电子厂洁净室空调系统简介

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洁净区空调系统工作原理

洁净区空调系统工作原理一、引言随着科技的不断发展，洁净区空调系统在许多行业中得到广泛应用，如医疗、电子、制药等。

洁净区空调系统是一种能够保持空气质量的高效空气调节设备，其工作原理是通过过滤、循环和调节空气，以保持洁净区内的环境洁净。

二、过滤系统洁净区空调系统的过滤系统是确保洁净空气的关键。

一般情况下，系统会采用多层过滤器，过滤器的级别根据洁净区的要求而定。

常见的过滤器有初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器。

初效过滤器用于过滤大颗粒的灰尘和污染物，中效过滤器用于过滤较小的颗粒，而高效过滤器则能够过滤微小的颗粒，甚至可以过滤细菌和病毒。

三、循环系统洁净区空调系统的循环系统负责将过滤后的洁净空气循环输送到洁净区内，以保持空气质量。

循环系统通常由风机和风道组成。

风机负责将空气吸入系统并通过过滤器过滤，然后将洁净空气通过风道输送到洁净区。

为了保证洁净空气的均匀分布，风道系统会设计成多个出风口，并通过调节出风口的大小和位置来控制空气流向。

四、调节系统洁净区空调系统的调节系统负责调节洁净空气的温度、湿度和压力，以满足洁净区的要求。

调节系统通常由温度传感器、湿度传感器和压力传感器组成。

传感器会监测洁净区的温度、湿度和压力，并将监测到的数据传输给控制系统。

控制系统会根据传感器的数据来控制空调系统的工作，如调节风机的转速、控制加热或制冷设备的工作等。

五、工作原理洁净区空调系统的工作原理是将外界空气经过过滤、循环和调节后输送到洁净区内，以保持洁净区的洁净度。

具体工作流程如下：1.外界空气经过初效过滤器，去除大颗粒的灰尘和污染物。

2.经过中效过滤器，进一步过滤较小的颗粒。

3.经过高效过滤器，去除微小的颗粒，如细菌和病毒。

4.风机将过滤后的洁净空气吸入系统，并通过风道输送到洁净区内。

5.温度传感器、湿度传感器和压力传感器监测洁净区的温度、湿度和压力。

6.控制系统根据传感器的数据来控制空调系统的工作，以满足洁净区的要求。

7.循环系统不断循环洁净空气，保持洁净区内的空气质量。

MAuFFUDCC常用系统及控制简介

1MAU+FFU+DC详细介绍‎目前电子行业‎洁净室常用的‎M AU+FFU+DC系统，MAU主要控‎制室内的湿度‎和保证室内的‎正压，FFU通过空‎气循环过滤保‎证洁净度，而DC是来除‎去室内的显热‎从而保证室内‎的温度。

(1)MAU(Make—uDAirU‎n it)组合式外气空‎调箱是由风机‎、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤‎)、加湿器组成，通过初中效过‎滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送‎入回风层。

(2)FFU(FanFih‎e rUnit‎)是模数化的小‎型风机过滤单‎元，安装在顶棚框‎架上，空气由FFU‎的风机加压后‎经HEPA或‎U LPA过滤‎送入室内，如此循环，其换气次数直‎接决定室内洁‎净度的不同。

FFU的技术‎性能取决于风‎机和HEPA‎或ULPA的‎质量，制造厂一般是‎通过额定工况‎下的性能参数‎，或FFU整机‎的空气动力特‎性曲线。

FFU的风机‎均采用外转子‎电机以减小高‎度，一般配有电子‎式过载保护开‎关、故障指示灯，故障输出节点‎，有传统的低、中、高三档交流控‎制，目前直流变频‎控制亦越来越‎应用在洁净等‎级比较高的系‎统。

早在上个世纪‎6O年代，美国新墨西哥‎州Sandi‎a国家实验室‎的科学家们利‎用HEPA过‎滤的方法研制‎成功了层流技‎术，其后商用FF‎U陆续在美国‎一些手术室及‎工业厂房得到‎广泛的应用。

但直到198‎4年，在亚洲才出现‎大规模应用F‎F U的事例(大约有500‎0台)。

是什么原因导‎致FFU在这‎么长的时间没‎有得到广泛的‎发展呢?有三个问题占‎主导地位：噪声较大问题‎；压力平衡问题‎，在很大的静压‎箱里，各不同角落的‎风机是否能得‎到均衡的压力‎，这在当时也是‎不能够得到保‎证的；维护问题，FFU本身造‎价就比较高，如果它的电机‎寿命不能保证‎的话，更换又会带来‎附加投资。

这些都是造成‎当时的企业不‎选择使用FF‎U的主要原因‎。

电子厂洁净室空调系统简介

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洁净室空调系统特性（二）
气流分布均匀：洁净室空调为带走室内所产生的微尘粒子，以维持洁净度，所以除了气流速度需达一定要求标准外，气流的形状也必须依不同的洁净室等级而加以适当的控制。洁净等级不同的邻室维持适当压差：为防止等级低的室内空气泄漏到等级高的室内，造成污染。送风温度与室内温度差距小：由于产品制程对温湿度变化极为敏感，洁净室部分区域须控制在±0.3ºC，故送风温度与室内温度差距不能太大。（温度分布图）运转成本高：由于洁净室热负荷相当大，又需要补充大量的外气，循环风量大，所以不止是初期建设成本高，建成后运转及维护费用也相当高，在设计中要考虑节能。
電子廠潔淨室空調系統簡介
大纲
洁净空调特性
空气循环系统换气次数 FFU系统
濕空氣性质及处理性质焓湿图处理程序
MAU 结构功能
洁净室空调系统特性（一）
温湿度要求比一般空调低：一般空调系统温度要求在25 ℃～27 ℃,相对湿度为55～70％；而洁净室空调分别为22～23 ℃,相对湿度为40～45％。对空气品质要求严格：微尘粒子是构成半导体制品发生缺陷，降低产品良率的主要原因之一，在微尘粒子和某些化学离子要求也非常严格。外气量与换气次数大：在半导体工厂中，制程系统使用大量的化学品和毒气，而这些化学品和毒气所产生的些挥发气和废气必须予以全数排除，排气量非常大，所以需要补充大量的外气来维持室内的正压环境。
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空气循环系统
風管系統 FFU系統軸流風機系統
空氣循環系統功能潔淨度之控制溫度之控制濕度之維持
潔淨室熱源分佈
空氣循環量氣流方式
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空氣循環量
空气循环量 1. 洁净室温湿度及微尘粒子的控制，完全由空气循环掌握。 2. 换气次数：表示空气循环量的重要参数。 N=空气循环量÷室内体积以黄光区为例：FFU风速为0.35M/S，层高为3.6M,空气由FFU吹出到达高架地板的时间为10秒，则黄光区的换气系数为360次/小时。（图示）普通空调比较：办公室空间为300立方米，空调送风量为2000CMH，换气次数约为7次/小时。

