氦质谱检漏仪操作说明书
氦质谱检漏仪操作规程(3篇)
第1篇一、概述氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的高效、精确的仪器，广泛应用于真空系统、半导体设备、化工、科研等领域。
为确保操作人员的人身安全和仪器的正常运行，以下为氦质谱检漏仪的操作规程。
二、操作前的准备工作1. 环境检查：确保操作环境安全，通风良好，无腐蚀性气体。
2. 设备检查：检查氦质谱检漏仪外观是否完好，电源线、连接线等是否完好无损。
3. 仪器预热：打开仪器电源，预热30分钟以上，使仪器达到工作状态。
4. 参数设置：根据检测需求，设置合适的检测参数，如漏率阈值、扫描时间等。
三、操作步骤1. 连接仪器：将氦气源、抽气系统、波纹管等连接至氦质谱检漏仪，确保连接牢固。
2. 真空系统连接：将氦质谱检漏仪连接至待检测的真空系统，确保连接正确无误。
3. 设置检测参数：根据待检测系统的真空度、漏率等要求，设置合适的检测参数。
4. 启动检测：开启氦气源，调整流量至合适范围，启动检测程序。
5. 观察检测结果：仔细观察仪器显示屏，根据漏率值、泄漏位置等信息，判断是否存在泄漏。
6. 记录数据：将检测结果记录在检测记录表中，包括检测时间、漏率值、泄漏位置等。
四、注意事项1. 安全操作：操作过程中，注意个人防护，佩戴防护手套、眼镜等。
2. 防止误操作：熟悉仪器操作流程，避免误操作导致仪器损坏或安全事故。
3. 注意仪器保养：定期对仪器进行清洁、保养，确保仪器性能稳定。
4. 氦气处理：使用完氦气后，关闭氦气源，确保氦气排放到安全区域。
5. 设备维护：定期对仪器进行校准、维护，确保检测结果的准确性。
五、操作结束后的工作1. 关闭仪器：检测结束后，关闭氦气源、抽气系统等，断开电源。
2. 清理现场：清理操作现场，确保无安全隐患。
3. 整理记录：整理检测记录，归档保存。
六、附录1. 氦质谱检漏仪操作流程图2. 氦质谱检漏仪常见故障及排除方法通过以上操作规程，可以确保氦质谱检漏仪的正确使用，提高检测效率，确保检测结果的准确性。
莱宝氦质谱仪中文操作说明书
目录1. 一般介绍 ...........................................................................................................................................1.1 本手册使用中的注释......................................................................................................................1.1.1 安全符号 ......................................................................................................................................1.1.2 表示法 ..........................................................................................................................................1.1.3 真空工艺符号 ..............................................................................................................................1.1.4 术语定义 ......................................................................................................................................1.2 莱宝的服务支持 .............................................................................................................................1.3 引言 .................................................................................................................................................1.3.1 用途 ..............................................................................................................................................1.3.2 技术数据 ......................................................................................................................................1.3.2.1 PhoeniXL300物理数据 .............................................................................................................1.3.2.2 电气数据 ...................................................................................................................................1.3.2.3 其它数据 ...................................................................................................................................1.3.2.4 环境 ...........................................................................................................................................1.3.2.5 PhoeniXL300 dry物理数据.......................................................................................................1.3.2.6 电气数据 ...................................................................................................................................1.3.2.7 其它数据 ...................................................................................................................................1.3.2.8 环境 ...........................................................................................................................................1.3.2.9 PhoeniXL300 Modul物理数据..................................................................................................1.3.2.10 电气数据 .................................................................................................................................1.3.2.11 其它数据..................................................................................................................................1.3.2.12 环境 .........................................................................................................................................1.4 拆箱 .................................................................................................................................................1.4.1 提供的设备 ..................................................................................................................................1.4.2 附件和选用件 ..............................................................................................................................1.4.2.1 吸气线SL300 ............................................................................................................................1.4.2.2 手机 ...........................................................................................................................................2. 