【CN209981235U】一种基于声子激元增强的石墨烯中红外光探测器【专利】
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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 201920472001.4
(22)申请日 2019.04.09
(73)专利权人 深圳激子科技有限公司
地址 518067 广东省深圳市南山区南山街
道东滨路永新时代广场2号楼5层5241
室
(72)发明人 鲍小志 马玮良 欧清东
(74)专利代理机构 北京轻创知识产权代理有限
公司 11212
代理人 谈杰
(51)Int.Cl.
H01L 31/0264(2006.01)
H01L 31/09(2006.01)
(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(54)实用新型名称
一种基于声子激元增强的石墨烯中红外光
探测器
(57)摘要
一种基于声子激元增强的石墨烯中红外光
探测器，属于中红外光探测技术领域。本实用新
型包括自下而上依次层叠设置的硅衬底、二氧化
硅层、石墨烯层以及覆盖在石墨烯层上的三氧化
钼微纳结构阵列；三氧化钼微纳结构阵列与石墨
烯层形成声子激元增强的异质结构；石墨烯层边
缘上方设置有电极，电极延伸到三氧化钼微纳结
构阵列与石墨烯层重叠区域。为解决上述技术问
题，本实用新型实现了在中红外波段具有大幅提
升的光电转换效率，制备方法简单，而且成本低
的目的。权利要求书1页 说明书3页 附图2页CN 209981235 U 2020.01.21
C N 209981235
U
权 利 要 求 书1/1页CN 209981235 U
1.一种基于声子激元增强的石墨烯中红外光探测器，其特征在于包括自下而上依次层叠设置的硅衬底（1）、二氧化硅层（2）、石墨烯层（3）以及覆盖在石墨烯层（3）上的三氧化钼微纳结构阵列（4）；三氧化钼微纳结构阵列（4）与石墨烯层（3）形成声子激元增强的异质结构；石墨烯层边缘上方设置有电极（5），电极（5）延伸到三氧化钼微纳结构阵列与石墨烯层重叠区域。
2.根据权利要求1所述的基于声子激元增强的石墨烯中红外光探测器，其特征在于上述硅衬底（1）上朝向二氧化硅层（2）的一侧涂覆有作为背栅的金属层。
3.根据权利要求1所述的基于声子激元增强的石墨烯中红外光探测器，其特征在于上述电极（5）是一种蝴蝶形天线电极，由金、钛、铬、镍中单种金属电极或两种或多种金属复合构成。
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