电子厂房净化空调方式选择

电子厂房净化空调方式选择引言当前的电子厂房洁净室洁净等级大部分在1000级（ISO6级）—10000级（ISO7级）之间，其相当的换气次数平均在25—60次/H,要求的洁净室环境参数比较严格，大部份要求为室内温度22±2℃，相对湿度55±5%，洁净室内工艺设备发热量大，部份工艺设备排除热量所需的排风量也很大。

由于要求高，发热量大，导致电子厂房洁净室空调系统的能耗是很惊人的，所以在设计之初对于洁净室空调系统的方式选择就需要认真考虑。

目前大多数已建成的电子厂房中，洁净室的空调系统一般都会使用常规净化空调方式---新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA），而另一种净化空调方式---新风机组+干盘管+FFU（FFU为英文缩写，全称为Fan Filter Unit, 中文意思为风机过滤器单元）比较少见，原因有：（1）常规净化方式一直沿用，不愿更新改变；（2）部分企业认为新风机组+干盘管+FFU方式的洁净空调系统是用于高洁净度(≥100级)要求的项目中，担心用于1000级—10000级项目时造价会偏高。

为此，本文着重从两种空调方式的特点及能耗方面进行分析探讨，说明新风机组+干盘管+FFU方式的洁净空调系统在电子厂房是确实可行的，并总结此净化空调方式在设计过程中需要注意的一些问题。

一、两种净化空调方式的分析比较1.1 新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA）空调方式介绍该空调方式指的是室外新风经过新风机组处理后送入混风机组，混风机组把回风与新风混合并处理至所要求的空气参数后直接用风管送风到各终端高效过滤器（HEPA）,通常新风机组将新风处理到室内焓值，不承担室内负荷，只承担新风负荷，由混风机组承担室内的湿负荷和显热负荷，空调方式示意图见图1。

1.2 新风机组+干盘管+FFU空调方式介绍所谓干盘管，是因为在这种系统中冷冻盘管仅承担显热负荷，其冷冻水进水温度一般在13℃以上，也就是说在室内空气的露点温度以上，盘管一般不可能产生冷凝水,属于干工况运行,所以其叫干盘管，而13℃的冷冻水常用的制取方法为利用水--水板式换热器把冷水机组的7℃/12℃冷冻水转换过来。

MAu+FFU+DCC常用系统及控制简介

1MAU+FFU+DC详细介绍目前电子行业洁净室常用的MAU+FFU+DC系统，MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压，FFU通过空气循环过滤保证洁净度，而DC是来除去室内的显热从而保证室内的温度。

(1)MAU(Make—uDAirUnit)组合式外气空调箱是由风机、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤)、加湿器组成，通过初中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送入回风层。

(2)FFU(FanFiherUnit)是模数化的小型风机过滤单元，安装在顶棚框架上，空气由FFU 的风机加压后经HEPA或ULPA过滤送入室内，如此循环，其换气次数直接决定室内洁净度的不同。

FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量，制造厂一般是通过额定工况下的性能参数，或FFU整机的空气动力特性曲线。

FFU的风机均采用外转子电机以减小高度，一般配有电子式过载保护开关、故障指示灯，故障输出节点，有传统的低、中、高三档交流控制，目前直流变频控制亦越来越应用在洁净等级比较高的系统。

早在上个世纪6O年代，美国新墨西哥州Sandia国家实验室的科学家们利用HEPA过滤的方法研制成功了层流技术，其后商用FFU陆续在美国一些手术室及工业厂房得到广泛的应用。

但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例(大约有5000台)。

是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?有三个问题占主导地位：噪声较大问题；压力平衡问题，在很大的静压箱里，各不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的；维护问题，FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。

这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。

但是这一切，在1984年都发生了改变。

首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65dBA以下，这符合工业厂房的标准。

其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。

电子工程净化空调系统

电子工程净化空调系统1.1同一建筑物内净化空调系统的划分，应符合下列规定：1 运行班次或使用时间不同和温度、相对湿度要求不同的洁净室、洁净区，应分别设置；2 净化空调系统与一般空调系统，应分别设置。

1.2洁净室、洁净区的送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等类型，其类型应根据洁净室、洁净区的使用功能特点确定，且宜采用风机过滤器机组送风方式。

1.3洁净室、洁净区除下列情况之一外，均应充分利用回风：1 在生产过程中向房间内散发的有害物质超过规定时；2 对其他工序有危害或不能避免交叉污染时。

1.4洁净厂房设有多套净化空调系统时，宜采用新风集中处理。

1.5洁净室、洁净区的送风量、新风量应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定，在具体生产工艺允许时，应采用相关规定的下限值。

1.6洁净室、洁净区与周围空间的静压差值，应按工程设计值进行控制。

当工程设计无规定，且洁净室、洁净区的新风量由补偿室内排风量和保持洁净室、洁净区与周围空间静压差值所需新风量之和确定时，应按现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472规定的下限值进行控制。

1.7净化空调系统采用集中空气处理和集中送风方式，且按洁净度要求确定的风量大于消除热湿负荷计算的风量时，应采用一、二次回风的送风系统。

除生产工艺特殊要求外，在同一空气处理系统中，不应同时有加热和冷却的运行过程。

1.8净化空调系统采用新风和循环风分别处理的方式时，用于空调的冷冻水宜按控温、调湿要求采用不同的供水温度。

1.9净化空调系统宜自动调节送风量，并应合理选择自动调节控制方法及检测参数。

1.10用于净化空调系统的空气处理机组，应选用气密性优良的产品，其漏风率应低于1%。

1.11当净化空调系统在过渡季、冬季需冷却负荷时，应充分利用室外空气对洁净室、洁净区送风进行预冷。

电子洁净厂房空调系统设计

电子洁净厂房空调系统设计摘要：通过介绍某电子洁净厂房净化空调系统设计，阐述了电子洁净厂房空调设计的主要系统，介绍了洁净室新风空调箱的控制原理，并总结出实际工程设计中应注意的问题，并提出此类设计对日后施工、运行和管理的要求。

关键词：电子洁净厂房净化空调新风空调机组干盘管1.工程概况本电子洁净厂房净化空调系统设计为某光工厂研发生产项目，工程建设地点位于湖北省武汉市，丙类，77905.86m2，层数：-1/3，建筑高度29.75m，地面建筑共分三层：地下一层为水泵提升站，一层为辅助动力区、下夹层区，二层为洁净生产区、MOCVD区、辅助动力区+辅助办公区，三层为洁净钢屋架层、洁净预留区。

本文主要介绍二层洁净生产区的净化车间的空调系统设计。

具体平面布置图详见以下附图1：图1 二层洁净生产区平面布置图2.工程设计参数按工艺生产要求及工艺专业提供的设计条件，并按照GB50073-2013《洁净厂房设计规范》及GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》的要求，净化车间室内设计参数如下表1：表1 通风设备设计参数表3.净化空调系统设计3.1 冷热源系统本项目生产区净化空调冷源采用6℃/12℃低温冷冻水及13℃/19℃中温冷冻水，由动力站房供给；热源采用38℃/28℃中温热水及80℃/60℃高温热水，接自动力站房。