安装 ...................................................................................................................................................2.1 工作场所 .........................................................................................................................................2.2 电气连接 .........................................................................................................................................2.2.1 系统供电 ......................................................................................................................................2.2.2 数据采集系统的连接...................................................................................................................2.2.2.1 选项（附件）............................................................................................................................2.2.2.2 数字输出 ...................................................................................................................................2.2.2.3 数字输入 ...................................................................................................................................2.2.2.4 记录器 .......................................................................................................................................2.2.2.5 RS232..........................................................................................................................................2.2.2.6 手机 ...........................................................................................................................................2.3 真空连接 .........................................................................................................................................2.3.1 吸入口 ..........................................................................................................................................2.3.2 排气口 ..........................................................................................................................................2.3.3 放气 ..............................................................................................................................................2.3.4 气镇连接 ......................................................................................................................................2.4 缺省设置 .........................................................................................................................................3. 首次运行检查 ...................................................................................................................................3.1 必须的设备 .....................................................................................................................................3.2 初次运行概述 .................................................................................................................................3.2.1 启动和测量 ..................................................................................................................................3.2.2 内部校准 ......................................................................................................................................3.2.3 检验 ..............................................................................................................................................4. 工作原理 ...........................................................................................................................................4.1 引言 .................................................................................................................................................4.1.1 PhoeniXL300真空系统 ................................................................................................................4.1.1.1 PhoeniXL300 dry真空系统.......................................................................................................4.1.1.2 PhoeniXL300 Modul真空系统..................................................................................................4.1.2 控制面板 ......................................................................................................................................4.1.2.1 液晶显示器 ...............................................................................................................................4.1.2.2 START（启动）按钮 ................................................................................................................4.1.2.3 STOP（停止）按钮...................................................................................................................4.1.2.4 ZERO（调零）按钮 ..................................................................................................................4.1.2.5 MENU（莱单）按钮.................................................................................................................4.1.2.6 软键 ...........................................................................................................................................4.1.2.7 数字输入 ...................................................................................................................................4.1.3 真空法 ..........................................................................................................................................4.1.4 