版图设计基础new

合集下载
  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

绘图层
• • • • • • • • • • N阱层(N Well) 有源区层(Active) 多晶硅栅层(Poly) P选择层(P Select) N选择层(N Select) 接触孔层(Contact) 通孔层(Via) 金属层(Metal) 文字标注层(Text) 焊盘层(Pad)
N阱层(N well)
• 多晶硅接触孔:用来连接第一层金属和多晶硅栅,其形状 通常也是正方形
通孔:用于相邻两金属层的连接,其形状也是正方形。在面积允许 的情况下应尽可能多的打通孔 在版图设计中,接触孔只有一层,而通孔可能需要很多层。连接 第一层和第二层金属的通孔表示为V1,连接第二层和第三层金属的 通孔表示为V2
• 文字标注层 用于版图中的文字标注,目的是方便设计 者对器件、信号线、电源线、地线等进行 标注,便于版图的查看,尤其是在进行验 证的时候,便于查找错误的位置。在进行 版图制造的时候并不会生成相应的掩膜层 焊盘层 提供芯片内部信号到封装接脚的连接,其 尺寸通常定义为绑定导线需要的最小尺寸
active
poly
MASK poly
光刻胶 场氧 场氧 poly 场氧 SiO2
Pwell N well SiO2 P-type Si
MASK poly
光刻胶 场氧 场氧 poly 场氧 SiO2
Pwell N well SiO2 P-type Si
场氧
场氧
poly
场氧 SiO2
Pwell N well SiO2 P-type Si
接触孔层和通孔层
• 接触孔包括有源区接触孔(Active Contact)和多晶硅接 触孔(poly contact) • 有源区接触孔用来连接第一层金属和N+或P+区域,在版 图设计中有源区接触孔的形状通常是正方形。 • 应该尽可能多地打接触孔,这是因为接触孔是由金属形成, 存在一定的阻值,假设每个接触孔的阻值是R,多个接触 孔相当于多个并联的电阻
Pwell N well SiO2 P-type Si
P+ implant
光刻胶 场氧 场氧 poly 场氧 SiO2
Pwell N well SiO2 P-type Si S/D
Nwell Active
N well
Poly
P+ implant N+ implant Omicontact Metal
场氧
场氧
Si3N4
场氧 SiO2
Pwell N well SiO2 P-type Si
场氧
场氧
场氧 SiO2 Pwell N well
P-type Si
场氧
场氧
poly
场氧 SiO2
Pwell N well SiO2 P-type Si
N well Active
N well
Poly
P+ implant N+ implant Omicontact Metal
第四章
版图设计基础
版图设计的概念
版图(Layout)是集成电路设计者将设计并模拟 优化后的电路转化成的一系列几何图形,它包含 了集成电路尺寸大小、各层拓扑定义等有关器件 的所有物理信息。集成电路制造厂家根据这些信 息来制造掩膜。
版图是包含集成电路的器件类型、器件尺寸、器件之 间的相对位置及各个器件之间的连接关系等相关物理信息 的图形,这些图形由位于不同绘图层上的基本几何图形构 成。
active
MASK Active 光刻胶
MASK active
Si3N4
SiO2
N well SiO2 P-type Si
MASK Active 光刻胶
MASK active 光刻胶 Si3N4 SiO2
N well SiO2 P-type Si
光刻胶
光刻胶 Si3N4 SiO2
N well SiO2 P-type Si
版图设计(物理层设计)
• 版图设计的目标:实现电路正确物理连接,将设计好的 电路映射到硅片上进行生产。芯片面积最小,性能优化 (连线总延迟最小) 集成电路设计的最终目标
• 版图设计的重要性:
电路功能和性能的物理实现;
