多晶硅片质量检验规范

多晶硅片

质量检验规范

编制：赵荣伟

审核：

批准：

年月日发布年月日正式实施

目录

一. 适用范围

二. 引用标准

三. 检验项目

四. 检验工具

五. 实施细则

六. 相关记录

附表1：硅片检验项目及判定标准

附件1：二级硅片分类及标识方法

附件2：125×125mm划片技术要求及标识方法附件3：硅片“亮线”的判定标准

1.适用范围

本细则规定了多晶硅片的电性能、外观尺寸的检验项目、测量器具、检测方法、操作步骤、判定依据，适用于正常生产的多晶硅片的质量检验。

2.引用标准

《Q/BYL02太阳能级多晶硅片》

《太阳能级多晶硅片内控标准》

3.检验项目

电性能、外形尺寸、外观

4.检测工具

硅片自动分选机、游标卡尺（0.02mm）、测厚仪、万能角度尺。

5.实施细则

5.1表面质量

目测外观符合附表1相关要求。对整包硅片重点查看B4，B7、TTV、缺口、碎片、油污等情况；整包里的B4片在迎光侧表现为“亮点”背光侧较暗；

B7、TTV片手感表现较重的，利用分选机重新分选；油污一般为斑点形式，擦拭不掉，无论面积大小均需重新清洗。

5.2 外型尺寸

通过硅片自动分选机分选判定，符合附表1相关要求。

5.3 电性能

依据硅锭／硅块测试数据判定，必要时用相关测试仪器核实。

5.3抽检方法

（1）对硅片车间自检合格的包装硅片或直传片，采取一次抽检（抽检比例８％），不合格比例不高于０.5％。每次抽检不合格率大于0.5%时，通知清洗班长重新分选，对重新分选片抽检合格后可入库。

（2）抽取８％硅片进行检测，其结果作为该批硅片合格的判定依据。

注：针对分选机现状，分选机分选A等硅片由清洗工序包装时进行简易分选；

B3、B5、B9硅片人工分选，B7、B8硅片分选时加大抽检力度，避免不合格硅片混入。

6.相关记录

附表1：硅片检验项目及判定标准

附件1：二级硅片分类及标识方法

按优先级B1至B9无重复排序标示如下：

B1几何尺寸偏差，其它检验参数符合一级品标准。

注：具体情况在标签上注明（尺寸、倒角）。

B2晶粒小，其它检验参数符合一级品标准。

B3少子寿命1～2μｓ，其它检验参数符合一级品标准。

B4小崩边，其它检验参数符合一级品标准。

B5电阻率2～4Ω·ｃｍ，其它检验参数符合一级品标准。

B6 156mm*156mm硅片划片后的125mm*125mm硅片

B7锯痕20～40μｍ或亮线二级（参考《亮线判定标准》。），其它检验参数符合一级品标准。

B8 35um

B9 表面沾污

如果存在两种以上的二级缺陷，以级别较高的等级作为归类依据，优先级别排列如下：

附件2：125×125mm划片技术要求及标识方法

1、156*156硅片划为125*125硅片，少子寿命≥2μｓ，电阻率为0.7-2Ω.ｃｍ，

锯痕小于20μｍ，其它检验参数也符合一级品标准。

2、标识：Ingot（锭号）标 H ，等级标B6。

3、表面沾污的脏面硅片，一定要重新清洗，否则按不合格片处置。

4、划片后,外形尺寸超过125±0.5mm,倒角尺寸超过1.5±0.5mm,角度超过45º

±10°判不合格。

附件3：硅片“亮线”的判定标准

一、亮线处，测试深度小于10µm的硅片

1、单面亮线：

亮线面积大于硅片面积的1/2，为 B7

亮线面积小于硅片面积的1/2，为A 等2、双面亮线：

亮线面积大于硅片面积的1/4，为 B7

亮线面积小于硅片面积的1/4，为A 等

二、亮线处，测试深度10～20µm的硅片

1、单面亮线：

亮线面积大于硅片面积的1/4，为 B7

亮线面积小于硅片面积的1/4，为A 等

2、双面亮线：

亮线面积大于硅片面积的1/2，为不合格亮线面积小于硅片面积的1/2，为B7

注：检测亮线深度使用自动分选设备。 .