BPG 电离皮拉尼复合规
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1) 除气过程中精度降低 2) 3)
BPG400 显示器
毫巴 ( 乇) % 读值 % 读值 毫巴 巴 (绝对) °C °C °C °C °C 伏/安直流 伏 伏 伏/量级 伏 kΩ
5 x 10 ±15 5 电子轰击, 至多 3 分钟 2 0 … +50 -20 … +70
-10
… 1000 (3.8 x 10 -10 … 750)
米 ( 呎) 厘米3 (吋)3 克
150 80 150 20 … 28 / 0.8 0 … +10 0.774 … 10 0.75 0.3 / 0.5 10 RS232C D-sub, 15 脚, 插头型 100 (330) 氧化钇, 铱, 铂, 钼, 铜, 钨, NiFe, NiCr, 不锈钢, 玻璃 24 (1.46) / 34 (2.1) 285 / 550 IP30
真空控制产品目录 2011 - A34
真空计 B-A 型皮拉尼真空计
BPG402-S (续)
技术规范
BPG402-S / -SL 标准
测量范围 (空气, O2, CO, N2) 精度 10-8 … 10-2毫巴 重复性 10-8 … 10-2毫巴 p < 7.2 x 10-6 除气1) 压强, 最大 温度 工作 (室温) 贮存 烘烤, 在法兰处, 无电子学 BPG402-S BPG402-SL 电源电压 输出讯号模拟 测量范围 电压与压强的关系 误差讯号 负载阻抗, 最小 设点继电器 范围 继电器触点 滞后 触点额定值 数字功能 接口 (数字) 2) 发射控制 灯丝 灯丝状态 电连接件 电缆长度, 最大3) 暴露于真空的材料 内容积 KF / CF 重量 KF / CF 保护类型
■
用途
■ ■ ■
半导体工艺过程和传输室中的压强测量 工业镀膜 从低至超高真空范围的一般真空测量和控制
订购资wenku.baidu.com 型号 BPG402-S
无显示器
BPG402-S
带显示器
BPG402-SL
带长管 无显示器
BPG402-SP
带 Profibus DP
BPG402-SD
带 DeviceNetTM
DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 更换用传感器 25 ISO-KF 更换用传感器 40 CF-R
B-A 型皮拉尼真空计
真空计
B-A 型皮拉尼真空计
BPG400
INFICON B-A 型皮拉尼复合真空计, BPG400, 将两种真空计集成在一个简单小 型的 单元内, 测量范围从 5 x 10-10毫巴至大气压 (3.8 x 10-10乇至大气压). 复合 技术降低了安装, 设置和集成的复杂性. 选择一个经济型规管内的 BPG400 用于 普及和可再现过程中的基本压强测量.
模拟功能 设点继电器 范围 继电器触点 滞后 触点额定值 Profibus DP 的连接件 BPG 的连接件 (模拟输出, 电源电压, 设点)
毫巴 % 读值 伏/安直流
A31 - 真空控制产品目录 2011
B-A 型皮拉尼真空计
真空计
BPG400 (续)
技术规范
BPG400-SD DeviceNet™
带 Profibus DP
BPG400-SD
带 DeviceNetTM
BPG400-SR
带 RS485
353-500 353-502 354-490 354-491
353-501 353-503 354-490 354-491
353-505 353-506 354-490 354-491
353-507 353-508 354-490 354-491
353-509 353-513 354-490 354-491
附件 电源 24 伏直流 / RS232C 线 烘烤延伸件, 100 毫米 (3.94 吋) 障板 带障板的对中环 DN 25 ISO-KF 353-511 353-510 353-512 211-113
真空控制产品目录 2011 - A30
模拟功能 设点继电器 范围 继电器触点 滞后 触点额定值 RS485 的连接件 BPG 的连接件 (模拟输出, 电源电压, 设点)
毫巴 % 读值 伏/安直流
真空控制产品目录 2011 - A32
真空计 B-A 型皮拉尼真空计
BPG400 (续)
尺寸
附件 电源 24 伏直流 / RS232C 线
D-Sub, 15 脚, 插座型 5米 24 伏直流电源 5米 RS232 至 PC / PLC D-Sub, 9 脚, 插座型,
RS232C 或 VGC400 系列控制器与 Fieldbus 不允许同时使用 用于 RS232C 运行 <30 米
技术规范
BPG400-SP Profibus DP