分流法 ..........................................................................................................................................4.1.5 吸气模式 ......................................................................................................................................4.1.6 手机控制 ......................................................................................................................................4.1.7 手机上显示器 ..............................................................................................................................5. Phoenix的使用 ..................................................................................................................................5.1 显示器 .............................................................................................................................................5.2 起动模式下屏幕 .............................................................................................................................5.3 待机模式下显示器..........................................................................................................................5.3.1 气镇 ..............................................................................................................................................5.4 测量模式下屏幕 .............................................................................................................................5.4.1 调出校准 ......................................................................................................................................5.4.2 扬声器音量 ..................................................................................................................................5.4.3 显示器上状态行...........................................................................................................................5.4.4 数字显示模式 ..............................................................................................................................5.4.5 趋势模式 ......................................................................................................................................6. 莱单简介 ...........................................................................................................................................6.1 主菜单 ..............................................................................................................................................6.2 视图 .................................................................................................................................................6.2.1 标尺线性/对数 .............................................................................................................................6.2.2 显示范围自动/手动 .....................................................................................................................6.2.3 时间轴 ..........................................................................................................................................6.2.4 对比度 ..........................................................................................................................................6.2.5 待机模式下本底...........................................................................................................................6.2.6 显示下限 ......................................................................................................................................6.3 模式 .................................................................................................................................................6.4 触发器和报警 .................................................................................................................................6.4.1 触发电平1 ...................................................................................................................................6.4.2触发电平2 ....................................................................................................................................6.4.3触发电平3 ....................................................................................................................................6.4.4 单位 ..............................................................................................................................................6.4.5 音量 ..............................................................................................................................................6.4.6 报警延迟 ......................................................................................................................................6.4.7 音频报警类型 ..............................................................................................................................6.4.7.1 定点 ...........................................................................................................................................6.4.7.2漏率比 ........................................................................................................................................6.4.7.3设置点 ........................................................................................................................................6.4.7.4 触发报警 ...................................................................................................................................6.5 校准 .................................................................................................................................................6.6 设置 .................................................................................................................................................6.6.1 真空设置 ......................................................................................................................................6.6.1.1 放气延迟 ...................................................................................................................................6.6.1.2 真空范围 ...................................................................................................................................6.6.1.3 分流设备 ...................................................................................................................................6.6.1.4 吸气因子 ...................................................................................................................................6.6.1.5 机器因子 ...................................................................................................................................6.6.1.6 内部测试漏孔漏率....................................................................................................................6.6.2 过滤器和本底 ..............................................................................................................................6.6.2.1 计算吸入口区段本底................................................................................................................6.6.2.2 本底抑制 ...................................................................................................................................6.6.2.3 漏率过滤器 ...............................................................................................................................6.6.3 质量 ..............................................................................................................................................6.6.4 接口 ..............................................................................................................................................6.6.4.1 控制的位置 ...............................................................................................................................6.6.4.2 确定记录器输出........................................................................................................................6.6.4.3 RS232协议.................................................................................................................................6.6.4.4 确定PLC输出 ..........................................................................................................................6.6.4.5 确定PLC输入 ..........................................................................................................................6.6.4.6 记录器输出定标........................................................................................................................6.6.5 杂项 ..............................................................................................................................................6.6.5.1 时间和日期 ...............................................................................................................................6.6.5.2 语言 ...........................................................................................................................................6.6.5.3 校准请求 ...................................................................................................................................6.6.5.4 前级泵检修周期........................................................................................................................6.6.5.5 油过滤器检修周期....................................................................................................................6.6.5.6 油过滤器检修信息....................................................................................................................6.6.6 参数保存/装入 .............................................................................................................................6.6.6.1 装入参数组 ...............................................................................................................................6.6.6.2 保存参数组1 ............................................................................................................................6.6.7 监视功能 ......................................................................................................................................6.6.7.1 真空模式压力限制....................................................................................................................6.6.7.2 