3.2 洁净室空气循环系统电子洁净厂房中，工艺设备散热量大，造成空调冷负荷较大，并且按照设计规范要求，洁净等级较高的区域或房间换气次数高达50~60 次[1]。

为满足负荷和换气次数的要求，必须保证足够的送风量，而送风量的加大又使净化空调机组、风机及风管的尺寸的偏大，加之吊顶上空间的限制，给设计和施工带来了很多困难。

“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DCC）” [2]的空调形式是电子净化厂房空调设计中经常采用的一种空调系统。

在该系统中，MAU 处理新风负荷：夏季冷却新风并除湿，冬季加热新风并加湿；DCC 处理室内负荷，一般为全年供冷；FFU 用来循环空气从而达到洁净度要求的换气量。

洁净室空调系统

洁净室空调系统洁净室关乎到很多行业的生产过程，而空气质量是衡量洁净室的重要指标之一。

洁净室空调系统作为洁净室空气质量的保证，是洁净室建设中必不可少的一环。

洁净室空调系统的作用洁净室空调系统的主要作用是过滤空气中的微粒，维持洁净室内部的空气质量。

洁净室中的微粒主要有空气中的粉尘、细菌、病毒及其他微生物等，而这些微粒对于某些行业的生产过程极其敏感，例如电子、制药、食品等行业。

洁净室空调系统采用的是层级过滤的方法，将空气中的微粒逐级过滤。

通常，洁净室空调系统至少要包括初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器三个层级。

其中，初效过滤器主要用于过滤较大的颗粒，中效过滤器主要用于过滤径直在1微米左右的微粒，高效过滤器主要用于过滤径直在0.3微米左右的微粒。

洁净室空调系统的组成洁净室空调系统包括了以下几个部分：风机盘管组风机盘管组负责空气的循环和供应。

它将空气吸入，通过过滤器过滤后，再将洁净空气送入洁净室内。

过滤器组过滤器组包括初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器。

初效过滤器通常采用带有颗粒捕获功能的棉絮材料或者合成纤维材料，如玻纤棉，可以较为有效的过滤掉大颗粒的灰尘、毛发等杂物。

中效过滤器常用的材料有玻璃纤维、非织造布、打碳棉等，可以将直径在1-10微米之间的颗粒物过滤掉。

高效过滤器则采用玻璃纤维、非织造布等高效材料，可以过滤掉直径在0.3微米以内的微粒。

冷却器组冷却器组负责调节空气温度、湿度等参数。

一般采用水冷式或空气冷却式的制冷方式来控制温度，采用加湿器等多种方式来调节湿度。

管道组管道组负责将过滤后的空气从风机盘管组输送到洁净室内，在输送过程中需要保证管道的密封性。

过滤净化区组如果洁净室的要求比较高，需要增设过滤净化区组。

其主要作用是通过进一步过滤和空气净化来提高空气质量。

洁净室空调系统的设计洁净室空调系统的设计需要考虑多方面的因素。

其中主要包括洁净室的级别、空气质量要求、房间布局、人员活动状况等因素。

在确定了空气质量要求后，需要根据房间布局和人员活动状况等因素，设计风机盘管组和过滤器组的位置和数量。

洁净空调控制系统的设计及应用

洁净空调控制系统的设计及应用摘要：洁净空调控制系统是现代化建筑环境控制技术的重要组成部分。

本文介绍了洁净空调控制系统的设计原理、功能特点和应用场景，对其在实际应用中所起的作用进行了深入探讨。

通过对控制系统的实现方法进行了分析和比较，建议在洁净空调系统的设计和应用中应采取多种控制策略的配合，以提高系统的稳定性和可靠性。

同时，本文还讨论了洁净空调控制系统在日常维护和运行过程中应注意的一些技术要点和注意事项。

关键词：洁净空调控制系统、设计、应用、控制策略、稳定性正文：1．洁净空调控制系统的设计原理洁净空调控制系统是基于自动控制技术，通过传感器、执行器、计算机等设备对室内空气的温度、湿度、气流速度、氧气含量以及颗粒浓度等指标进行实时监测和控制，从而达到保持室内空气的洁净度和舒适性的目的。

2．洁净空调控制系统的功能特点（1）对室内空气进行实时监测和控制，确保室内环境的洁净和舒适。

（2）采用多种控制策略，如PID控制、自适应控制等，提高系统的稳定性和可靠性。

（3）可通过远程监控和控制实现对系统的远程管理和维护。

（4）能够进行故障检测和自动报警，提高系统的安全性和稳定性。

3．洁净空调控制系统的应用场景洁净空调控制系统主要应用于各类要求洁净环境的场所，如医院、电子厂、实验室、卫生间等。

在食品加工、制药、微电子、生物医学等行业中，洁净空调控制系统更是必不可少的关键技术。

4．洁净空调控制系统的控制策略（1）PID控制：PID控制是洁净空调控制系统中最常见和基础的控制策略，通过对实时数据进行反馈和调整，保持室内环境的稳定性和舒适度。

（2）自适应控制：自适应控制是一种适应不同环境变化的控制策略，通过学习和适应不同的环境变化，提高系统的鲁棒性和性能。

（3）模糊控制：模糊控制是一种模糊数学的控制方法，通过对输入输出之间的模糊关系进行建模和推理，解决根据经验无法确定精确定量的问题。

5．洁净空调控制系统的应用建议（1）在洁净空调系统的设计和应用中应采取多种控制策略的配合，以提高系统的稳定性和可靠性。

MAu+FFU+DCC常用系统及控制简介

FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量，制造厂一般是通过额定工况下的性能参数，或FFU整机的空气动力特性曲线。

但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例(大约有5000台)。

这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。

但是这一切，在1984年都发生了改变。

首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65dBA以下，这符合工业厂房的标准。

其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。

电子洁净厂房的空调系统设计

供了新的思路。
２．２．２空调形式
１）１００级净化间采用ＦＦＵ送风单元送风垂直层流，穿孔高架地板回风。ＦＦＵ送风单元额定风量为８４８．５ｍＶｈ，超高效过滤器效率为９９．９９９％（＼０．１ “ｍ），满布率为９０％，净化间的总送风量为３７２００ｍ３／ｈ，折合换气次数为３７００Ｕｄ＂时，
布高效送风口１６１个，每只风口额定风量为１４００ｍＶｈ，净化间换气次数为３０次／
小时，总送风量为２２５４００ｍ３／ｈ，回风ｔ￣４ｏ５－，共设空调机组ｌ５台。
２．２．３空气处理过程
２系统设计
２）循环风处理
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２６．７
３．Ｏ２３士２５Ｏ ±ｌ０
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净化问内人员的操作是产尘的主要原因，除一部分尘粒由真空吸尘系统
２１室内主要功能区域的分布及设计参数功能区域分布如图１所示，室内主要设计参数见表１。
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竣
１）新风的处理
净化间新风由净化新风机组集中处理，夏季首先室外新风通过新风入口处的无纺布初效过滤器滤除大颗粒尘粒，经纯净水喷淋室除尘，由离心式通