波特率 寻址 数字功能 千波特 兆波特 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 1.5 / 12 两个开关 (寻址 00 - 127) 或网络可编程 读压强, 选单位: 乇, 毫巴, 帕 除气功能, 皮拉尼全刻度调整, 监测真空计状态 安全状态允许定义出现误差时的动作 详细的报警和警告信息 0 … 10 伏模拟输出压强指示 两个设点继电器 A + B 2 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 60 / 0.5 D-sub, 9 脚, 插座型 D-sub, 15 脚, 插头型
353-570 353-571 354-494 354-495
353-572 353-573 354-494 354-495
– 353-578 – 354-496
353-574 353-575 354-494 354-495
353-576 353-577 354-494 354-495
附件 电源 24 伏直流 / RS232C 线 障板 带障板的对中环 DN 25 ISO-KF 353-511 353-512 211-113
1.8 米 90 … 250 伏交流电源
毫米(吋)
烘烤延伸件:
法兰温度高至 150°C 时, 可测量 快速和容易安装.
障板:
防止污染传感器. 易安装在真空连接件中 – 无需工具. 标准型 障板型
A33 - 真空控制产品目录 2011
TIBA15E1-B
B-A 型皮拉尼真空计
真空计
B-A 型皮拉尼真空计
波特率 寻址 数字功能 千波特 0.3 / 1.2 / 2.4 / 4.8 / 9.6 / 19.2 / 28.8 两个开关 (寻址 00 - 127) 或可编程网络 读压强, 选单位: 乇, 毫巴, 帕 除气功能, 皮拉尼全刻度调整 监测真空计状态 详细的报警和警告信息 0 … 10伏模拟输出压强指示 两个设点继电器 A + B 2 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 60 / 0.5 D-sub, 9 脚, 插头型 D-sub, 15脚, 插头型
优势
■ ■ ■ ■ ■ ■
极宽的测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压) 极好的重复性, 过程压强范围从 10-8 … 10-2 毫巴均为 5% 皮拉尼联锁保护 B-A 型系统, 防止灯丝过早烧毁和高压强运行产生的污染 敷涂铱的氧化钇长寿命灯丝 可选图形显示和 Fieldbus 接口 自动高真空皮拉尼调整, 减少操作人员的干预
用途
■ ■ ■
半导体工艺过程和传输室中的压强测量 工业镀膜 从低至超高真空范围的一般真空测量和控制
订购资料 型号 DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 更换用传感器 25 ISO-KF 更换用传感器 40 CF-R BPG400
无 LCD 显示器
BPG400
带 LCD 显示器
BPG400-SP
1) 除气过程中精度降低 2) 3)
BPG402-S 显示器
毫巴 ( 乇) % 读值 % 读值 毫巴 巴 (绝对) °C °C °C °C 伏/安直流 伏 伏 伏/量级 伏 kΩ 毫巴 %读值 伏/安直流
5 x 10 ±15 5
-10
… 1000 (3.8 x 10 -10 … 750)
电子轰击, 至多 3 分钟 2 0 … +50 -20 … +70 80 150 20 … 28 / 0.8 0 … +10 0.774 … 10 0.75 0.3 / 0.5 10 1 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 ≤ 30 / ≤0.5 除气 RS232C 自动/手动, 通过接口 双涂敷铱的氧化钇灯丝 LED /数字输出 D-sub, 15脚, 插头型 100 (330) 氧化钇, 铱, 铂, 钼, 铜, 钨, NiFe, NiCr, 不锈钢, 玻璃 24 (1.46) / 34 (2.1) 285 / 550 IP30
真空计 B-A 型皮拉尼真空计
BPG400 (续)
技术规范
BPG400 标准
测量范围 (空气, O2, CO, N2) 精度 10-8 … 10-2 毫巴 -8 重复性 10 … 10-2 毫巴 R 1) p < 7.2 x 10-6 除气 压强, 最大 温度 工作 (室温) 贮存 烘烤 带延伸件的法兰处 无延伸件的法兰处 电子学卸除 电源 输出讯号模拟 测量范围 电压与压强的关系 误差讯号 负载阻抗, 最小 接口 (数字) 2) 电连接件 电缆长度, 最大3) 暴露于真空的材料 内容积 KF / CF 重量 KF / CF 保护类型
优势
■ ■ ■ ■ ■ ■
.
