清洗机原理及设备结构介绍
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（6）强碱性清洗剂，PH值12-14。 （7）1个清洗剂箱。 注：玻璃是浸泡在水中进行传送和清洗的。
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超声波传送带示意图
超声波 水槽
2020/4/10
注：水槽内有两 个液位器，以保 证水的液面超过 玻璃的表面，玻 璃浸泡在水中清 洗B面。
由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介 质—清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万 计的直径为50μm-500μm的微小气泡，这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生 长，而在正压区迅速闭合，在这种被称之为空穴作用的过程中，气泡闭合可形成几百 度的高温和超过1000个气压的瞬间高压，连续不断产生瞬间高压就像一连串小“爆炸” 不断地冲击物体表面，使物体的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净 化的目的。
清洗机原理及设备结构 介绍
清洗目的及环境要求
2020/4/10
➢ 目的：基板经过切割裂片后，在玻璃表面容易残留 玻璃碎屑，清洗的主要目的是在短时间内将玻璃碎 屑冲掉，避免玻璃屑重新附着在基板上，造成玻璃 异物，不容易去除。
➢ 环境要求：①环境温度：22+2℃，相对湿度： 45%+10%；②洁净等级：5000级，与相邻加工区保 持微正压，与相邻检查区保持5Pa微负压。
（4）玻璃通过二流体清洗后，有喷淋管对玻璃进行清洗，上面有4排喷水 管，下面有3排喷水管，每排6个喷嘴。
（5）二流体1清洗用水利用的滚刷使用后的废水，7号水箱供水；二流体2
。 利用的是最终喷淋使用后的废水，9号水箱供水
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二流体一清洗（CLE5）
2020/4/10
二流体清洗介绍： （1）二流体组成: 洁净压缩空气（CDA）和纯水（DI Water）的混合体。 （2）CDA过滤器0.01um、DI Water过滤器1.2um。
（3）上下各1个二流体喷淋体，长度830mm，二流体喷体上进入处有5个 孔，分别通入CDA和DI Water ，喷口处为0.1mm液刀口。
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清洗工艺流程
➢ WDT：预湿机 ➢ CLE1：输入传送带 ➢ CLE2：盘刷清洗 ➢ CLE3：超声波清洗 ➢ CLE4：二流体清洗1 ➢ CLE5：滚刷清洗 ➢ CLE6：二流体清洗2 ➢ CLE7：最终喷淋 ➢ CLE8：风刀干燥 ➢ CLE9：输出传送带
2020/4/10 3
WDT预湿机
2020/4/10
预湿机的作用：①对玻璃进行预湿；②对研磨后的玻璃进行抽检；③投 入玻璃进行二次清洗。
预湿机的结构：机架、传送滚轮、喷淋装置、护罩、水槽、升降机构。
水平传送滚轮（小滚轮）：直径60mm。
抽检传送滚轮（大滚轮）：直径150mm。
超高分子
小滚轮材质：UPE 。
链聚乙烯
大滚轮材质：POM。
为直流电机。 ➢ 盘刷：直径85mm。 ➢ 转速：200～300r/min（可调）。
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盘刷传送带示意图
盘刷
2020/4/10
盘刷
盘刷
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盘刷清洗水箱示意图（CLE3） 2020/4/10
浓度测量仪
高液位传感器
低液位传感器
取样管
加热管
温度传 感器
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超声波清洗（CLE4）
2020/4/10
来自百度文库
超声波介绍： （1）有7个振板，每个振板共有16个振子,每个振子功率50W。 （2）超声波发生的频率为40-90KHZ。频率、功率可调。 （3）水箱有两个一用一备（4#、5#水箱）。 （4）水箱有加热装置、浓度、温度传感器。 （5）水箱中有4个浮球式传感器检测液位。
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输入 传送带（CLE1）