吸气模式压力极限....................................................................................................................6.6.7.3 最大抽空时间............................................................................................................................6.7 信息 .................................................................................................................................................6.7.1 维护 ..............................................................................................................................................6.8 访问控制 .........................................................................................................................................6.8.1访问校准功能 ...............................................................................................................................6.8.2修改莱单—PIN .............................................................................................................................6.8.3调零 ...............................................................................................................................................7. 校准 ...................................................................................................................................................7.1 引言 .................................................................................................................................................7.2 校准程序 .........................................................................................................................................7.2.1 内部校准 ......................................................................................................................................7.2.2 外部校准 ......................................................................................................................................7.3 校准系数—数值范围......................................................................................................................8. 错误和警告信息 ...............................................................................................................................8.1 提示 .................................................................................................................................................8.2 错误和警告清单 .............................................................................................................................9. 维修 ...................................................................................................................................................9.1 莱宝服务 .........................................................................................................................................9.1.1 维护计划 ......................................................................................................................................9.1.2 拆开Phoenix ................................................................................................................................9.1.3 更换过滤网 ..................................................................................................................................9.1.4 换油 ..............................................................................................................................................9.1.5 清洁 ..............................................................................................................................................9.1.6 更换熔断器 ..................................................................................................................................9.1.7 油过滤器 ......................................................................................................................................9.2 涡轮分子泵 ..................................................................................................................................... 附录a ......................................................................................................................................................1. 一般介绍我们建议您认真阅读本技术手册，确保从启动开始就一直保持最佳工作状态。
ZQJ-542型氦质谱检漏仪说明 中科科仪 KYKY
吸枪模式下，只有吸枪阀和分子泵前级阀打开，如图 1-6 所示。
图 1-6 吸枪模式原理
4
KYKY
第一章 概述
ZQJ-542 氦质谱检漏仪
1.4 质谱室工作原理图
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作为探索气体制成的气密性检测仪器。
ZQJ-542 检漏仪采用 180 度磁偏转质谱室，其工作原理如图 1-7 所示：钨制灯丝（5/6）发射出 来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦 气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛仑兹力作用产 生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。由 于磁场参数是固定的，只有调节加速电压就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过 隔离板上的窄缝打到放大器入口,这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子（H2+或 H1+，更小的离 子，重离子（N2 或 O2，更重的离子）分开了。氦离子流正比于容器中的氦分压。因此，对氦 离子的测量可以用来确定被检件的漏率。
金属部件，铝合金灯丝支架，放大器与质谱室一体。
真空室：分析单元的真空室由轻合金制造，其中的方形槽可容纳电极。
抛光法兰：用来支撑离子源所用的电机和电子连接件，上面的支撑架用来安装离子源， 离子源由两部分构成，灯丝支架及由不锈钢制造的电子收集极，灯丝位置正好对准离化室的 入口。收集极、灯丝的设计之所以如此，是为了使离化室的温度保持在 400℃的恒温，以使得 气体分子经过灯丝时可以电离，离子源的灵敏度会由于检漏过程带来的污染而逐渐下降。
8 待机指示灯 9 排气指示灯 10 检漏指示灯 11 He 信号模拟输出显示 12 He 信号模拟输出指示灯 13 浮零指示灯 14 修正系数是否启动指示灯（适用于