极宽的测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压) 极好的重复性, 过程压强范围从 10-8 … 10-2 毫巴均为 5% 皮拉尼联锁保护 B-A 型系统, 防止灯丝过早烧毁和高压强运行产生的污染 两根敷涂铱的氧化钇长寿命灯丝 可选图形显示和 Fieldbus 接口 自动高真空皮拉尼调整, 减少操作人员的干预 易于更换传感元件, 带有在机校准数据保证高度的重复性
米 (呎) 厘米3 (吋3) 克
RS232C 或 VGC400 系列控制器与 Fieldbus 不允许同时使用 用于 RS232C 运行 <30 米
A35 - 真空控制产品目录 2011
B-A 型皮拉尼真空计
真空计
BPG402-S (续)
技术规范
BPG402-SP Profibus DP
波特率 寻址 数字功能 千波特 兆波特 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 1.5 / 12 两个开关 (寻址 00 - 127) 或网络可编程 读压强, 选单位: 乇, 毫巴, 帕 发射控制, 除气功能 监测真空计状态, 灯丝状态 安全状态允许定义出现误差时的动作 详细的报警和警告信息 0 … 10 伏模拟输出压强指示 两个设点继电器 A + B 2 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 ≤ 30 / ≤0.5 D-sub, 9 脚, 插座型 D-sub, 15 脚, 插头型
BPG402-S
INFICON B-A 型皮拉尼复合真空计, BPG402-S, 将两种真空计集成在一个简单 小型的单元内, 测量范围从 5 x 10-10毫巴至大气压 (3.8 x 10-10乇至大气压). 复合技 术降低了安装, 设置和集成的复杂性. 选择一个经济型规管内的 BPG402-S 带有两 根敷涂铱的氧化钇灯丝, 用于普及和可再现过程中的基本压强测量. 当更换传感器 时, 带有在机校准数据的传感元件保证高度的重复性.
协议 数据率转换 电缆长度 125千波特 250千波特 500千波特 MAC ID 数字功能 千波特 米 ( 呎) 米 ( 呎) 米 ( 呎) DeviceNet™, 仅组 2 从属 125, 250, 500 或可编程网络 500 (1650) 250 (825) 100 (330) 两个开关 (寻址 00 - 63) 或可编程网络 读压强, 选单位: 乇, 毫巴, 帕 除气功能, 皮拉尼全刻度调整 监测真空计状态 安全状态允许定义出现误差时的动作 详细的报警和警告信息 0 … 10 伏模拟输出压强指示 两个设点继电器 A + B DeviceNet™ ” 真空计设备分布” “CG” 用于复合真空计 仅轮询 2 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 60 / 0.5 11 … 25 / 0.5 20 … 28 / 0.8 微型, 5 脚 D-sub, 15脚, 插头型
模拟功能 技术规范 设备类型 I / O 从属传讯 设点继电器 范围 继电器触点 滞后 触点额定值 DeviceNet™供电电压 真空计供电电压 DeviceNet™的连接件 BPG的连接件 (模拟输出, 供电电压, 设点)
毫巴 % 读值 伏/安直流 伏/安直流 伏/安直流
技术规范
BPG400-SR RS485
BPG400 显示器
毫巴 ( 乇) % 读值 % 读值 毫巴 巴 (绝对) °C °C °C °C °C 伏/安直流 伏 伏 伏/量级 伏 kΩ
5 x 10 ±15 5 电子轰击, 至多 3 分钟 2 0 … +50 -20 … +70
-10
… 1000 (3.8 x 10 -10 … 750)
米 ( 呎) 厘米3 (吋)3 克
150 80 150 20 … 28 / 0.8 0 … +10 0.774 … 10 0.75 0.3 / 0.5 10 RS232C D-sub, 15 脚, 插头型 100 (330) 氧化钇, 铱, 铂, 钼, 铜, 钨, NiFe, NiCr, 不锈钢, 玻璃 24 (1.46) / 34 (2.1) 285 / 550 IP30