2020/4/10
（1）传送带设有定位装置，两侧各1个汽缸定位玻璃。 （2）滚轮的材质是尼龙，挡边轮材质是UPE。 （3）设有2组滚刷，上下各2排，滚刷转动方向与玻璃前进方向相反。 （4）传送带出口处设有1组海绵滚筒，抹干玻璃上的水份。 （5）喷淋用的是6#水箱的水，水经10μm过滤器进行过滤。 ➢ 工作原理：玻璃进入输送传送带，上下各7排喷淋系统对玻璃进行初始清洗， 三菱的变频电机驱动轴上的斜齿轮组来带动传送带，当磁性传感器检查到玻璃通
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预湿机及DWT抽检示意图
二次投入传感器
玻璃输出
大滚轮
输出传感器 抽检传感器
抽检玻璃 输出投入
2020/4/10
玻璃输入
进入传感器 过渡小滚轮 翻转架 对射光电传感器
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预湿机抽检传送流程
2020/4/10
预湿机抽检传送动作流程：
玻璃通过预湿机需要抽检时，经过入口磁性传感 器传送带开始减速，当玻璃经过中间一侧的磁性 传感器时，传送滚轮停止，同时气缸带动机架上 升20mm停止，垂直传送滚轮开始运行，此传感 器检测到玻璃离开后，机架开始下降，回到原位， 水平传送带又开始水平输送玻璃。
上有压力表和调节阀门，还有观测流量计。 盘刷清洗水需加入清洗剂，由2，3#水箱（一用一备）提
供，由于加入了清洗剂废水不能被其他区域利用，只能自 身循环利用，且水需要加热到40~45℃。清洗剂：PKLCG211，水的PH值为12~14。
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盘刷清洗
2020/4/10
➢ 刷毛：Φ=0.1mm，尼龙材质。 ➢ 上下盘刷：交叉1~2mm。 ➢ 升降调节方式：锥齿轮+螺旋升降+前后同步。 ➢ 驱动方式：交流变频电机（滚轮驱动），盘刷轴驱动
聚甲醛
升降机构是由气缸带动机架升降，旁边有4个导向轴，上面是大滚轮。
喷淋管上面7排，下面2排水管，由1#水箱供水。
共有4个传感器：入口、出口、中间两侧。
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DWT抽检
2020/4/10
（1）水平传送部分：通过电机减速机带动大滚轮转动，水平传送与预湿 机连接处设有小滚轮过渡。
（2）翻转部分：通过左右端2个汽缸带动齿条直线运动来带动齿轮转动， 从而带动机架翻转73°，（翻转架子上装有2个光电传感器检测玻 璃），架子下部设有2个缓冲器。
。 过时，两侧的汽缸驱动定位块对玻璃定位，来矫正玻璃的位置
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输入传送带结构示意图
其结构示意图如下：
2020/4/10
Substrate
磁性传感器
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盘刷清洗（CLE2）
2020/4/10
➢ 设备结构： 盘刷区共有4组盘刷，盘刷的间距和转速都可以调节。 盘刷区还有喷淋装置，喷淋装置上的喷嘴方向可以调节，
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超声波传送带示意图
超声波 水槽
2020/4/10
注：水槽内有两 个液位器，以保 证水的液面超过 玻璃的表面，玻 璃浸泡在水中清 洗B面。
由超声波发生器发出的高频振荡信号，通过换能器转换成高频机械振荡而传播到介 质—清洗溶剂中，超声波在清洗液中疏密相间的向前辐射，使液体流动而产生数以万 计的直径为50μm-500μm的微小气泡，这些气泡在超声波纵向传播的负压区形成、生 长，而在正压区迅速闭合，在这种被称之为空穴作用的过程中，气泡闭合可形成几百 度的高温和超过1000个气压的瞬间高压，连续不断产生瞬间高压就像一连串小“爆炸” 不断地冲击物体表面，使物体的表面及缝隙中的污垢迅速剥落，从而达到物件表面净 化的目的。
清洗机原理及设备结构 介绍
清洗目的及环境要求
2020/4/10
➢ 目的：基板经过切割裂片后，在玻璃表面容易残留 玻璃碎屑，清洗的主要目的是在短时间内将玻璃碎 屑冲掉，避免玻璃屑重新附着在基板上，造成玻璃 异物，不容易去除。
➢ 环境要求：①环境温度：22+2℃，相对湿度： 45%+10%；②洁净等级：5000级，与相邻加工区保 持微正压，与相邻检查区保持5Pa微负压。
（4）玻璃通过二流体清洗后，有喷淋管对玻璃进行清洗，上面有4排喷水 管，下面有3排喷水管，每排6个喷嘴。