洁净空调系统介绍

洁净空调系统介绍洁净空调系统为了使洁净室内保持所需要的温度湿度、风速、压力和洁净度等参数，最常用的方法是向室内不断送入一定量经过处理的空气，以消除洁净室内外各种热湿干扰12312设备。

3、半集中式洁净空调系统：在这种系统中，既有集中的净化空调机房，又有分散在各洁净室内的空气处理设备。

是一种集中处理和局部处理相结合的形式。

人们一般按系统内各洁净室的洁净度来命名系统，如称之为100级净化空调系统，1000级净化空调系统等。

有时也按系统的末级过滤器的性质来区分，分高效空气净化系统，亚高效空气净化系统和中效空气净化系统。

集中式洁净空调系统集中式洁净空调系统主要有如下特点1、在机房内对空气集中处理，进而送进各个洁净室。

2、由于设备集中于机房，对噪声和振动较容易处理。

341风形式，有一次回风系统和二次回风系统。

这种系统既能满足卫生要求，又经济合理，应用最为广泛。

分散式洁净空调系统对于一些生产工艺单一，洁净室分散，不能或不宜合为一个系统，或各个洁净室无法布置输送系统和机房等场合，应采用分散式洁净空调系统[3]，在该系统中把机房、输送系统和洁净室结合在一起，自成系统。

在分散式洁净空调系统中，在各个洁净室或邻室内就地安装净化和空调设备或净化空调设备。

净化空调设备可以是一个定型机组产品，它具有净化功能，但处理的风量较少，往往不能满足较高洁净度的洁净室所需风量，系统处理过程往往是一次回风系统。

由于净化空调设备内风机要求克服热交换盘管、通道及几级过滤器的阻力，所自动控制（采用手动控制），电加湿器和电加热器。

如果是容量小的空调机组（冷量小于7kW,风量小于1200m3/h）可做成窗台式。

容量大的（冷量小于70kW，风量小于20000m3/h）为立柜式。

上述这种将空调和净化两种功能分开处理的作法，不仅解决洁净室热湿负荷小、处理风量大的难题，而且使系统更为灵活。

由于利用套间或顶棚作静压箱，使空气环路断面大-输送路线短，对空调机组和净化设备的风机压头要求不高，因此相应噪声与能耗也不高．净化设备也可适应洁净室需要，采用多种形式，与空调机组几乎没有关联．这种形式在我国应用很广泛。

电子工业洁净厂房净化空调系统设计

电子工业洁净厂房净化空调系统设计摘要：近年来，国内大力支持和发展半导体技术，而半导体产品生产所需要的洁净厂房在国内同步地得到发展，洁净厂房兴建的规模和室内的洁净等级越来越高，而一些生产制造设备在工艺制程中，不可避免地产生污浊的空气或者废气的排放，在排放废气的同时，为了维持洁净厂房的正压环境，则需要向厂房内不断输送新鲜的室外空气，用以弥补因废气排放导致的洁净厂房正压失衡。

关键词：电子工业；洁净厂房；净化空调；系统设计1溶液空调系统与传统空调的对比溶液空调与水冷式、风冷式传统空调相比，其优点尤为明显。

从系统构成来看，传统空调需要设置的设备较为复杂，如水冷式空调包括冷水机组、冷却水系统、冷冻水系统、蒸汽锅炉净化空调箱等；风冷式空调系统由风冷热泵、冷冻水系统、净化空调箱和排风机组成，这两种传统空调在运行管理中不够灵活，对分区控制的实现十分不利。

溶液空调机组自带热泵系统，在独立运行中可以实现冷却、除湿、加热、加湿等功能，对分区控制、独立启停等运行管理十分有利，并能达到很好的节能效果。

同时，传统空调除湿效果不佳，其原理主要为冷凝除湿，除湿后相对湿度达90%～95%，不能满足实验动物环境对空调系统所需送风相对湿度的要求，需要电或蒸汽加热对冷凝除湿，再热则会因冷热抵消使空调能耗加大。

溶液空调则是利用溶液特性，通过调节溶液浓度来控制相对湿度，符合实验动物环境要求，并能避免系统过度冷却后再热的能源消耗。

此外，传统空调系统如用在实验动物室采用全新风系统会增加交叉污染的风险，通常不设置全热回收装置，因此会产生巨大的新风能耗；溶液空调系统新风和排风不是直接接触，溶液具有杀菌功能，可设置全热回收能量，避免交叉污染，使新风处理能耗大大降低。

在最初投资和运行成本上，传统空调投资成本较低，运行成本较高；溶液空调在最初投资上会有较高成本，但由于其运行成本低，一般可在三年后收回成本。

2洁净厂房正压控制在厂房内，洁净环境与非洁净环境之间必须维持一定的正压值，相邻的不同级别的洁净厂房之间也需要维持一定的正压梯度，设计规范中明确规定，相邻的洁净区与非洁净区，以及级别不同的洁净厂房压差数值不小于5Pa，同样洁净区与室外环境的压差数值也不应小于10Pa。

某电子半导体洁净厂房空调系统设计简介

某电子半导体洁净厂房空调系统设计简介摘要：介绍某电子洁净厂房净化空调系统的设计，阐述了净化空调系统的形式及净化空调系统的控制原理。

关键词：电子洁净厂房净化空调设计自动控制1.概况本项目电子洁净厂房主要生产工艺为半导体产品的封装后测试。

生产厂房为地上三层（局部设夹层）为丙类二项多层厂房，建筑面积约43643.44平米，建筑高度约23.09米。

生产工艺段为一层上芯、压焊、塑封，二层晶圆库、切筋打印、锡化，三层测试及各生产辅助用房等组成。

随着半导体产业的发展，相关产品对半导体产品生产环境的要求也越来越高，半导体生产厂房的洁净度和洁净系统的运行状态对产品品质及通过率有着至关重要的影响。

因此洁净厂房空调系统的设计就显得尤为关键。

1.室内外设计计算参数2.1室外计算参数夏季：空调干球温度：30.8℃；湿球温度：21.8℃；通风干球温度：26.9℃；冬季：空调干球温度：-5.7℃；相对湿度：62%；通风干球温度：-2.0℃；2.2室内设计参数主要房间室内设计参数：上芯/晶圆库/减划/压焊：温度（23±1）℃；相对湿度（50±5）％；洁净度1K；正压值20Pa；塑封/锡化/测试：温度（23±1）℃；相对湿度（50±5）％；洁净度10K；正压值15Pa；1.净化空调系统设计3.1冷热源系统本项目空调系统低温冷媒为7~12°C冷水，中温冷媒为13~18°C冷水，热媒为45~40°C热水。