氦质谱检漏仪使用说明资料
加压罐压氦装置
图2 加压罐压氦装置的外部接通顺序： 写出设备外部条件的接通先后 顺序，操作方法，具体的参数等。 1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。 2、检查加压罐的密封圈是否有损害， 加压罐进出阀门是否关闭不了； 真空泵是否有足够的泵油， 气镇阀旋钮是否处在关闭的位置； 氦气瓶 减压阀是否漏气现象。 3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。 重氟油粗检
图3 1、 查看温度检测线路和加热板线路没有破损。
2、 在油箱中加入适量的重氟油 3、 插上电源线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。
当温度达到要求即可用来粗检产品。 四、详细操作 启动检漏仪 1、 连接电源插头，打开检漏仪开关。 2、 机械泵开始启动。 3、 面板上的指示灯亮。 4、 液晶屏（ LCD ）显示如下信息：
化。如果在报废点之内则说明密封性合格， 如若有报警声响则说明该 点密封性不合格需要返修。 4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。 (二)全检（背压法） 1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用 一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。 2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加绝对压力 0.2Mpa 的压力加压 4h。 加压罐装置如下图所示：
氦质谱检漏仪使用说明书
资产编号：
一、设备组成及工谱检漏仪
重氟油粗检装置 检漏盒
检漏托盘 氦气喷抢
型号： ZQJ-542
双级旋片真空泵 电阻真空计 氦气瓶
2、设备工作原理 检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体， 机械泵以及控制电路板等组成。 检漏仪的工作原理： 氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理， 用氦气作为 搜索气体制成的气密性检测仪器。 ZQJ-542 检漏仪采用 180 度磁偏转质谱室， 钨制灯丝发射出来的电子 经过加速进入离化室， 在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进 入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子， 这些离子在加速电场作 用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（ m/e） 的离子其偏转半径不同， 这样就将不同的离子分离开了。 由于磁场参
氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏
氦质谱背压检漏是一种常用的检漏方法，主要用于检测气体系统中的微小泄漏。
其基本原理是利用氦气在质谱仪中的高灵敏度检测能力，通过测量系统中的氦气浓度差异来确定泄漏点。
具体操作步骤如下：
1. 确保系统处于关闭状态，并将质谱仪连接到气体系统的出口。
2. 在质谱仪的控制面板上设置合适的检测参数，如扫描速度、灵敏度等。
3. 打开质谱仪的抽气泵，将氦气抽入系统中。
4. 在气体系统中设置适当背压，通常在10-1000 Pa之间。
5. 开始检测，观察质谱仪的显示屏上的氦气峰值图谱。
6. 如果氦气峰值图谱中存在异常的峰值或与背景不一致的波动，表示存在泄漏点。
7. 根据泄漏点的大小和位置，采取相应的修复措施进行处理。
需要注意的是，在进行氦质谱背压检漏时，要确保气体系统的密封性良好，确保检漏结果的准确性。
此外，背压的设置应适当，过高的背压可能影响检测的灵敏度，而过低的背压可能导致系统内氦气稀释不足，也会影响检测的准确性。
氦检仪操作规程
氦检仪操作规程1. 目的：正确指导SFJ-211氦检仪的使用。
2. 适用范围：本操作规程适用于SFJ-21氦检仪使用操作3. 责任：3.1 本操作规程由质保部制定修改。
3.2使用人员严格按照操作规程作业。
4. 设备:SFJ-211氦质谱检漏仪5. 设备专用辅助工具：氦气、氧气袋、喷枪、波纹管2根，快卸法兰2只6. 开机前的准备6.1 确认需要检测的设备内部无水无尘及其他漂浮物，干燥清洁6.2 确认需要检测的设备放置平稳，氦检仪放置水平，脚轮制动可靠6.3 确认需要检测的设备内部压力在1000Pa以下；如需做精密检漏被检设备内部压力≤10Pa6.4 把氧气袋装满氦气。
6.5 把需要检测的设备（管道）用波纹管连接到氦检仪上。
6.6 连接氦检仪的电源7.开机操作步骤7.1 将检漏仪的电源插头插入250V10A的电源插座（接地良好）。
7.2 将后置电源控制面板上的电源开关置于 l 位置。
7.3 主屏幕上出现启动中画面。
若启动前检漏仪已关闭很长一段时间 (数小时)，则可能需要最多三分半钟的时间稳定下来，主屏幕上出现待机中画面，同时提供可靠的量化泄漏率读数。
8. 检漏操作8.1采用氦气作为跟踪气体来探测漏眼的方法多种多样。
本规程适用真空喷吹法检测9. 关机操作步骤9.1 首先要切断氦检仪和被检工件之间相通的阀门，然后按下操作面板上的停止按钮，主屏幕上出现待机中画面，然后置电源控制面板上的电源开关置于 O 位置10.氦检仪使用注意事项10.1 检测口规管电压≯2000mv10.2 电源电压不能超过220V额定电压的±10%。
10.3 电源插座要接保护性地线10.4 0% 至 80% 相对湿度，无凝缩10.5 10°C 至 + 40 °C环境温度11. 日常维护要求11.1 对污浊或变色的真空泵油进行更换，建议真空泵油牌号为LV20 11.2 校准外部校准泄漏：确认标漏样件完好，将标漏样件和氦检仪正确连接，系统执行自动校准程序。
中科科仪氦简陋仪使用手册
B.1 检漏方式................................................B-1 B.2 检漏方法................................................B-2
目录
第一部分 仪器介绍...................................1-1
1.1 外观尺寸.................................................1-1 1.2 仪器结构.................................................1-2
附录 C 压强和漏率单位换算.................................C-1
IV
目录
KYKY
ZQJ-530 氦 质 谱 检 漏 仪
第一部分 仪器介绍
ZQJ－530 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪 器。
氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，除检漏原理 不同外，以检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，尤其是选择无毒、无破坏性、质量 轻的惰性气体氦作为探索气体，而成为当今诸多检漏方法中的佼佼者。
由于质谱室在高真空状态下工作，在对质谱室维护时要先对其放大气 （在确保分子泵停止转动的情况下，通常打开分子泵前级，图 3-18）。 避免在没放大气时强行取下质谱室或离子源等部件。
KYKY 服务支持
单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司 地址：北京市海淀区中关村北二条十三号 100190 电话：+86-10-62571592 +86-10-62565522
安全操作规程-氦质谱检漏仪
SFJ-261氦质谱检漏仪安全操作规程
一、目的
通过了解设备工作原理、技术参数、使用操作步骤、HSE提示与注意事项同、常见故障处理。
以保障设备和人员的安全及正常运行。
二、适用范围
本规程适用于公司SFJ-261氦质谱检漏仪
三、工作原理
氦质谱检漏仪是根据光谱学原理，用氢气作探索气体制成的气密性监测仪器。
四、技术参数
五、使用操作步骤
1、启动
2、参数设定
3、音量设定
4、标漏的设定
5、滤波方式设定
6、检漏模式
7、校零模式 8、机器因素
9、单位设定 10、通讯设定
11、输出设定 12、时间设定
六、HSE提示，注意事项
1、使用仪器确保仪器可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用。
2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要良好通风，以氦气干扰。
3、启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。
七、常见事故处理。
氦质谱检漏仪使用说明
氨质谱检漏仪使用说明检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10* （毫升/秒）至lj 2X1 O'10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升）,它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、 测试接口、真空和漏率以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型）图1检漏仪真空系统结构图（分子泵型）指示， TC1V3-n-V6检漏仪开启后，VK V2 . V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下u VENT"键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X104TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
检漏仪工作原理]<■（2340高斯）图2检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氨气时，总有部分氨原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱1%管是检漏仪核心组成部分，参见上图2,在电场和磁场作用下，灯丝 发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进 入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子 会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量 与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的 粒子偏转半径大，只有氮离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经 放大后，检漏仪报警。
三、控制和指示器功能说明： 序号 控制、指示器功能Vent Start Hold 和Test 按检漏仪开关时，控制各个阀的 钮 动作顺序显示测试口压力，单位millitorr 显示漏率，单位std cc/sec （标 准立方厘米每秒）,超过或低 于测 量量程，分别由上下端两 个发光二极管（LED ）“over 55和 “under 乃显示。