布局、布线方案决定着芯片正常工作、面积、速度; • 经验很重要。 版图设计包括: 基本元器件版图设计; 布局和布线; 版图检验与分析。
硅芯片上的电子世界--电容
• 电容:一对电极中间夹一层电介质的三明治结构; • 硅芯片上的薄膜电容:
几十微米
上电极:金属或多晶硅 氧化硅电介质 下电极:金属或多晶硅 硅片
• 集成电路中的集成电容
• 金属-金属(多层金属工艺,MIM) • 金属-多晶硅 • 多晶硅-多晶硅(双层多晶硅工艺,PIP)
I
VGS
V
VTP
D
G
O (b)
I IDS
VDS VGS VT
在模拟集成电路中MOS管可以做有源电阻,例如,把它的栅 极和漏极相连, MOS管始终处于饱和区就形成了一个非线性 电阻
• 集成电容 • * 两端元件,电荷的容器——Q=CV • * 最基本的无源元件之一,是电源滤波电路, 信号滤波电路,开关电容电路中必不可少 的元件
方块电阻: R=ρL/S=ρL/dW=(ρ/d)L/W R = ρ/d R=R L/W 方块电阻与半导体的掺杂水平和掺杂区的结深有关 对于集成电路来说,方块电阻是基本单位,量纲是Ω/ 只要知道材料的方块电阻,就可以根据所需要的电阻值计算 出电阻的方块数,即电阻条的长度和宽度比 栅极多晶:2-3 Ω/ ;金属:20-100m Ω/ 多晶:20-30 Ω/ ;扩散区:2-200 Ω/
P select
Poly
Active contact
metal1
N well
PMOS晶体管的版图
active N select
P select
Poly
Active contact
metal1
NMOS晶体管的版图
• 集成电路中的电阻分为:无源电阻和有源电阻, • 无源电阻通常是采用掺杂半导体或合金材料制作而成 • 有源电阻则是将晶体管进行适当的连接和偏置,利用晶体管在不同的 工作区所表现出来的不同电阻特性来做电阻
场氧
场氧
poly
场氧 SiO2
Pwell N well SiO2 P-type Si
Nwell Active
N well
Poly
P+ implant N+ implant Omicontact Metal
P+ implant active poly
MASK P+
光刻胶 场氧 场氧 poly 场氧 SiO2
“N阱”用来确定N型衬底的区域。
有源区层(Active) 有源区是晶体管的源区和漏区建立的基础源区和漏区是通 过多晶硅栅两旁的有源区来确定,有源区旁的场氧化区起隔 离作用。
N选择层和P选择层(N select 、P select)
MOS晶体管有源区是通过将N型杂质离子或P型 杂质离子注入到N选择层或P选择层掩膜定义的衬 底的区域中形成,所以N选择层或P选择层用来定 义覆盖包含有源区的区域 N选择层(P选择层)和有源区共同形成了扩散 区(ndiff 或diff,又称N+或P+)
• 金属-扩散区
• 多晶硅-扩散区 • PN结电容 • MOS电容:多晶硅栅极与沟道(源/漏极)
绘图层 •
版图设计师所需绘制版图的分层数目已经减小 到制版工艺所要求的最小数目,这个最小数目的 层称为绘图层。 • 绘图层数目的最小化,降低了CAD软件的计算 需求,减小了人为错误并简化了分层管理,生成 光学掩膜的掩膜层或者分层的形状有时会可能比绘图层多很多。附加的掩 膜层是从绘图层中自动生成的。 • 为了适应制造工艺的变化,掩膜层的尺寸可能 会根据绘图层做一定的调整。这个调整会由制版 工艺自动生成。所提到的“层”,都是指绘图层
P+ implant N+ implant active poly
omicontact
metal
Nwell Active Poly P+ implant
N well
N+ implant
Omicontact Metal
P+ implant N+ implant active poly
active N select
P型衬底
多晶硅电阻版图设计
• 比例电阻的版图结构 需5K,10K,15K电阻,采用5K单位电阻:
(2)扩散电阻 在源漏扩散时形成,有N+扩散和P+扩散电阻。在CMOS N阱 工艺下,N+扩散电阻是做在PSUB上,P+扩散是在N阱里。 N+扩散电阻 P+扩散电阻 N+ 接电源 PN结反 型隔离