热、冷水、中温水系统供水压力为0.7MPa，空调加湿采用0.2MPa蒸汽。

冷水、热水、中温水均接自厂区原有动力站房管网。

3.2净化空调系统电子洁净厂房最大的特点是热湿比大（热负荷极大、而散湿量小）、回风量大、大面积的净化区域。

要达到净化要求房间的换气次数则高达50~60次/h，为满足负荷和换气次数要求必须保证足够的送风量。

设计采用“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DC）”的空调形式，这也是电子净化厂房中常用的一种空调系统。

电子厂洁净室系统详解

洁净室围护结构---墙板
密胺树脂面层的墙体板材
/Melamine skin panel :
✓ 面层不会生锈/Anti-rusting surface. ✓ 抗冲击性能优越/Excellent impact resistant 。 ✓ 加工性能好,可任意切割开孔、切割、锯/Good machinable
Flexible components can be selected for different requirements. ✓ 牢固严密的系统避免了空气的泄漏。
Rigid systems to avoid air leakage. ✓ 系统配备了完整的门窗组成整套的产品系统。
Systems come with complete door and window sets. ✓所有组件的连接都是平滑连接无突起.
These data are for designing. These data can be adjusted if needed.此数值用于设计，参数可根据需要进行调整
洁净系统控制---压差
Pressure Differential/压差
Adjacent rooms of different grades should have a pressure differential of 10 - 15 pascals (guidance values). 相邻洁净区房间之间的压差应为10-15帕斯卡（指导值）。
995%
H14
>99.
HOUSING BOX
药厂工程
医院工程
当频率过低时电动机的特性将发生变化，电机发热量增加，节能率下降,设备故障增加.
净化孵房温度、湿度控制
Clean room system

洁净厂房空调系统

洁净厂房空调系统随着世界制造业向我国的战略性转移，我国出现了越来越多的各式洁净厂房。

在这些洁净厂房中，特别是量C（量nt区g风at区d C量风cu量t）的生产厂房，洁净度要求特别严格，成为洁净厂房的典型用户。

在这些集成电路的相关生产企业中，起始由于成品率很低，企业最关注的是产品的成品率问题。

这是因为，成品率直接决定着企业的生产成本和成败，决定着企业能否在激烈的市场竞争中处于不败之地。

随着科技进步和技术的提升，各企业的成品率都大幅度提高，产品的品质在很大程度上得到了保证。

但随着产品集成度和生产环境洁净度要求的提高，电子厂房的耗能却在急剧的增大，成为典型耗能大户。

进入新世纪，能源问题已成为制约我国持续快速发展的瓶颈问题。

能源的短缺，又致使能源价格不断攀升，这些都使得电子厂房的节能问题成为相关企业关注的焦点。

企业要迎面竞争，想在激烈的市场竞争中不被淘汰，就必须面对洁净厂房空调系统的节能问题。

随着我国信息产业的发展，出现了越来越多洁净厂房。

现阶段，洁净厂房空调系统的节能已经成为各生产商降低生产成本，增大竞争优势，击败对手的重要手段。

目此，其空调系统的节能也成为研究的热点和生产商关注的焦点问题；洁净厂房空调系统因其风量大、新风负荷太、阻力高等特点，耗能非常高，是一般空调系统的10余倍，目此，洁净室空调系统的节能设计和运行有较强的必要性和潜力；通过减小优化气流组织，将净化风量和空调风量分开和减少洁净面积，可显著减小系统的送风量；通过设置系统排风罩和其他优化配置措施，减小系统新风量；采用自控手段和加强管理，可优化系统的风量运行。

这些都将显著降低系统的耗能水平。

洁净厂房在我国的快速发展经过多年的发展，我国集成电路产业设计、生产及销售等各环节，都取得了长足的进步和发展。

我国集成电路制造业的技术工艺已进入国际主流领域，设计和封装技术接近国际水平，晶片制造工艺技术从0. 35 μm到0.18μm乃至0.13μm，同时开发出一批拥有自主知识产权的“中国芯”，譬如方舟、龙芯、爱国者、星光、网芯、展讯等。

MAU+DC+FFU净化空调系统简介

空调系统，过设计实例对该系统的空气处理过程进行分析与计算。通
关键词：电子行业；洁净室；ＭＡ＋Ｄ＋Ｆｕ；分析与计算ｕｃＦ
ＩｔｏｕｔｏｏＭＡＵ＋ＤＣ＋ＦＵｎｒｆｃｔｏｆｎｒｄｃｉｎｔＦａｄＰｕｉｉａｉｎｏ
１电子行业洁净室净化空调系统的特点
相比舒适性空调系统，电子行业洁净室净化空调系统具有以下明显不同的特点。
１１送风量大．
对普通办公楼与电子行业洁净厂房的风量
表１普通办公楼与电子行业洁净厂房的风量比较ｍ／ｍｈ。（．）
ＡｉｎｔｏｎｇＳｓｅｒＣｏｄｉｉｎｉｙｔｍ
ＨＵＪａｊａｉ－ｉ
（ａｇｏｇＳｕｈＣｈｎｎｔｔｔｆＡｒｈｔｃｕａｓｇＧｕｎｄｎｏｔｉａＩｓｉｕｅｏｃｉｔｒｌＤｅｉｎＣｏ，ｄ，ｎｇａ２００，ｉａｅＬｔＤｏｇｕｎ５３０Ｃｈｎ）
ＦＦａｄｐｒｆａｉｎｏｉｏｄｔｎｎｙｔｍｎｔｅｅｅｔｏｉｓｉｄｓｒ．Ｕｎｕｉｃｔｆａｒｃｎｉｉｉｇｓｓｅｉｈｌｃｒｎｃｎｕｔｙｉｏｏ
Ｋｅｒｓｅｅｔｏｉｓｉｄｓｒｙｗｏｄ：ｌｃｒｎｃｎｕｔｙ；ｐｒｉａｉｎｒｏ；ＭＡＵ＋ＤＣ＋ＦｕｉｃｔｏｍｆｏＦＵ：ａａｙｉａｄｃｌｕａｉｎｎｌｓｓｎａｃｌｔｏ

