环境管理规范与标准

3.13 洁净室(Clean Room) 气流方式 种 类 气流方式
hepa filter 天花
洁净度
特 征
Fra Baidu bibliotek
垂直流式 排气口
天花
CLASS 对Room全体高洁净度有 1,000 益，温湿度管理容易。 费用多。
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环境管理规范与标准
1.目的
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A/0 2011-4-30
本标准的目的为我司制造LINE及周遍设施创造舒畅的作业环境，管理洁净度及温/湿度，压力等，使得品质 向上与安定制的生产维持。 2.范围
本标准适用于我司生产LINE，生产关联的LINE，设备、设施的环境管理及附属装置的管理程序与对整顿方法的规定。
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环境管理规范与标准
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A/0 2011-4-30
是表示空气（物体）的 hot（高）或cool凉（低）的程度，物体带有的热量水准通常用摄氏温度 （℃），华氏温度（℉）来区分，适用基准是用摄氏温度℃来表示。 3.10 湿度 (Humidity) 是表示大气中所含有的水蒸气的量，用百分比(%)来表示空气中实际包含的水蒸气的量和该空气在该温度 里可以包含的最大限度的水蒸气的量并管理相对湿度。 相对湿度(Relative humidity)：是指单位体积的空气中含有的水蒸气的质量和该温度单位体积力可 以含有的最大值的水蒸气的密度的比值用百分比(%)来表示的。 3.11空气调和器 (Air Handling Unit) 是指把clean room内供给及吸入一定量的空气，按照设定的条件保持clean room内 需要的 温度，湿 度，压力装置。 3.12 清净度 等级 (Cleanliness Class) 为了区分清洁室内的清洁度而规定的，依照美联邦规格(FED-209D 0.5㎛)来划分等级。
3
MIN 18℃ 30%
MAX 28℃ 70%
- Down flow 空调结构 clean room 7 Wall Return 空调结构 clean room smock room,locker room, 产品仓 700 库(一般room) 70 Wall Return 空调结构 Process Area
2.2
(Nc : Class name in English unit, d : particle size
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A/0 2011-4-30
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3.定义 3.1 洁净度 是指清净室内空气中含有的一定量的固体形态线型或粒子形态的灰尘或微粒子（在本标准把灰尘用 Particle来称呼。)等污染物含有的程度，单位用class来标明。是表示清净室内单位体积内包含的粒子 数量的值，通常表示1立方英尺（1/FT3）里包含的0.5微米以上大小的灰尘粒子数。 3.2 洁净室 (CLEAN ROOM) 是指制约一定程度的particle，温度，湿度，差压，风速（流速）等，根据需要的产品的清洁指数维持 作业领域的最少化状态，且在封闭的领域（ROOM)内按照一定规格维持管理，特别是重视particle制约的 独立清净领域。 3.3 Class 1 ft³的空气中包含的0.5㎛以上的粒子数。 3.4 高效微粒空气过滤器（HEPA FILTER） 是指High Efficiency Particulate Air(HEPA)通过0.3㎛粒子一次时，集尘效率达到99.97%以上的过 滤器。 Clean Room内的空气通过HEPA Filter，以规定SIZE以上进入Room。 3.5 风淋室（Air Shower） 需要维持洁净度的空间，在外面进入Clean Room时通过强烈的洁净空气对全身进行清理，使入室者衣服 上粘有的灰尘去除。 3.6 （传递箱）Pass Box 产品或物品拿入Clean Room时，起着阻挡灰尘同时进入的移动通道。 3.7 污染 (Contamination) 是指影响clean room内生产的产品的性能，品质，信赖性 等 引起缺陷的所有因素。 3.8 防尘服类 (Dustproof clothes) 是指不让人体上发生的灰尘，污染物通过clean room内，且防止气流的流动引起的灰尘吸附，防止静电 气的发生，进入clean room时适用的衣物类。 3.9 温度 (Temperature)
5.4.4.1 清洁度 管理规格 : 10,000Class/0.5㎛ 5.4.4.2 清洁度 等级(Cleanliness Class) 依照关联基准 FED STD 209D 的基准适用并根据工程产品 特性所要求的清洁度依照自行自定的标准进行内部管理。 5.4.4.3 浓度(ea/ft3)=Nc(0.5/d) 5.5 测定及评价 为无尘车间内的各种环境条件维持在规定值，应一向监视其状态，确认是否在基准值内，以下是无尘室内 的环境测定项目。 5.5.1 Particle 系数测量 5.5.1.1 原则上要使用Air Particle counter(0.3㎛, 1cfm),但如果使用便携式Particle测定器 FLOW 值0.1(C.F.M)时要*10倍 或者 以10分钟 测定值为基准填写管理。 5.5.1.2 Particle 测定器 初期 启动时正常Particle 测定 前, 实施预备3分钟启动以提高信赖度。 5.5.1.3 测定位子中测量出超出等级标准Spec以上的Particle时判定Fail。 5.5.1.4 定期或异常发生时对Particle实施评价。 5.5.1.5 品质问题发生时测定测定者选择的任意个数。
