单晶制绒工艺
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温度设定值 60℃ 50℃ 80℃ RT RT RT RT RT RT RT RT 60℃ 80℃
时间设定值 4min 3min 25min 3min 3min 3min 7min 3min 7min 3min 3min 5min 7min
初始配液添加量及自动补液量 制绒槽体 配液及添加 NaOH（L） 异丙醇（L) 添加剂（L）水（L) 初始配液 26.5 / / 113.5 去损伤层 自动添加 槽 （每200片） 0.3 / / / 初始配液 4 8.5 0.56 127 制绒槽 自动添加 （每200片） 0.15 0.5 0.03 /
共计（L） 140 / 140.06 /
温度控制范围 60±2℃ 50±2℃ 80±1℃ RT RT RT RT RT RT RT RT 60±2℃ 80±2℃
时间控制范围 4-5min 3±1min 25-30min 3±1min 3±1min 3±1min 7±1min 3±1min 7±1min 3±1min 3±1min 5±1min 7±1min
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
工序 去损伤层 温水隔离 单晶制绒 QDR 纯水清洗 喷淋 HCL处理 纯水清洗 HF处理 喷淋 漂洗 预脱水 槽式烘干
处理液 初始配液浓度 NaOH 7% DI水 / NaOH/IPA/添加剂 1%/6%/0.4% DI水 / DI水 / DI水 / HCL 10% DI水 / HF 10% DI水 / DI水 / DI水 / 热空气 /
酸洗槽体 配液及添加 HCL（L) 初始配液 / 氢氟酸槽 自动添加 （每200片） / 初始配液 盐酸槽 自动添加 （每200片）
HF（L)
水（L) 共计（L) 25.3 114.7 140 0.5 / / 106.5 பைடு நூலகம் / 140
33.5 / 0.5 /
浓度控制范围 7±0.2% / ±0.1% / / / ±0.5% / ±0.5% / / / /