4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书
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文件名称:4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书 编号:xxx.xxx 版本号:xxxx 页码1
文件名称文件编号4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书XXX.XXX
3.3 Lasermark要求
3.3.1 打在非使用面、字迹清晰可见、打头字母代表厂家
3.3.2 位置、大小要求如下图
Marking位置:距离Flatlength边缘约1mm
Marking内容:字母+数字
如ABCD1234***
总体尺寸:约1mm(字高)*12mm(总宽度)
文字方向:从左至右朝上
如ABCD1234***
编制审核批准
编制日期审核日期批准日期
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文件名称文件编号4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书XXX.XXX 4 使用要求
4.1 可直接使用于外延反应炉生长;
4.2 可先制作图形加工,再使用于外延反应炉生长。
5 包装要求
5.1 产品包装:采用防静电袋包装两层,内、外层都抽真空,
下图所示,
标签上的内容包括Spec、LOTNO、WaferNO、CassetteNO、QTY,每盒25片。
并帖上标签,如标签材质为无尘纸。
编制审核批准
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文件名称文件编号4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书XXX.XXX
5.2运输包装:外壳为纸箱包装,内放为间隔放置,如下图所示,
防震材料为聚苯乙烯泡沫板,保证在运输中不因碰撞、摔伤,而造成破裂、变形、吸潮等有害缺陷;包装无泄漏。
6 每批供货时必须有质量书
6.1抽取比例为10%
6.2质量书内容为第3项中的所有项目,另外还需提供规格检测结果wafermapping图、外观检测结果wafermapping图。
6.3质量书可以是电子版或纸版。
7 相关文件
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