真空控制产品目录 2011 - A34
真空计 B-A 型皮拉尼真空计
BPG402-S (续)
技术规范
BPG402-S / -SL 标准
测量范围 (空气, O2, CO, N2) 精度 10-8 … 10-2毫巴 重复性 10-8 … 10-2毫巴 p < 7.2 x 10-6 除气1) 压强, 最大 温度 工作 (室温) 贮存 烘烤, 在法兰处, 无电子学 BPG402-S BPG402-SL 电源电压 输出讯号模拟 测量范围 电压与压强的关系 误差讯号 负载阻抗, 最小 设点继电器 范围 继电器触点 滞后 触点额定值 数字功能 接口 (数字) 2) 发射控制 灯丝 灯丝状态 电连接件 电缆长度, 最大3) 暴露于真空的材料 内容积 KF / CF 重量 KF / CF 保护类型
■
用途
■ ■ ■
半导体工艺过程和传输室中的压强测量 工业镀膜 从低至超高真空范围的一般真空测量和控制
订购资wenku.baidu.com 型号 BPG402-S
无显示器
BPG402-S
带显示器
BPG402-SL
带长管 无显示器
BPG402-SP
带 Profibus DP
BPG402-SD
带 DeviceNetTM
DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 更换用传感器 25 ISO-KF 更换用传感器 40 CF-R
B-A 型皮拉尼真空计
真空计
B-A 型皮拉尼真空计
BPG400
INFICON B-A 型皮拉尼复合真空计, BPG400, 将两种真空计集成在一个简单小 型的 单元内, 测量范围从 5 x 10-10毫巴至大气压 (3.8 x 10-10乇至大气压). 复合 技术降低了安装, 设置和集成的复杂性. 选择一个经济型规管内的 BPG400 用于 普及和可再现过程中的基本压强测量.
模拟功能 设点继电器 范围 继电器触点 滞后 触点额定值 Profibus DP 的连接件 BPG 的连接件 (模拟输出, 电源电压, 设点)
毫巴 % 读值 伏/安直流
A31 - 真空控制产品目录 2011
B-A 型皮拉尼真空计
真空计
BPG400 (续)
技术规范
BPG400-SD DeviceNet™
带 Profibus DP
BPG400-SD
带 DeviceNetTM
BPG400-SR
带 RS485
353-500 353-502 354-490 354-491
353-501 353-503 354-490 354-491
353-505 353-506 354-490 354-491
353-507 353-508 354-490 354-491
353-509 353-513 354-490 354-491
附件 电源 24 伏直流 / RS232C 线 烘烤延伸件, 100 毫米 (3.94 吋) 障板 带障板的对中环 DN 25 ISO-KF 353-511 353-510 353-512 211-113
真空控制产品目录 2011 - A30
模拟功能 设点继电器 范围 继电器触点 滞后 触点额定值 RS485 的连接件 BPG 的连接件 (模拟输出, 电源电压, 设点)
毫巴 % 读值 伏/安直流
真空控制产品目录 2011 - A32
真空计 B-A 型皮拉尼真空计
BPG400 (续)
尺寸
附件 电源 24 伏直流 / RS232C 线
D-Sub, 15 脚, 插座型 5米 24 伏直流电源 5米 RS232 至 PC / PLC D-Sub, 9 脚, 插座型,
RS232C 或 VGC400 系列控制器与 Fieldbus 不允许同时使用 用于 RS232C 运行 <30 米
技术规范
BPG400-SP Profibus DP
