激光精密刻蚀机技术参数

激光精密刻蚀机技术参数

1.用途说明：

设备加工对象主要包括聚酰亚胺等聚合物材料、陶瓷（氧化铝、氮化铝、氧化锆、氮化硼等）、玻璃、石英、磷化铟等非金属材料，以及不锈钢、铸铁、钨铜等各种金属及合金材料；

设备可对平面及曲面施行精细微加工；

设备各部件高效集成，可实现高精度钻孔、切割及表面材料刻蚀等加工工艺。

2. 系统概述:

主要构成

序号配件数量

1 紫外激光器1台

2 五轴运动机构1套

3 振镜光学模组1套

4 CCD影像系统1套

5 光路传输系统1套

6 防尘系统1套

7 软件控制系统1套

3. 主要技术规格及要求:

部件规格型号

1)紫外激光器型号：Belin 生产厂家：美国技术

参数技术指标

输出功率7W @ 30kHz

激光波长355nm

冷却方式水冷

模式TEM00

重复频率20~100KHz

脉宽＜25ns @ 30KHz

平均脉冲稳定性＜2% @ 100kHz

2)运动机构型号：非标定制生产厂家：德龙激光

设备配备有X/Y/Z轴与A/B旋转轴，用于工件位置移动与调焦，其中旋转轴用于工件向心加工。

X 轴线性机构 加工幅面： 250mm

最大速度：200mm/s 重复精度：±2um 定位精度：±3um 分 辨 率：0.1um Y 轴线性机构 加工幅面： 250mm 最大速度：200mm/s

重复精度：±2um

定位精度：±3um 分 辨 率：0.1um

A 轴旋转模组 旋转角度：360° 定位精度：≤ 1arc ­min

B 轴旋转模组 旋转角度：360° 定位精度：≤ 1arc ­min Z 轴调焦机构 最大速度：25mm/s 运动行程：100mm

*注：以上精度数据参考JIS 标准。

3) 振镜光学模组 型号：Intelliscan 生产厂家：德国 SCANLAB AG

项目 规格/功能

扫描速度 3000mm/s 跳转速度 14000mm/s 单次扫描范围 45mm ×45mm

场镜焦距

100mm

A 轴-精密旋转台

安装板

B 轴-精密旋转台

4)CCD影像相关

旁轴影像系统（旁轴安装，用于定位）

5)光路传输系统

6)防尘系统

7)软件相关

4. 设备关键部件品牌及产品

5. 设备工作环境

1)设备安装空间：3000mm（W）×3000mm（L）×2500mm（H）

2)电力需求：380V/20A 50HZ ，整机功率5000W

3)空气需求：除油除水的压缩空气

4)环境温度：20-25℃

5)环境湿度：湿度40%～60%，变异量小于5%℃/8Hrs

6)其他：机房附近无强烈震动，强磁场，强电场等干扰源

7)洁净度：10万级或10万级以上无尘环境

6. 附件与其它要求

随设备提供中文资料一套，资料清单见下表。

7. 技术服务要求

1)设备整体自最终验收签字之日起保质期为12个月。

2)机床的维修保障应及时有效，在接到用户故障报告后，卖方应在12小时内响应24小时到达现场，五个

工作日内恢复机床工作。

3)若设备在保质期内发生故障，卖方不能在五个工作日内恢复生产，卖方负责免费为买方完成相关的紧

急加工任务。

4)保修期内卖方应在设备交付后每季度前往买方现场进行巡检，检查设备运行情况，更换需要更换的部

件，所产生的费用由卖方负责。

8. 设备安装调试及技术培训

1)卖方派有经验的机械、电气、操作人员到买方工厂负责设备的安装、调试；设备到达买方现场后，买

方负责设备的卸车及就位，卖方在买方现场安装、调试，买方可以提供必要的帮助。

在设备集成生产地进行不少于6天的培训，在用户现场进行不少于5天的培训，卖方应对用户的工艺、操作、维修等人员进行培训。所有费用（包含往返机票、食宿、交通、保险）由卖方负责。