净化车间空调系统工作原理

净化车间空调系统工作原理1.空气循环系统净化车间空调系统中的空气循环系统主要由风机、过滤器和风道组成。

风机负责将外部空气通过过滤器进入车间内部，同时将车间内的污染空气排出去。

过滤器用于去除空气中的颗粒物，如灰尘、花粉等，确保进入车间的空气干净。

风道则将空气引导到车间各个区域，保持空气的流通。

2.温度控制系统净化车间空调系统中的温度控制系统通过冷却或加热空气来保持车间内的适宜温度。

冷却系统通常使用制冷机或冷水机组，通过循环制冷剂或冷水将车间内的热量吸收掉，并将冷却后的空气重新送入车间。

加热系统则使用加热器将冷空气加热后送入车间，使得车间温度升高。

3.湿度控制系统净化车间空调系统中的湿度控制系统通过加湿或除湿来保持车间内的适宜湿度。

加湿系统使用加湿器将水蒸气释放到车间内，增加空气的湿度。

除湿系统则使用除湿器吸收车间内多余的湿气并将其排出去，降低空气的湿度。

通过加湿和除湿的配合，可以调节车间内的湿度至理想水平。

4.过滤净化系统净化车间空调系统的过滤净化系统主要通过各种过滤器去除空气中的污染物，包括颗粒物、有害气体等。

常见的过滤器有初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器。

初效过滤器主要用于去除较大颗粒物，如灰尘、纤维等；中效过滤器则去除较小的颗粒物，如细菌、花粉等；高效过滤器则能够去除微小颗粒物和细菌病毒等有害物质。

通过不同级别的过滤器的配合，能够有效提高空气的质量。

5.通风换气系统总之，净化车间空调系统是一种通过空气循环、温度控制、湿度控制、过滤净化和通风换气等多种方式来提供清洁、舒适工作环境的空气处理设备。

它能够有效去除空气中的污染物，保持车间内的空气质量，同时调节温度和湿度，提供良好的工作环境。

洁净区空调机组的工作原理

洁净区空调机组的工作原理
洁净区空调机组是一种专门设计用于维持洁净区域空气质量的空气处理设备。

它的工作原理主要包括以下几个步骤：
1. 空气过滤：外部空气进入空调机组后，首先经过初级过滤器，如过滤网或粗效过滤器，去除较大的颗粒物和杂质。

2. 空气处理：过滤后的空气进入空调器的处理部分，可能包括加热、冷却、加湿或除湿等操作，以达到所需的空气温度和湿度。

3. 精密过滤：经过处理的空气接着通过高效过滤器，如HEPA（高效空气过滤器）或ULPA（超高效空气过滤器），去除微小的颗粒物、细菌、病毒等。

4. 送风：净化后的空气通过送风管道系统分配到洁净区，确保空气均匀分布并保持一定的风速和正压。

5. 回风：洁净区内的部分空气会通过回风管道系统返回空调机组，进行再循环和过滤。

6. 控制系统：空调机组通常配备控制系统，用于监测和调节空气的温度、湿度、风速、压力等参数，以确保洁净区的环境条件符合要求。

通过不断循环和过滤空气，洁净区空调机组能够提供洁净、恒温、恒湿的空气，减少空气中的颗粒物和微生物，满足洁净区对空气质量的严格要求。

这样可以防止灰尘、细菌、病毒等污染物质进入洁净区，保证产品质量、工艺流程的稳定性和人员的健康安全。

不同类型的洁净区可能有不同的洁净级别要求，因此空调机组的设计和配置也会相应调整。

此外，为了确保空调机组的正常运行和效果，还需要定期进行维护和清洁，更换过滤器等。

电子工业洁净厂房净化空调系统设计

第２０卷第１１期２０２０年１１月R E F R I G E R A T I O N A N D A I R ＧC O N D I T I O N I N G ５９Ｇ６３收稿日期:２０２０Ｇ０５Ｇ２８,修回日期:２０２０Ｇ０７Ｇ０９作者简介:谭月普,硕士,主要从事电子工业洁净厂房设计.电子工业洁净厂房净化空调系统设计谭月普(世源科技工程有限公司上海分公司)摘㊀要㊀以某电子工业洁净厂房为例,介绍其净化空调系统设计参数㊁空调冷热源和加湿水源的选择,重点阐述净化空调系统形式㊁洁净循环风量取值及高效过滤单元㊁回风夹道㊁风机盘管机组㊁独立回风设计原则,叙述新风机组主要功能段㊁新风处理过程及净化空调系统控制等,指出同类厂房净化空调系统设计中应该注意的问题.关键词㊀电子工业洁净厂房;净化空调系统;过滤单元;空气处理过程D e s i g no f c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r e l e c t r o n i c i n d u s t r y cl e a n r o o m T a nY u e pu (S h a n g h a i B r a n c ho f S ．Y．T e c h n o l o g y ,E n g i n e e r i n g &Co n s t r u c t i o nC o ．,L t d ．)A B S T R A C T ㊀T a k i n g o n e e l e c t r o n i c i n d u s t r y c l e a n r o o ma s e x a m p l e ,t h ed e s i g n p a r a m e t e r s o f t h e c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e m ,a sw e l l a s t h e c o o l i n g s o u r c e&h e a t i n g s o u r c e a n dh u Ｇm i d i f i c a t i o nw a t e rs o u r c ea r e i n t r o d u c e d ．I t m a i n l y e l a b o r a t e st h ec l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r m ,t h e c l e a nc i r c u l a t i n g a i rv o l u m e ,a n d t h ed e s i g n p r i n c i p l e so fh i ghe f f i c i e n t f a n f i l t e r u n i t (F F U ),r e t u r na i r c h a s e ,f a nc o i l u n i t a n d t h e i n d e pe n d e n t r e t u r na i r ．T h e c o m p o s i t i o nof f r e s ha i r t r e a t m e n t u n i t a n d i t s t r e a t m e n t p r o c e s s ,a sw e l l a s t h e c o n t r o l o f c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i ng s y t e m a r ed e s c r i b e d ．