波特率 寻址 数字功能 千波特 兆波特 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 1.5 / 12 两个开关 (寻址 00 - 127) 或网络可编程 读压强, 选单位: 乇, 毫巴, 帕 除气功能, 皮拉尼全刻度调整, 监测真空计状态 安全状态允许定义出现误差时的动作 详细的报警和警告信息 0 … 10 伏模拟输出压强指示 两个设点继电器 A + B 2 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 60 / 0.5 D-sub, 9 脚, 插座型 D-sub, 15 脚, 插头型
353-570 353-571 354-494 354-495
353-572 353-573 354-494 354-495
– 353-578 – 354-496
353-574 353-575 354-494 354-495
353-576 353-577 354-494 354-495
附件 电源 24 伏直流 / RS232C 线 障板 带障板的对中环 DN 25 ISO-KF 353-511 353-512 211-113
1.8 米 90 … 250 伏交流电源
毫米(吋)
烘烤延伸件:
法兰温度高至 150°C 时, 可测量 快速和容易安装.
障板:
防止污染传感器. 易安装在真空连接件中 – 无需工具. 标准型 障板型
A33 - 真空控制产品目录 2011
TIBA15E1-B
B-A 型皮拉尼真空计
真空计
B-A 型皮拉尼真空计
波特率 寻址 数字功能 千波特 0.3 / 1.2 / 2.4 / 4.8 / 9.6 / 19.2 / 28.8 两个开关 (寻址 00 - 127) 或可编程网络 读压强, 选单位: 乇, 毫巴, 帕 除气功能, 皮拉尼全刻度调整 监测真空计状态 详细的报警和警告信息 0 … 10伏模拟输出压强指示 两个设点继电器 A + B 2 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 60 / 0.5 D-sub, 9 脚, 插头型 D-sub, 15脚, 插头型
优势
■ ■ ■ ■ ■ ■
极宽的测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压) 极好的重复性, 过程压强范围从 10-8 … 10-2 毫巴均为 5% 皮拉尼联锁保护 B-A 型系统, 防止灯丝过早烧毁和高压强运行产生的污染 敷涂铱的氧化钇长寿命灯丝 可选图形显示和 Fieldbus 接口 自动高真空皮拉尼调整, 减少操作人员的干预
用途
■ ■ ■
半导体工艺过程和传输室中的压强测量 工业镀膜 从低至超高真空范围的一般真空测量和控制
订购资料 型号 DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 更换用传感器 25 ISO-KF 更换用传感器 40 CF-R BPG400
无 LCD 显示器
BPG400
带 LCD 显示器
BPG400-SP
1) 除气过程中精度降低 2) 3)
BPG402-S 显示器
毫巴 ( 乇) % 读值 % 读值 毫巴 巴 (绝对) °C °C °C °C 伏/安直流 伏 伏 伏/量级 伏 kΩ 毫巴 %读值 伏/安直流
5 x 10 ±15 5
-10
… 1000 (3.8 x 10 -10 … 750)
电子轰击, 至多 3 分钟 2 0 … +50 -20 … +70 80 150 20 … 28 / 0.8 0 … +10 0.774 … 10 0.75 0.3 / 0.5 10 1 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 ≤ 30 / ≤0.5 除气 RS232C 自动/手动, 通过接口 双涂敷铱的氧化钇灯丝 LED /数字输出 D-sub, 15脚, 插头型 100 (330) 氧化钇, 铱, 铂, 钼, 铜, 钨, NiFe, NiCr, 不锈钢, 玻璃 24 (1.46) / 34 (2.1) 285 / 550 IP30
真空计 B-A 型皮拉尼真空计
BPG400 (续)
技术规范
BPG400 标准
