻类：EC50 (72 hr)>1,000 mg/L Selenastrum capricornutum (OECD SIDS) ○ Novolac Resin：无资料 ○ PAC：无资料
• 移动中应防止出现颠倒、冲击、摩擦、压坏、泄漏等。
• 运输中应避免阳光直射，且避免装载后发生容器损坏、腐蚀、泄漏，应采取措施防装载货物 崩溃。
• 运输中因事故等发生灾害的，应迅速通知消防机构及其它相关机构。
第十五部分 法规信息
法规信息： A. 劳动安全卫生法规定：非限制对象 B. 有害化学物质管理法规定：非限制对象 C. 危险品安全管理法规定：第 4 类第 2 石油类 (非水溶性液体) D. 危险废物管理法：指定废物的废有机溶剂 E. 其它国内/国外法律规定
第七部分 操作处置与储存
操作注意事项： ○ 实施「8.防泄漏及个人防护用具」中记述的设备对策，穿戴防护用具。 ○ 实施「8.防泄漏及个人防护用具」中记述的局部通风、整体通风排气。 ○ 使用前需熟悉掌握使用说明书。 ○ 阅读并理解所有安全注意事项以前不得操作。 ○ 禁止在周边使用高温物品、火花、火具。 ○ 不得颠倒容器或掉落、施加冲击、拖拽。 ○ 不得接触、吸入或吞食。 ○ 应实施排气通风。 ○ 操作后应彻底洗净手。 ○ 污染的工作服不得带出工作现场。 ○ 仅限室外或通风处使用
致畸性：未分类 • PGMEA：在所有容量中均无致畸证据。(RAT, Male) (OECD SIDS) • Novolac Resin：无资料 • PAC：无资料 致癌性：未分类
IARC
Hale Waihona Puke NTPACGHIPGMEA
未规定
未规定
未规定
Novolac Resin
未规定
未规定
未规定
PAC
未规定
未规定
未规定
企业应急电话(☎)：+82-31-8055-2505
技术说明书编码：
生效日期：2015 年 10 月 20 日
国家应急电话：+82-31-8055-2505
第二部分 成分/组成信息
纯品 化学品名称：DSP-B10 有害物成分 2-methoxy-1-methylethyl acetate NOVOLAC RESIN PAC
pH 值： 无资料
熔点（℃）： 无资料
相对密度（水=1）： 无资料
沸点（℃）：>146℃
相对蒸汽密度（空气=1）： 无资料
饱和蒸汽压（kPa）：0.5 kPa(20℃)
燃烧热（kJ/mol）： 无资料
临界温度（℃）： 无资料
临界压力（MPa）：无资料
辛醇/水分配系数的对数值：无资料
闪点（℃）：>42℃