单晶操作工操作说明

操作说明

一．目的

将硅多晶及硅单晶转变成客户需要的硅单晶。

二．适用范围

FT-CZ1806,FT-CZ2008单晶炉

三．使用设备及工具

?FT-CZ1806(FT-CZ2008)型单晶炉、空气压缩机、真空泵（主/辅）、循环冷却水系统、氩气输送系统、氩气中含氧量监测仪

?斜口钳、螺丝刀、不锈钢托盘、不锈钢推车、硅单晶专用取棒车、美工刀等

四．材料

?多晶硅、可回收利用的硅材料、掺杂剂、5个9的高纯Ar、可循环的软化冷却水、高纯石墨热场

?一次性手套、防静电手套、乳胶手套、隔热手套、塑料袖套、一次性口罩

?无尘清洁纸、无水乙醇

五．环境要求

洁净房

六．重要工艺参数

见《工艺参数卡》

七． FT-CZ1806,FT-CZ2008型单晶炉面板介绍

图1《手动状态操作画面》

八．作业步聚

1. 热场组立

1.1.按照《热场装配图》，将热场部件逐一装配组合。

※ 注意外保温筒的测温孔与温度传感器对准，否则将无法用温度控制拉晶。

1.2.将钢皮尺置于石墨中轴上，如图1中点击【CRUCIBLE】,弹出坩埚控制区。在ROTATION SPEED VALUE中输入想要的坩埚转速，按【OK】键确认，最后点击【ON】按钮让坩埚旋转来确认加热器是否与中轴同心，可以调整加热器的两个固定螺丝使中轴与加热器尽量调至同心。

1.3.将石墨坩埚放入后再对中，确保坩埚四周与加热器的位置大于3mm，并尽量同心。

1.4.将导流筒装上，并用如上方法确保导流筒安装的与石墨坩埚同轴。

1对中中轴与加热器同圆心 2对中加热器与石墨坩埚 3对中导流筒与石墨坩埚

2. 石英坩埚的安装

2.1.将石英坩埚的合格证取出，贴附在拉晶记录上。

2.1.戴上一次性手套，拿出石英坩埚，在灯光下确认石英坩埚有无伤痕、裂纹、气泡、黑点。

※确切的要求参照我们对石英坩埚供应商的来料要求。

2.2.插入石墨坩埚内，比较石墨坩埚与石英坩埚的高度，确认并调整水平

2.3.石英坩埚安装好后，设定坩埚转速8rpm，确认石英坩埚在转动时不会晃动方可。

1检查石英坩埚 2装入石英坩埚 3调整石英坩埚放置的水平

3．掺杂剂的装入

3.1.确认掺杂剂料包上所写的重量与拉晶指示书上的数据是否一致。

3.2.带上一次性的手套，将装有掺杂剂的料包在石英坩埚的上方且低于石英坩埚口的位置打开并抖动装料纸使掺杂剂全部落入石英坩埚中。

1掺杂剂的装入

4. 硅原料装入

4.1.右手上戴上棉手套，再戴上3至5副一次性手套。左手则戴上一副一次性手套。

※为了防止原料硅的污染、一定要用带了多层手套的手去抓原料，用另一只手握住装原料的袋子。由于一次性手套容易损坏，所以一定要勤于更换。装料时不要将装原料的塑料袋放置在碳毡热场上，损坏热场。

4.2.将原料硅放入石英坩埚底部，逐步向上填补。

?填充操作时，在石英坩埚高度的1/3以下时尽量采用面接触，便于热量从坩埚传到硅材料上。

?当料的高度达到了石英坩埚的2/3后，要尽量使硅材料与石英坩埚点接触，防治化料后出现挂边。

※要避免与石英坩埚撞击，要特别注意不能使石英坩埚有破损和缺口。如损坏应立即报告并更换。

※注意不能掉落原料硅在外面。万一出现原料硅掉落在外，这些原料因为污染需处理后再使用。

4.3.填充操作结束后，用真空吸尘器除去粘在炉体表面、炉体法兰表面、加热器表面上的原料硅粉末。

4.4.在导流筒的外围装上碳毡导流筒，盖上热屏支撑环。

4.5.将手动操作手柄上的【CRUCIBLE】旋钮打到DOWM位置，使坩埚降到最低位。

1硅材料的装入 2吸去硅碎屑 3下降石墨坩埚至最低

5.炉的安装

5.1.将手动操作手柄上的【SEED】键打向DOWN将籽晶降下到最低位,安装籽晶并用无尘纸沾拭酒精擦净。

※注意安装籽晶是不要旋转籽晶,装好后要垂直下拉籽晶,防止有间距在拉晶时晶棒下滑。

5.2.安装热屏前确保籽晶夹头上的热屏三爪举上落下自如，确认其固定螺丝是否有可能掉出。

5.3.确认热屏上的三个挂钩的碳毡螺丝是否拧紧，有松动需拧紧。

5.4.将热屏挂上三爪，用手动操作手柄，上升籽晶将籽晶升降旋钮【SEED】打到UP位置，停止籽晶升降时籽晶升降旋钮打到中间位置，下降籽晶升降时打到DOWN位置，反复几次使热屏与炉盖相距3～5cm左右。

5.5.用无尘纸沾拭无水酒精擦拭上炉体和下炉体的闭合法栏。

5.6.提起炉盖定位开关,转动上盖到与主体合拢的上方,放下炉盖定位开关。旋动手动操作手柄上的【HOIST】旋钮，打向DOWN位置，使炉体合拢，等电机自动停止。

※炉体转动时防止热屏晃动、破损；确认螺栓穿过法兰孔，防止炉盖被定位销顶起。

※炉盖与下法栏接触后不能算盖好炉盖，一定要等电机到了限位自动停止，否则能进入化料程序但开启不了加热器。

5.7.炉盖盖好后,用探照灯确认热屏未滑落,或被原料顶起。

1下降籽晶夹头 2安装籽晶 3安装热屏

6炉体合拢 5擦拭炉体法栏 4调整热屏与炉盖的间距

6.抽真空

6.1.慢慢打开主阀阀门。

6.2.确认在400Torr以下完全打开主阀。

6.3.持续抽气至60mTorr以下（总抽气时间约1h左右），关闭主阀。

6.4.按下手动操作面板上的【LEAKCHK】按钮，打开检漏菜单，按下【START】按钮开始检漏。按下STOP按钮则检漏停止此时屏幕上的漏气量与时间就是检漏的结果。

6.5.进入真空检漏状态，一般我们计时5分钟的漏气量若结果小于4mT则通过，若大于4mT则检查漏气原因。即每分钟的漏气率低于0.8mT算检漏通过。

7. MELT（熔化）

7.1. 检漏通过后，打开主阀。

7.2. 按下手动操作面板上的【Ar Gas】按钮，打开氩气控制菜单将需设定的氩气流量值输入MFC FLOW VALUE中，按下【MFC ON】和【TOPPLATE VALUE OPEN】氩气即被打开。

※如打开的氩气流量值比较大时最好采用分步递增的方法渐渐加大氩气流量，停止时分步递减，这样做可以使氩气流量计不会因为流量突然变大，而发生零点偏移。

7.3. 将操作面板旁边的状态旋钮打到AUTO档，按下屏幕上的【PROCESS START】此时屏幕中会跳出是否执行化料程序的确认对话框，点击【ACCEPT】自动化料程序开始。

7.4. 在化料过程中检查电流值是否稳定，功率值是否稳定,，与设定值的偏差是否在允许的范围内。

自动状态画面确认化料开始化料开始画面

8. STABILIZE（温度稳定）