测量范围 (空气, O2, CO, N2) 精度 10-8 … 10-2 毫巴 -8 重复性 10 … 10-2 毫巴 R 1) p < 7.2 x 10-6 除气 压强, 最大 温度 工作 (室温) 贮存 烘烤 带延伸件的法兰处 无延伸件的法兰处 电子学卸除 电源 输出讯号模拟 测量范围 电压与压强的关系 误差讯号 负载阻抗, 最小 接口 (数字) 2) 电连接件 电缆长度, 最大3) 暴露于真空的材料 内容积 KF / CF 重量 KF / CF 保护类型
优势
■ ■ ■ ■ ■ ■
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极宽的测量范围从 5 x 10-10 毫巴至大气压 (3.8 x 10-10 乇至大气压) 极好的重复性, 过程压强范围从 10-8 … 10-2 毫巴均为 5% 皮拉尼联锁保护 B-A 型系统, 防止灯丝过早烧毁和高压强运行产生的污染 两根敷涂铱的氧化钇长寿命灯丝 可选图形显示和 Fieldbus 接口 自动高真空皮拉尼调整, 减少操作人员的干预 易于更换传感元件, 带有在机校准数据保证高度的重复性
米 (呎) 厘米3 (吋3) 克
RS232C 或 VGC400 系列控制器与 Fieldbus 不允许同时使用 用于 RS232C 运行 <30 米
A35 - 真空控制产品目录 2011
B-A 型皮拉尼真空计
真空计
BPG402-S (续)
技术规范
BPG402-SP Profibus DP
波特率 寻址 数字功能 千波特 兆波特 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 1.5 / 12 两个开关 (寻址 00 - 127) 或网络可编程 读压强, 选单位: 乇, 毫巴, 帕 发射控制, 除气功能 监测真空计状态, 灯丝状态 安全状态允许定义出现误差时的动作 详细的报警和警告信息 0 … 10 伏模拟输出压强指示 两个设点继电器 A + B 2 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 ≤ 30 / ≤0.5 D-sub, 9 脚, 插座型 D-sub, 15 脚, 插头型
BPG402-S
INFICON B-A 型皮拉尼复合真空计, BPG402-S, 将两种真空计集成在一个简单 小型的单元内, 测量范围从 5 x 10-10毫巴至大气压 (3.8 x 10-10乇至大气压). 复合技 术降低了安装, 设置和集成的复杂性. 选择一个经济型规管内的 BPG402-S 带有两 根敷涂铱的氧化钇灯丝, 用于普及和可再现过程中的基本压强测量. 当更换传感器 时, 带有在机校准数据的传感元件保证高度的重复性.
协议 数据率转换 电缆长度 125千波特 250千波特 500千波特 MAC ID 数字功能 千波特 米 ( 呎) 米 ( 呎) 米 ( 呎) DeviceNet™, 仅组 2 从属 125, 250, 500 或可编程网络 500 (1650) 250 (825) 100 (330) 两个开关 (寻址 00 - 63) 或可编程网络 读压强, 选单位: 乇, 毫巴, 帕 除气功能, 皮拉尼全刻度调整 监测真空计状态 安全状态允许定义出现误差时的动作 详细的报警和警告信息 0 … 10 伏模拟输出压强指示 两个设点继电器 A + B DeviceNet™ ” 真空计设备分布” “CG” 用于复合真空计 仅轮询 2 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 60 / 0.5 11 … 25 / 0.5 20 … 28 / 0.8 微型, 5 脚 D-sub, 15脚, 插头型
模拟功能 技术规范 设备类型 I / O 从属传讯 设点继电器 范围 继电器触点 滞后 触点额定值 DeviceNet™供电电压 真空计供电电压 DeviceNet™的连接件 BPG的连接件 (模拟输出, 供电电压, 设点)
毫巴 % 读值 伏/安直流 伏/安直流 伏/安直流
技术规范
BPG400-SR RS485