P型衬底
硅芯片上的电子世界--电阻
• 电阻:具有稳定的导电能力(半导体、导体);
• 芯片上的电阻:薄膜电阻;
宽度:微米 薄膜电阻
厚度:百纳米 硅片
电阻的版图设计 • MOS集成电路中的无源电阻
• 扩散电阻、多晶硅电阻、阱电阻
(1)多晶硅电阻 最常用,结构简单。在场氧(非薄氧区域)。 多晶硅电阻(poly) 电阻值:掺杂浓度、 多晶硅的厚度、 多晶硅的长宽比、
版图设计过程
(四)布线 • 模块位置确定之后,把各个模块的相应端口按一 定的规则和电路的要求,用互连线连接起来。布 线应达到下列要求: • 布线的总长度最短; • 分布均匀; • 布通率尽可能达到100%。 • 布线的优劣决定电路的工作速度和芯片面积大小。 决定VLSI芯片工作速度的主要因素,实际上往往 不是MOS或双极晶体管本身,而是互连线造成的 延迟。过长的互连线使电路性能降低。当自动布 线难以达到100%的布通率时,可用人机交互方 式进行人工干涉。
P-type Si
MASK Pwell 光刻胶 SiO2 光刻胶
P-type Si
光刻胶 SiO2
光刻胶 SiO2
P-type Si
SiO2
SiO2
N well
P-type Si
N well Active
N well
Poly
P+ implant N+ implant Omicontact Metal
P+接地 PN结反 型隔离
P型衬底
N阱
(3)阱电阻 阱电阻就是一N阱条,两头进行N+扩散以进行接触。 阱电阻(N- Well)
P型衬底
N阱
(4)MOS集成电路中的有源电阻 利用MOS管的沟道电阻。所占的芯片面积要比其他电阻小 的多,但它是一个非线性的电阻(电阻大小与端电压有关)。
IDS I + V S (a) VTN V VGS D O G S + V I
多晶硅栅层 • 栅极通常用多晶硅来进行沉积。 • 多晶硅还可以用来生成电阻 • 互连,电阻较大,仅用于内部单元,防止 走线太长而增加电阻值
金属层
• 金属层在集成电路芯片中起到互连的作用 • 金属层数的多少表示了集成电路芯片的复杂程度 • 在版图设计中,金属层用线条来表示,线条拐角 可以是90也可以是45,不同金属通常用M1、M2、 M3等来表示,并用不同的颜色的线条来进行区别 • 用来进行电源线和地线的布线。在布电源线的时 候,金属线条的宽度通常要大于设计规则中定义 的最小宽度,防止电流过大将金属线条熔断,造 成断路现象
版图设计过程
• 版图设计主要包括模块设计、芯片规划、布局、 布线等,是一个组合规划和巧拼图形的工作。 在一个规则形伏(一般为长方形)平面区域内 不重叠地布局多个模块(亦称部件),在各模 块之间按电路连接信息的要求逐行布线。版图 设计是从逻辑信息向几何信息的转换。
版图设计过程
(一)模块设计 • 芯片设计中最小的单位是元件,设计过程从元件,门, 基本单元,宏单元,芯片,从小到大进行。基本单元 和宏单元可视为模块。模块设计是最基本的环节。 (二)芯片规划 • 根据已知的模块数量和线网连接表来估算芯片面积, 其中模块大约占用一半,另一半用来作为布线通道。 三)布局 • 布局是指如何把各个模块合理地排布在芯片上,怎样 确定每个模块的最佳位置,以使占用芯片面积为最小 且布线结果又最好。
omicontact
A PMOS Example
metal
N well
P+ implant N+ implant active poly
Nwell Active
Nwell
Poly
P+ implant N+ implant Omicontact Metal

MASK Pwell 光刻胶 SiO2
N+ implant
active
poly

MASK N+
光刻胶 场氧 场氧 poly 场氧 SiO2
Pwell N well SiO2 P-type Si S/D
omicontact
Nwell
Active Poly P+ implant N+ implant Omicontact Metal
N well
相关文档
最新文档