单晶炉拆炉资料

热系统
石墨托碗：用来盛装石英坩埚的。 分为上体和下体。上体又有单瓣（即只开一条缝）、 两瓣（平分为二、两条缝）、三瓣（等分三条缝）的 区别。从节约成本、使用方便来比较，各有所长。
三瓣石墨托碗
热系统
保温罩：由保温罩内筒、外筒、面板及支撑环（托盘） 组成，内外筒之间整齐地包裹着石墨毡。 保温盖：一般由两层环状石墨板之间夹一层石墨毡组 成。内径大小与加热器内径相同，平稳的放在保温罩 面板上。 下保温筒：组成了托碗的底部保温系统，它的作用是 加强锅底保温，提高锅底温度，减少热量散失。
单晶炉拆炉
Demolition of Czochralski silicon furnace
学来自百度文库目标
掌握直拉单晶炉中热场的分布情况 掌握加热件的串并方式，安装位置 掌握直拉单晶炉的拆炉方法和技巧
目录
热场的分布情况 加热件的串并方式，安装位置 直拉单晶炉的拆炉方法和技巧
热系统
指的是：为了熔化硅料，并保持在一定温度下进行单 晶生长的整个系统。
热系统
石墨电极：作用 一是平稳地支撑加热器， 二是通过它对加热器加热。
倒立的石墨加热器 可以清楚的看到两个电极 的连接孔，它是用来连接
石墨电极的。
热系统
导流筒：由内外筒之间夹一层石墨碳毡组成。导流筒 主要是为了控制热场的温度梯度和引导氩气流。
拆炉
拆炉的目的：为了取出晶体，清除炉膛内的挥发物， 清除电极及加热器、保温罩等石墨件上的附着物、石 英碎片、石墨颗粒、石墨毡尘埃等杂物。
充气：记下拆炉前的真空度，从副室充氩气入炉膛，注 意充气速度不能过快，防止气体冲击晶体，产生摆动。 充气到炉内压力为大气压时关闭充气阀。（为了节约氩 气，也可充入空气。）
取出晶体：升起副室到上限位置后，缓慢旋转至炉体右 侧，降下晶体，将晶体小心降入运送车内，并加装绑链。
取出热屏（即导流筒）：升起主室到上限位后，旋至炉 体左侧，注意不要碰到炉内石墨件，如加热器等，戴好 耐高温手套，按顺序取出热屏、保温盖、热屏支撑环、 置于不锈钢台车上。
拆炉
取出石英坩埚和锅底料：用钳子夹住石英坩埚上沿提 起取出，装入石英收集箱中，将余下的石英坩埚碎片 取出，也装入该箱内。将锅底料取出放入底料收集箱 中，并标明炉次。
取出石墨托碗及托杆：从上而下按顺序一件一件地取 出石墨托碗（上、下体）及托杆，置于台车上。
取出保温系统及加热系统：戴上帆布手套，将保温系 统从上而下一件一件地取出置于台车上，顺序取出加 热器、石墨电极、石英护套、炉底护盘、坩埚轴护套 等置于台车上。
拆炉前的准备:必须穿戴好工作服、工作帽、口罩，准 备好拆炉用品，如无尘布、无水乙醇、砂纸、高温防 护手套、除尘吸头，台车等。拆炉前必须查看炉内的 真空度，同时了解上一炉的设备运转情况，然后按以 下步骤进行操作。
拆炉
内件取出顺序：一般按照拆装过程、由上而下取出比较 方便操作。为了防止烫伤，要带好高温防护手套。
它包括加热器、保温罩、托碗（石墨坩埚）、电极等 部件。
如下图所示：它们是由耐高温的高纯石墨和碳毡材料 加工而成。
热系统
加热器：是热系统中最重要的部件，是直接的发热体。 形状为直筒式。
串并方式：每个半圆筒各为一组，纵向分缝分瓣，形 成串联电阻；两组并联形成串并联回路。两组加在一 起的总瓣数为4的整数倍。 安装位置：托碗底部或者说外部。