随“range 55 和 tfiHi-Lo Sensitivity ”档位选择不 同， X 10指数窗口将显示4、5、6、2 Pressure （压力指示）3 Leak rate （漏率指示）Coarse zero （粗调）Fil. Selector （灯丝选择）Fil. On - Off （灯丝开关）EMIS （发射控制）AUDIO （声音调节）CAL.（校准控制）漏率显示粗调二位开关选择灯丝1或灯丝2开关离子源灯丝通过改变灯丝电流来调节离子源电子发射调节检漏仪板警声音Range （量程选择）Zero （调零）FIL （灯丝指示）Hi vac ok （真空度ok ）Main power （主电源）Focus （聚焦）ION （离子源控制）Residual background （残余本底）量程选择共四个档位。
推荐-氦气检漏仪精度检验作业指导书 精品
氦气检漏仪精度检验作业指导书一、目的：对设备的精度进行检验，提高设备的检验精度，保证产品的检测精度。
二、范围适用于公司所有设备三、检验周期每周对设备进行定期检验四、职责1.设备的检验操作由设备部安排人员进行操作，并且对设备的精度进行校正。
2.检验和校正的结果由质检部进行记录和存档。
五、操作程序从吸入口，拆下分流组件，将打开的氦测试漏孔连到吸入口。
再按一次START按钮图。
吸入口被抽空，然后测量和显示测试漏孔漏率。
按STOP按钮图中止测量。
将显示“待机”模式。
再按一次STOP按钮图，直到显示器出现STAND-BY/VENTED 信息为止，于是入口被破空放气，从吸入口拆掉氦测试漏孔，再把分流组件装回吸入口5.1氦测试漏孔的应用5.1.1用于真空泄漏检测CALIBRATED LEAK TL 4-6用小法兰接头接到检漏仪上，而且可用于微调质谱仪并用于检查时间回应和检测灵敏度。
5.1.2 微调检漏仪在粗率真空范围中。
为了校准检漏仪在总的泄漏范围内，使用泄漏校准瓶本身给出的名义泄漏率。
该泄漏率通过操作出口螺钉（2/3）来获得，这样压力表上显示的压力bar将是零，为了该目的，贮水槽的闭塞阀（2/2）必须要关闭。
泄漏校准瓶TL4-6直接连到泄漏检测仪的检测端口。
现在，检漏仪可以被校准到泄漏校准瓶的名义泄漏率了。
当关闭闭塞阀隔膜片（2/6）时，也有可能可以检查零水平。
尽管闭塞阀隔膜片（2/6）很长时间保持关闭状态，开口上（“吞”氦气）将不会发生不好的峰值。
微调检漏仪后，如果需要——也作为压力计压力的功能（它能够使用TL 4-6的总的泄漏流动范围）可以画出一条独立的泄漏流动率的校准曲线。
对于工业校准曲线请参照第6节。
5.1.3 确定真空系统的监测灵敏度和回应时间。
为了该目的，TL 4-6应该装在设备的最远点。
关闭泄漏关闭阀（2/6），用出口螺钉调节压力表上指示的压力，这样，泄漏校准瓶就会提供想要的的泄漏率，但这仍要监测。
氦质谱检漏仪的使用是怎样的呢
氦质谱检漏仪的使用是怎样的呢
氦质谱检漏仪是一种专业用于检测真空系统漏气的仪器。
它使用氦气作为测试
气体，利用氦气极小的分子大小和无色无味的特性，在真空系统中通过泄漏孔进入真空室进行检测。
通过对泄漏氦气进行检测，可以确定系统中的漏率并定位漏点。
氦质谱检漏仪广泛应用于各种机械、电子、航空航天等各个领域，因其检测精
度高、可靠性强而备受青睐。
在此介绍氦质谱检漏仪的使用方法及注意事项。
1. 准备工作
在使用氦质谱检漏仪进行检测之前，需要做好各种准备工作：
•确定检测目标
•安装适当的接口及氦气瓶
•检查真空系统密封性
2. 检测前操作
使用氦质谱检漏仪进行检测前，需要进行一些操作：
•安装检测器
•启动氦气供应
•实施排气处理
•进行预漏测试
3. 进行检测
进行氦质谱检漏仪检测的步骤如下：
1.将氦气从氦气瓶中引入到真空系统中。
2.在检测器控制面板上设置好检测参数，如检测压力、场强、灵敏度等。
3.开始检测，并对检测结果进行分析定位漏点。
4. 注意事项
在使用氦质谱检漏仪进行检测时，需要注意以下事项：
1.氦气具有燃爆性，检测过程中禁止吸烟、使用明火等行为。
2.氦气具有极小的分子大小，在真空系统中容易扩散，因此检测时需要
尽可能避免漏气。
3.在检测前需仔细检查检测设备和真空系统密封性，以免测结果不准确
或漏点不能定位。
4.在检测过程中需要根据实际情况进行调整，调整参数，增强检测灵敏
度，以更好地检测漏点。
以上是氦质谱检漏仪使用方法及注意事项，正确使用氦质谱检漏仪可以确保系统的安全性，保障产品质量。
231B-02(氦质谱检漏仪说明书)
4.5.2 遥控器接口、232 接口
接口 ：BD9 公头
图8
RS232 接口
图9
遥控器接口
4.5.3 RS485 接口
A B GND RS485
RS485 图 10 RS485 接口
- 11 -
仪器简介
4.5.4 I/O 输入输出接口
接口: DB25（母头）
图 11
- 12 -
I/O 接口分布
仪器操作
5
仪器操作
仪器搬运到检漏现场； 提供 220V±10% ,50Hz 的交流电源，并且确保有地线； 准备好三芯的插座，并且确保插座的容量是 250V*10A； 准备好氦气和喷枪及其他配件如：波纹管，快卸法兰等。
5.1 基本操作说明 5.1.1 启动
将检漏口用专用堵头堵住，接通电源,按下电源开关到“—”的位置，仪器开始 加电。设备显示启动画面。如下图：
本公司最新产品信息、相关文档修订和勘误表，请联系本公司客服。 400 112 0066
1.1 图标约定
符号 含义 可能对人身造成伤害的操作，必须由本公司确认的专业人士操作。 必须严格按照使用手册规程、确认安全后操作，或由专业人士操作，否则可能导 致故障。 日常操作时需要注意的事项 ¨ 参见的章节 如果您第一次使用本仪器，请仔细阅读本手册的所有章节。 本手册中的图片仅供参考，在不影响性能和操作方式的前提下，厂家保留产品 升级且不用另行通知的权利。 为确保操作人员和仪器的安全，请在使用前仔细阅读《说明书》
4.5.1 模拟输出接口
1
2
3
4
5
6
7
8
图4 5 6 7 8 AO-1 AGND AGND AO-2 GND
模拟输出各接口 备注
氦质谱检漏仪说明书
氦质谱检漏仪说明书
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的仪器，常用于工业生产中的排气管道、气密系统、发动机、航空航天等领域。
使用氦质谱检漏仪需要注意以下事项：
1. 确保氦气源充足并连接到仪器上。
2. 预热仪器至工作温度，一般为25℃-35℃之间。
3. 将检漏仪连接至被检测泄漏物的管路或设备。
4. 打开仪器的氦气流控开关，使氦气流经被检测泄漏物的管路或设备。
5. 打开检测仪器的高压控制开关，使电离针产生电离氦原子。
6. 从氦气源中选择一个适合被检测设备的质量标准。
7. 根据设备的检测需求，选择不同的泄漏检测程序和扫描速度。
8. 正常情况下，泄漏位置将在仪器上以响声、指示灯或数字显示的形式出现。
9. 检测完毕后，将仪器清洁干净并储存至干燥处。
10. 注意安全，避免氦气泄漏对人体造成危害。
以上是氦质谱检漏仪的基本操作使用说明，使用时务必遵守安全操作规程，以确保操作人员的安全和设备效果。
氦检漏操作规程
氦检漏操作规程氦检漏操作规程一、检查设备及工具准备1. 检查氦气瓶是否充足，并确保气瓶与检漏仪连接良好。
2. 检查检漏仪是否正常工作。
3. 检查检测仪器及其附件是否完好，并确认其维护保养记录。
二、准备工作1. 确认需要检漏的设备或管路已完全停止运行，并做好安全措施，如切断供电、排空管路等。
2. 清洁被测设备或管路并确保其干燥。
3. 确认被测设备或管路密封是否良好，如有泄漏，必须先进行修复。
三、连接检漏仪及准备检漏仪器1. 将氦气瓶与检漏仪器连接，确保连接紧固。
2. 安装检测探头，并确保其与被测设备或管路连接牢固。
四、准备检漏区域1. 将待检漏的区域划定出来，并确保周围环境清洁无杂物。
2. 将无关设备或管路都遮挡或移开。
五、检漏操作步骤1. 打开氦气瓶，开始供氦气至被测设备或管路中。
2. 开启检漏仪，进行预热，并调整合适的检漏灵敏度。
3. 开始检漏，将检测探头沿被测区域进行慢速移动，尽可能全面地覆盖待检区域。
4. 将探头分别对准被测区域的各个角度和接头，以确保能够全面检测。
六、检测结果处理1. 当检漏仪发出声音或显示检测结果时，要及时记录并标记，以备后续处理。
2. 对于发现的泄漏点，应立即停止检漏，采取合理措施进行修复或更换。
七、检漏结束1. 关闭氦气瓶，切断气源。
2. 关闭检漏仪，并将探头从被测区域移除。
3. 集中清理现场，恢复设备或管道的正常运行。
八、记录与汇总1. 将检漏仪的检测结果与记录进行核对，确保准确无误。
2. 将检漏操作的全部过程、检测结果及处理情况进行汇总记录，以备后续参考和分析。
以上是氦检漏操作规程的一般步骤，具体情况可根据实际工作要求进行调整和补充。
在操作过程中，一定要严格遵守安全操作规范，确保操作人员的安全，防止发生意外事故。
同时，对于检测结果的处理和后续的泄漏处理也需要及时、准确地进行，以确保设备或管路的正常运行和安全使用。
氦质谱检漏仪测试使用规范
氦质谱检漏仪1．本规范是氦气质谱检漏仪的使用和保养的技术指导规范2．概述质谱仪是在作FE测试用于检测空气中氦气分子的仪器，低温实验室的氦气质谱仪包含以下零件：主体检漏机、吸枪、卡箍、卡箍盖、真空校准漏孔、电源线。
其技术参数如下：型号：SFJ-211B最小可检漏范围：漏率显示范围：吸枪长度：探头直径：制造标准：渗氦型真空校准漏孔：校准标准：3．使用方法a.实验之前半小时，确认机体接口、卡箍、卡箍盖连在一起并卡紧。
插上电源，打开质谱仪后面的开，让质谱仪抽真空15分钟，准备就绪后，按显示板上的停止键，松开卡箍，将校准口装到主机接口上，拧紧卡箍，按显示板上的校准键，等机子校准结束后，上面的数值与校准口上的数值一样（如有问题在校准一次，还不行则送修），则按下停止键，拆开卡箍，装上吸枪，拧紧卡箍。
b.按下检漏键，将吸枪置于空气左右上下嗅探，测试一下环境中的HE气分子量，如果He分子量太高，则开启排风扇将实验室中的气体排出。
c.将吸枪探头置于离探源2-5mm的距离内嗅探，绕着探源走一圈，注意观察质谱仪上的数值，记下其瞬间最高数值。
也可以根据客户要求进行测试。
4．注意事项a.在使用过程中，不允许开风扇或者有引起空气流动的动作。
b.在测试进行一个小时后，应在标漏一次。
c.设备必须在停止状态下才能松开卡箍。
d.真空校准漏孔在使用时不要磕碰、用力甩动。
e.吸枪使用时不要有污垢堵住探头口，延长线不要弯折、打结。
f.每次嗅探中途停止时，应按下停止键。
g.非测试人员不得操作设备。
5．设备保养每次使用完设备后应将机器擦拭干净、吸枪接头松开、盖上卡箍盖，用卡箍拧紧。
吸枪绕好，放在设备上方，拔掉电源线，盖上透明塑料袋。
将渗氦型真空校准漏孔收到专门的盒子内。
ZQJ-230D氦质谱真空检漏仪使用说明书.