F i n a l l y ,i ts u mm a r i z e ss o m e p r o b l e m sth a t s h o u l db e p ai d a t t e n t i o n t o i n t h e d e s i g n o f c l e a n a i r Ｇc o n d i t i o n i n g s y s t e mf o r t h e s a m e k i n d o f i n d u s t r y ro o m．K E Y W O R D S ㊀e l e c t r o n i ci n d u s t r y c l e a nr o o m ;c l e a na i r Ｇc o n d i t i o n i n g s ys t e m ;f a nf i l t e r u n i t ;a i r h a n d l i n gpr o c e s s ㊀㊀位于陕西省西安市的某G ４．５代AMO L E D 电子洁净厂房,主要建筑物包括主厂房㊁动力站㊁特气站㊁废水站㊁化学品库㊁办公楼㊁门卫房等.其中,主厂房内根据工艺布局,分为阵列㊁蒸镀㊁模组及MA S K 清洗等生产工艺所在的核心区以及南㊁北侧辅房所在的支持区,总占地面积约３０２５１．２m ２,建筑面积约７６５０３．２m ２.核心区分为下夹层㊁生产工艺层㊁上静压箱层共计３层,下夹层层高６．３５m ,生产工艺层高度６．０m ,上静压箱层高度４．５m ,生产工艺层总面积约２２５００m ２.支持区分为２层,一层层高６．３５m ,二层层高１０．５m .暖通专业设计范围主要包括:主厂房核心区的净化空调系统及工艺废气处理系统,主厂房核心区㊁支持区㊁办公楼的防/排烟系统,支持区㊁办公楼空调/通风系统,特气站㊁化学品库的事故通风系统等.笔者仅就该工程的净化空调系统设计进行介绍和分析.１㊀设计参数室外设计参数根据G B ５００１９２０１５«工业建筑供暖通风与空气调节设计规范»[１]中陕西省西安市气象参数选取.另外,由于生产工艺对净化空调系统可靠性要求较高,冬㊁夏季干球温度取极端值作为设计条件.根据工艺条件及G B ５０４７２２００８«电子工业洁净厂房设计规范»[２]和G B ５００７３２０１３«洁净厂房设计规范»[３],洁净车间室内设计干球温度为２３ħʃ２ħ,相对湿度为５５％ʃ５％,洁净等级及控制粒径如表１所示.㊀６０㊀第２０卷㊀表１㊀洁净车间室内设计参数车间名称洁净等级及控制粒径O H S&S T O C K E R等自动化输送区２．５(１０个/英尺３,＠０．１μm)黄光区㊁E L A区４．５(１００个/英尺３,＠０．３μm)蚀刻㊁彩膜区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)模组区６．５(１００００个/英尺３,＠０．３μm) MA S K清洗区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)其余部分洁净区５．５(１０００个/英尺３,＠０．３μm)注:O H S:空中走行式穿梭车;S T O C K E R:卡匣储存搬送;E L A区:准分子激光退火区;MA S K:掩膜版.２㊀冷㊁热源配置及加湿水源冷源采用低温冷冻水和中温冷冻水[４]:低温冷冻水供/回水温度为７ħ/１４ħ,由动力站冷冻机房内的低温冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的二级表冷;中温冷冻水供/回水温度为１４ħ/２１ħ,由动力站冷冻机房内的中温冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的一级表冷以及洁净厂房内干式冷却盘管.热源采用低温热水,供/回水温度为４０ħ/３２ħ,由动力站冷冻机房内的中温热回收冷水机组供应,主要用于洁净新风机组的一级加热㊁二级加热及淋水室温水加湿板换加热.洁净新风机组采用淋水室温水加湿[５],加湿水源为R O软水.净化空调系统冷㊁热量及加湿软水需求见表２.表２㊀冷㊁热量及软水用量参数用量中温冷冻水新风机组/k W３６３２风机盘管机组/k W５０７２低温冷冻水/k W１９６８低温热水/k W５５９６软水/(k g/h)３５７５低温冷冻水系统配置２台低温冷水机组(容量为６００冷吨/台);中温冷冻水系统配置１台中温冷水机组和３台中温热回收机组(容量为６００冷吨/台).中㊁低温冷冻水系统共用１台低温冷水机组(配置板式换热器)为备用.热水系统使用３台中温热回收机组的热回收水,再配置１台１５００k W 的热水锅炉作为热回收不足时的补充.３㊀净化空调系统设计３１㊀净化空调系统形式除M A S K清洗区之外的洁净区,均选用新风机组＋过滤单元＋风机盘管机组空调形式.其中:新风机组处理室外新风,夏季进行冷却除湿,冬季进行加热加湿,补充工艺各类排气及正压渗透所需要的新风,并满足生产区人员对新风的需求,维持洁净室内正压及湿度,承担新风全部热㊁湿负荷和室内湿负荷;过滤单元用于对洁净等级所需的循环风进行高效过滤并提供循环动力;风机盘管机组负责处理室内显热负荷,控制室内温度.新风机组设置在主厂房南侧支持区二层新风空调机房内,新风管送至核心区上方静压箱,过滤单元布置在吊顶上,下夹层设置风机盘管机组,工艺层与下夹层之间为华夫板/筒和开孔地板.室内气流经华夫筒到下夹层,然后由风机盘管机组降温处理后,经过回风夹道回到上静压箱层,与新风机组处理后的新风混合,再由过滤单元送至吊顶下方的洁净区.M A S K清洗区工艺生产所用化学品原料主要有异丙醇㊁丙酮㊁乙醇等,房间定性为甲类,面积约２２０m２,吊顶高度６m,房间体积为１３２０m３.室内空气不允许循环使用,采用直流式全新风空调系统,即新风机组＋高效过滤单元＋排风机.由于排风气流含有易燃易爆成分,转轮式和板式热回收机组均不适用,溶液循环式热回收机组实际效果也不理想,故参照同类电子工业厂房项目经验,均不对具有易燃易爆危险的M A S K清洁区排风进行热回收.新风机组处理室外新风,夏季进行冷却除湿,冬季进行加热加湿,补充工艺各类排气及正压渗透所需要的新风,并满足生产区人员对新风的需求,新风量取值不小于洁净等级对应的换气次数风量.新风机组设置在主厂房南侧支持区二层新风空调机房内,排风机设置在南侧支持区屋面.新风机组处理后的新风经高效过滤单元后送至吊顶下方的洁净区,排风机通过与下夹层相连的回风夹道排风.３２㊀洁净循环风量及过滤单元选型取洁净车间的洁净等级对应风量和消除室内余热所需风量两者之间的大者,作为洁净循环风量的设计值.洁净工艺区设计㊁计算选型后的过滤单元(规格１．２０mˑ１．２０m)总台数约４８５０台,各洁净分区过滤单元布置率及面风速见表３.２．５级洁净区过滤器选取欧标U１６(M P P Sȡ９９．９９９９５％),４．５级和５．５级洁净区过滤器选取欧标U１５(M P P Sȡ９９．９９９５％),６．５级洁净区过滤器选取欧标H１４(M P P Sȡ９９．９９５％),机外静压需求约１５０P a.表３㊀洁净室过滤单元布置率及面风速房间名称布置率/％面风速/(m/s) O H S&S T O C K E R等自动化输送区１０００．４５黄光区㊁E L A区５００．４０蚀刻㊁彩膜区２００．４０模组区１５０．３５除MA S K清洗区以外洁净区２００．４０㊀第１１期谭月普:电子工业洁净厂房净化空调系统设计６１㊀㊀㊀㊀MA S K 清洗区空调系统为直流式全新风空调系统,高效过滤器选用欧标U １５(MP P S ȡ９９．