4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书

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文件名称文件编号4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书XXX.XXX

3.3 Lasermark要求

3.3.1 打在非使用面、字迹清晰可见、打头字母代表厂家

3.3.2 位置、大小要求如下图

Marking位置:距离Flatlength边缘约1mm

Marking内容:字母+数字

如ABCD1234***

总体尺寸:约1mm(字高)*12mm(总宽度)

文字方向:从左至右朝上

如ABCD1234***

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编制日期审核日期批准日期

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文件名称文件编号4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书XXX.XXX 4 使用要求

4.1 可直接使用于外延反应炉生长;

4.2 可先制作图形加工,再使用于外延反应炉生长。

5 包装要求

5.1 产品包装:采用防静电袋包装两层,内、外层都抽真空,

下图所示,

标签上的内容包括Spec、LOTNO、WaferNO、CassetteNO、QTY,每盒25片。

并帖上标签,如标签材质为无尘纸。

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5.2运输包装:外壳为纸箱包装,内放为间隔放置,如下图所示,

防震材料为聚苯乙烯泡沫板,保证在运输中不因碰撞、摔伤,而造成破裂、变形、吸潮等有害缺陷;包装无泄漏。

6 每批供货时必须有质量书

6.1抽取比例为10%

6.2质量书内容为第3项中的所有项目,另外还需提供规格检测结果wafermapping图、外观检测结果wafermapping图。

6.3质量书可以是电子版或纸版。

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