ZQJ-230D氦质谱检漏仪企业通过ISO 9001质量管理体系认证ZQJ-230D型氦质谱检漏仪使用说明书目录第一部分仪器介绍1.1外观尺寸.................................................1-1 1.2仪器结构.................................................1-11.2.1 质谱室..............................................1-31.2.1.1 离子源.........................................1-31.2.1.2 磁分析器.......................................1-41.2.1.3 接收极与前置放大器.............................1-41.2.1.4 全离子检测极...................................1-41.2.2 真空系统............................................1-51.2.2.1 机械泵.........................................1-51.2.2.2 涡轮分子泵.....................................1-61.2.2.3 组合阀.........................................1-71.2.2.4真空测量.......................................1-81.2.3 电气系统............................................1-81.2.3.1 电子机柜.......................................1-81.2.3.2 操作台板......................................1-101.2.3.3 电磁阀电源箱..................................1-121.3 仪器主要性能参数.......................................1-131.4 仪器使用环境条件.......................................1-131.5 仪器成套性.............................................1-14 第二部分使用方法.....................................2-12.1 开箱...................................................2-12.2 操作前准备.............................................2-12.3 安装...................................................2-22.4 操作...................................................2-22.4.1 首次开机..........................................2-22.4.2 氦峰调试与漏率校准................................2-32.4.3 喷吹法检漏........................................2-62.4.3.1 正常检漏操作(≤10Pa........................2-62.4.3.2 高压检漏操作(10~20Pa......................2-72.4.3.3 延长预抽时间..................................2-72.4.3.4 超高压检漏(>20Pa...........................2-82.4.4 吸枪检漏...........................................2-82.5 停机....................................................2-92.5.1 维持备用..........................................2-92.5.2 完全停机.........................................2-10 第三部分维护.......................................3-13.1 漏率校准...............................................3-13.2 真空维护与清洗.........................................3-1 目录III3.2.1 机械泵油面观测.....................................3-1 3.2.2 更换机械泵油.......................................3-1 3.2.3 分子泵加注润滑油...................................3-2 3.2.4 清洗分子泵.........................................3-23.2.5 清洗质谱室.........................................3-23.2.6 更换离子源........................................3-113.2.7 清洗组合阀........................................3-123.3 电子部件调整...........................................3-13 3.3.1 发射调节..........................................3-133.3.2 离子源电压校正....................................3-13 3.3.3 热偶规管调整......................................3-14 3.3.4 过压保护调节......................................3-14 3.3.5 分子泵启动设置....................................3-15 3.3.6 漏率显示放大器调整................................3-15 3.3.7 检查前置放大器供电................................3-15 3.4 检验氦本底.............................................3-163.5 仪器泄漏自检...........................................3-16 第四部分常见故障及处理.............................4-14.1 正常运转与故障判断.....................................4-14.2 故障检查与排除.........................................4-3 附录A ZQJ-230D氦质谱检漏仪的工作原理...............A-1A.1 质谱原理.................................................A-1A.2 真空系统原理.............................................A-2A.3 电子学线路的原理.........................................A-5 附录B 氦质谱检漏仪的检漏方式和检漏方法..............B-1B.1 检漏方式................................................B-1B.2 检漏方法................................................B-2B.2.1 喷吹法--确定漏孔位置..............................B-2B.2.2 吸入法——确定漏孔位置..............................B-2B.2.3 钟罩法——测总漏率..................................B-3B.2.4 背压法——测总漏率..................................B-3 附录C 压强和漏率单位换算IV目录KYKY ZQJ-230D 氦质谱检漏仪第一部分仪器介绍 1-1第一部分仪器介绍ZQJ -230D 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪器。
【最新】氦检漏作业指导书-推荐word版 (8页)
本文部分内容来自网络整理，本司不为其真实性负责，如有异议或侵权请及时联系，本司将立即删除！== 本文为word格式，下载后可方便编辑和修改！ ==氦检漏作业指导书篇一：氦气检漏作业指导书B版本篇二：氦检漏步骤氦检漏步骤1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测。
2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏（等待几分钟）4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏，5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。
全部完成充氦后再观察20分钟，看数值有无大的变动。
7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。
篇三：氦质谱检漏仪使用说明 (1)氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。
英福康氦质谱检漏仪安全操作及保养规程
英福康氦质谱检漏仪安全操作及保养规程1. 前言本文档介绍了英福康氦质谱检漏仪的安全操作和保养规程。
请在使用之前仔细阅读本文档，并按照规程操作，确保仪器的正常运行和用户的安全。
2. 安全操作规程2.1 操作人员要求•操作人员必须经过专业的培训，了解仪器的基本操作原理和安全知识。
•操作人员必须佩戴适当的个人防护装备，包括防护眼镜、耳塞、手套等。
•操作人员应具备高度的责任心和注意力，确保仪器的安全操作。
2.2 仪器准备•确保仪器放置在平稳的台面上，避免发生滑倒或摔坏的情况。
•检查仪器的电源线是否完好，避免电源线被损坏导致电击等危险。
•确保仪器周围通风良好，避免发生气体泄漏引起的安全事故。
2.3 仪器操作步骤以下是英福康氦质谱检漏仪的一般操作步骤，具体操作步骤请参考仪器使用说明书。
1.打开仪器电源，待仪器完成自检程序后，进入待机状态。
2.按照要求连接氦气源和样品管路，确保氦气源和样品管路的密封性。
3.打开氦气源，调节气源压力到设定值。
4.打开质谱检漏仪软件，设置检漏参数和检漏模式。
5.运行检漏程序，观察检漏仪的输出结果。
6.检漏结束后，关闭氦气源和仪器电源，清理样品管路和仪器表面。
2.4 风险控制•氦气是一种无色、无味、无毒的气体，但在高浓度下会引起窒息。
操作时要确保氦气的通风良好，避免气体积聚。
•注意操作过程中的火源和电源，避免发生爆炸或电击等危险。
•质谱检漏仪的高真空系统需要维护和保养，避免发生泄漏引起的危险。
3. 保养规程3.1 仪器清洁•定期清洁仪器外壳和显示屏，避免灰尘和污垢积累。
•清洁时使用软布擦拭，并避免使用带有腐蚀性物质的溶液。
3.2 气体系统维护•检查气体管路、阀门和连接口的密封性，避免气体泄漏。
•定期检查氦气源的压力和流量，确保气体供应的稳定性。
3.3 检漏仪的维护•定期校准仪器，确保其检漏性能的准确性。
•定期更换质谱检漏仪的离子源和探测器，避免老化影响检测效果。
•若仪器出现故障或异常情况，应及时联系供应商进行维修。