９９９５％).取工艺排风＋正压渗透所需新风量㊁生产区内人员所需新风量㊁洁净等级需求对应风量㊁消除室内余热所需风量(风量计算时,送风温度须高于洁净室内对应露点温度(１３．５ħ),该项目MA S K 清洗区取１５ħ送风)四者中的大者作为新风机组的设计风量.经计算比较,MA S K 清洗区的新风机组设计风量为７２６００m ３/h ,设计房间换气次数约５５次/时.３３㊀回风夹道㊁风机盘管机组㊁独立回风等设计回风夹道面积根据洁净循环风量计算,应尽量均匀布置.回风夹道风速过大会导致空气循环阻力增大㊁过滤单元功耗增加,回风夹道风速过小则回风夹道占用洁净工艺区面积越大,故回风夹道截面风速一般控制在２~４m /s.风机盘管机组承担了洁净区内显热负荷,需考虑回风夹道长度㊁进出风温差㊁进出风压降㊁空间高度㊁设备造价等因素.设计进出风温差一般ɤ３ħ,盘管截面风速控制在２~３m /s 内,本项目中风机盘管机组盘管总截面面积约１４００m ２.根据工艺资料,自动化输送区㊁黄光㊁蚀刻㊁离子注入㊁清洗等车间存在交叉污染风险.应将此类洁净区下夹层㊁工艺生产层㊁上静压箱层均与其他洁净区隔断,同时相应配置独立的回风夹道,以避免或减轻交叉污染.３４㊀新风机组主要功能段及其处理过程本项目配置７台新风机组,单台新风机组风量８００００m ３/h ,其中MA S K 清洗区新风机组为１用１备,其他洁净区新风机组为４用１备.新风机组功能段由进风段㊁板式初效过滤段㊁中效过滤段㊁一级加热段㊁一级表冷段㊁淋水加湿段㊁二级表冷段㊁二级加热段㊁送风机段㊁均流段㊁化学过滤段(预留)㊁中效过滤段㊁高效过滤段㊁出风段及中间段组成,如图１所示.空气处理焓Ｇ湿图见图２,其中,W 为室外状态点,D 为新风送风状态点,N 为室内状态点.夏季和冬季新风机组处理状态点及处理过程分别见表４和表５.表４和表５中风机温升按式(１)计算:Δt ＝０．０００８ˑHη１η２(１)式中:H 为风机的全压(P a );η１为风机的全压效率;η２为电机效率.计算得到该项目所用新风机组风机温升约２．５ħ图１㊀新风机组功能段示意图㊀６２㊀第２０卷㊀表４㊀夏季新风机组处理状态点及处理过程状态点干球温度/ħ相对湿度/％过程描述功能段冷热源或加湿水源W 室外空气状态点４１．８３４A 一级表冷处理点２０．０９５WңA 降温㊁除湿一级表冷段１４ħ/２１ħ低温水B 二级表冷处理点１４．３９５AңB降温㊁除湿二级表冷段７ħ/１４ħ低温水C 风机出风状态点１６．８８１B ңC 等焓温升D 送风状态点１８．０７５C ңD 等含湿量加热二级加热段４０ħ/３２ħ热水N室内状态点２３．０５５表５㊀冬季新风机组处理空气状态点及处理过程状态点干球温度/ħ含湿量/(g /k g 干空气)过程描述功能段冷热源或加湿水源W 室外空气状态点－１２．８０．８２４A 一级加热处理点３０．００．８２４WңA 等含湿量加热一级加热段４０ħ/３２ħ热水B 淋水加湿处理点１４．３９．７５０AңB增焓加湿温水加湿段R O 水C 风机后出风状态点１６．８９．７５０B ңC 等焓温升D 送风状态点１８．０９．７５０C ңD 等含湿量加热二级加热段４０ħ/３２ħ热水N室内状态点２３．０９．７５０图３㊀洁净区净化空调系统图３５㊀净化空调系统控制３５１㊀洁净区(除M A S K 清洗区)空调系统控制采集新风出风管内露点温度信号控制新风机组回水管上的电动两通阀,同时采集室内湿度信号整定露点温度的设定值,用以控制房间湿度[６].新风机组温㊁湿度控制主要包括以下４点:１)当室外新风露点温度t d p ȡ１３．５ħ(可调)时,关闭一级加热段的电动调节阀,开启并调节一级㊁二级表冷段的电动调节阀,使一级表冷段出风干球温度t d b ＝２０．０ħ,使二级表冷段出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定).２)当室外湿球温度t w b ＜１３．５ħ,露点温t d p＜１３．５ħ时(可调),关闭一级表冷段㊁二级表冷段电动调节阀,打开一级加热段㊁淋水室温水加湿板换电动调节阀,首先调节一级加热段电动调节阀,当开度达到９０％,相对湿度仍偏低时,再开启淋水室温水加湿板换热水管道上的电动调节阀.当室内相对湿度大于需求时,先减小淋水室温水加湿板换热水管道上电动阀的开度,直到其全部关闭,相对湿度仍然偏高时,再调小一级加热段电动调节阀的开度,使加湿后的出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定)).３)当室外湿球温度t w b ȡ１３．５ħ(可调),露点温度t d p ＜１３．５ħ时(可调),关闭一级加热段的电动调节阀,打开淋水泵及一级㊁二级表冷电动调节阀.先调节一级表冷电动调节阀,当全开仍然不能达到要求时,调节二级表冷电动调节阀,使二级表冷出风露点温度t d p ＝１３．５ħ(可根据运行情况,重新设定).４t ＝１８．０ħ㊀第１１期谭月普:电子工业洁净厂房净化空调系统设计６３㊀㊀级加热段的电动调节阀,使送风温度t＝１８．０ħ(可根据运行情况,重新设定),避免结露.此功能为预留,运行时根据运行情况确定是否联动.洁净室内温度控制:以室内某一区域温度信号控制相应区域干式冷却盘管中温水管上的电动两通阀,以满足房间所需温度要求.洁净室内压力控制:以某一区域内压力信号控制相应新风支管上的电动调节阀,以新风总管的压力信号控制新风机组变频运行,以满足室内正压需求.３５２㊀MA S K清洗区净化空调系统控制MA S K清洗区净化空调系统控制与３．５．１节所述类似,但存在不同之处:１)新风机组为定频运行;２)室内设置相对湿度探测,以室内相对湿度信号连续设定新风机组出口的露点温度.３)以室内温度信号调节新风机组二次加热段的电动两通阀开度;４)净化空调为直流式全新风系统,设置３台排风机,２用１备,其中１台排风机兼作事故排风,排风机以室内正压平均值自动调节排风机的转速,确保室内正压需求.４㊀结束语电子工业洁净厂房因工艺复杂㊁厂房空间大㊁环境要求严格,其空调㊁通风系统设计较为复杂,在进行此类厂房的净化空调设计时,须关注以下４个方面:１)合理规划空调机房㊁废气处理设备布置,新风引入口应尽量远离废气排放区域,且位于厂区室外主导风向的上风向,避免废气排放与新风导入产生短路.２)与工艺密切配合,选择合理的净化空调方案㊁气流组织形式,满足生产工艺对室内温度㊁湿度㊁洁净度的需求.３)一次冷却盘管与二次冷却盘管承担的冷负荷比例,应综合考虑盘管的风阻㊁水阻及中低温冷水机组配比等因素.４)AMO L E D厂房工艺及各专业配套系统复杂,在管线平面㊁管井位置㊁侧墙开洞㊁外墙百叶㊁空间利用等方面,设计过程中各专业应及时沟通协调.参考文献[１]㊀工业建筑供暖通风与空气调节设计规范:G B５００１９２０１５[S]．[２]㊀电子工业洁净厂房设计规范:G B５０４７２２００８[S]．[３]㊀洁净厂房设计规范:G B５００７３２０１３[S]．[４]㊀焦俊明,龙孝东．中温水在净化空调系统中的应用及产生方法[J]．制冷与空调,２０１０,１０(２):９８Ｇ１０１．[５]㊀郑文亨,黄翔．喷水室净化处理空调新风[J]．制冷与空调,２００４,４(１):３３Ｇ３６．[６]㊀翟传明,章忠飞,王娟娟,等．电子工业洁净厂房洁净区试运行阶段检测要点分析与探讨[J]．制冷与空调,２０２０,２０(１):１７Ｇ２１．。