地面 CLASS 1 可维持高洁净度。
水平流式
墙面
墙面
CLASS 1,000
地面
乱流方式
CLASS 100 最方便的方式。低洁净 度管理适合的温/湿度 调整有难点。 CLASS 100,000
排气口
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Particle 100,000 class↓ 5.4.3.仓库（包装材料除外，制品仓库 ） 区 分 温 度 湿 度 5.4.4 洁净室管理 Concentration Unit(EA/FT ) Particle size 1 10 Class FED STD 209D 100 1,000 10,000 100,000 0.1㎛ 35 350 0.3㎛ 3 30 300 0.5㎛ 1 10 100 1,000 10,000 100,000 5.0㎛ 对象工程 Down flow 构造 Process Area
环境管理规范与标准
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生效日期 CLASS 100 作业区域可变更，可维 持洁净度。 CLASS 5,000
A/0 2011-4-30
非层流式
3.13.1 乱留方式 (Turbulent Airflow Clean Room) : 3.13.1.1 HEPA Filter粘贴在天花作为吸入口，气流以均匀的速度维持流向一定的方向后，在微粒子沉 淀之前，把空气以吸入墙边的排出口方式，洁净度适用于Class 100 ~ 10,000。 3.13.2 洁净室(Clean Room)内少有污染粒子移动，不使用的空间无堆积的灰尘。 3.13.3 洁净室(Clean Room)内的洁净度与作业的人数影响关系不大。 3.13.4 因换气次数多，所以净化时间短. 3.13.5 换气次数：1次/H ~ 500次/H 3.13.6 风速管理基准：FFU 方式 0.35 ~ 0.65 m/s, HEPA 方式 0.3 ~ 1.0 m/s(但 Particle 上升时 检讨基准变更.) 4.职责 4.1 生产部 4.1.1 记录现场温/湿度Check Sheet。 4.1.2 洁净室(Clean Room)内的压力测定(差压) 4.1.3 洁净室(Clean Room)的洁净维持。 4.1.4 洁净室(Clean Room)的防尘服及防尘鞋的洁净维持 4.2 品质部 4.2.1 有选定clean room管理人力及clean room管理全权担当者并运营的责任和权力。 4.2.2 有责任和义务指示对环境测定结果及异常发生时的弥补措施和改善事项，并对clean room 维持持 续管理。 4.2.3 对和生产品质相关的部分的现象进行了解和原因分析并根据重要程度的不同指示改善事项，弥补事 项及临时措施，根本改善措施指示等。 4.2.4 为了满足工程内clean room的基本环境条件测量清洁度，温度，湿度，差压，流速，异常发生时 根据异常发生原因实施相关措施的同时进行报告。 4.2.5 对clean room清净所有的（风淋室，传递箱）静电消耗品（过滤器类，粘尘垫）管理状态进行点 检并根据交换周期是否有效进行更换进行监督。 4.2.6 限制外来人员出入人员及对服装状态进行点检，对不必要的行动及必须遵守的基本遵守事项进行指 责及教育并以身作则率先示范。
Booth內 1000 class ↓ 5,000 class ↓ 10,000 class↓
5.4.2 轻洁净室的管理区域 区 分 MIN MAX
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环境管理规范与标准
温 度 湿 度 20℃ 35% 26℃ 65%
版本 生效日期
A/0 2011-4-30
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环境管理规范与标准
版本 生效日期
A/0 2011-4-30
4.2.7 clean room的标准变更时依照标准进行变更并修订管理。 4.2.8 新规clean room增设及生产装备安装时应先实施对设备环境质量和clean room 环境质量标准满 足时认证后方可进行量产。 4.2.9 洁净室(Clean Room) 内Particle测定及维持的管理方向(洁净度管理) 4.2.10 现场温/湿度Check Sheet的管理方向。 5.作业内容 5.1 防尘服的规定 5.1.1 防尘服及防尘靴的清洗周期实施1回/2周 5.1.2 防尘服及防尘靴的更换周期按1年为单位进行更换。 5.1.3 防尘衣类的管理是指 购买.清洗.运营.保管.废弃为止依照自行管理基准进行管理。 5.2 洁净室的(Clean Room)管理. 5.2.1 洁净区域的分类. 5.2.1.1 洁净区域：对产品有直接制形成生产活动的场所，叫做Clean Room 5.2.1.2 轻洁净区域 : 对产品没有直接制影响的区域，如进入洁净室前的区域（更衣室）或堆放资材的 场所区域。<更衣室,产品仓库, 来料检查> 5.2.1.3 管理区域 : 屋外与洁净度管理的区域间，是指在建筑物内入室者更换鞋，外套等非洁净区域。 <对象区域 : 建筑物入口及走廊> 5.3 洁净室的管理区域区分 5.3.1 洁净区域 : 生产LINE (COG, FOG, 组装线, 出货检查, Rework工程) 5.3.2 轻洁净区域 : 更衣室, 产品仓库, 来料检查 5.3.3 管理区域 : 建筑物入口及走廊 5.4 洁净室的管理区域 5.4.1 洁净室管理按以下基准管理. 工 程 区 分 温 度 湿 度 Particle FOG/COG/Rework MIN 21℃ 40% MAX 25℃ 65% 组装/OQC MIN 21℃ 40% MAX 25℃ 65%