（5）二流体1清洗用水利用的滚刷使用后的废水，7号水箱供水；二流体2
。 利用的是最终喷淋使用后的废水，9号水箱供水
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二流体一清洗（CLE5）
2020/4/10
二流体清洗介绍： （1）二流体组成: 洁净压缩空气（CDA）和纯水（DI Water）的混合体。 （2）CDA过滤器0.01um、DI Water过滤器1.2um。
（3）上下各1个二流体喷淋体，长度830mm，二流体喷体上进入处有5个 孔，分别通入CDA和DI Water ，喷口处为0.1mm液刀口。
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清洗工艺流程
➢ WDT：预湿机 ➢ CLE1：输入传送带 ➢ CLE2：盘刷清洗 ➢ CLE3：超声波清洗 ➢ CLE4：二流体清洗1 ➢ CLE5：滚刷清洗 ➢ CLE6：二流体清洗2 ➢ CLE7：最终喷淋 ➢ CLE8：风刀干燥 ➢ CLE9：输出传送带
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WDT预湿机
2020/4/10
预湿机的作用：①对玻璃进行预湿；②对研磨后的玻璃进行抽检；③投 入玻璃进行二次清洗。
预湿机的结构：机架、传送滚轮、喷淋装置、护罩、水槽、升降机构。
水平传送滚轮（小滚轮）：直径60mm。
抽检传送滚轮（大滚轮）：直径150mm。
超高分子
小滚轮材质：UPE 。
链聚乙烯
大滚轮材质：POM。
为直流电机。 ➢ 盘刷：直径85mm。 ➢ 转速：200～300r/min（可调）。
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盘刷传送带示意图
盘刷
2020/4/10
盘刷
盘刷
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盘刷清洗水箱示意图（CLE3） 2020/4/10
浓度测量仪
高液位传感器
低液位传感器
取样管
加热管
温度传 感器
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超声波清洗（CLE4）
2020/4/10
来自百度文库
超声波介绍： （1）有7个振板，每个振板共有16个振子,每个振子功率50W。 （2）超声波发生的频率为40-90KHZ。频率、功率可调。 （3）水箱有两个一用一备（4#、5#水箱）。 （4）水箱有加热装置、浓度、温度传感器。 （5）水箱中有4个浮球式传感器检测液位。
7
输入 传送带（CLE1）
2020/4/10
（1）传送带设有定位装置，两侧各1个汽缸定位玻璃。 （2）滚轮的材质是尼龙，挡边轮材质是UPE。 （3）设有2组滚刷，上下各2排，滚刷转动方向与玻璃前进方向相反。 （4）传送带出口处设有1组海绵滚筒，抹干玻璃上的水份。 （5）喷淋用的是6#水箱的水，水经10μm过滤器进行过滤。 ➢ 工作原理：玻璃进入输送传送带，上下各7排喷淋系统对玻璃进行初始清洗， 三菱的变频电机驱动轴上的斜齿轮组来带动传送带，当磁性传感器检查到玻璃通
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预湿机及DWT抽检示意图
二次投入传感器
玻璃输出
大滚轮
输出传感器 抽检传感器
抽检玻璃 输出投入
2020/4/10
玻璃输入
进入传感器 过渡小滚轮 翻转架 对射光电传感器
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预湿机抽检传送流程
2020/4/10
预湿机抽检传送动作流程：
玻璃通过预湿机需要抽检时，经过入口磁性传感 器传送带开始减速，当玻璃经过中间一侧的磁性 传感器时，传送滚轮停止，同时气缸带动机架上 升20mm停止，垂直传送滚轮开始运行，此传感 器检测到玻璃离开后，机架开始下降，回到原位， 水平传送带又开始水平输送玻璃。
上有压力表和调节阀门，还有观测流量计。 盘刷清洗水需加入清洗剂，由2，3#水箱（一用一备）提
供，由于加入了清洗剂废水不能被其他区域利用，只能自 身循环利用，且水需要加热到40~45℃。清洗剂：PKLCG211，水的PH值为12~14。
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盘刷清洗
2020/4/10
➢ 刷毛：Φ=0.1mm，尼龙材质。 ➢ 上下盘刷：交叉1~2mm。 ➢ 升降调节方式：锥齿轮+螺旋升降+前后同步。 ➢ 驱动方式：交流变频电机（滚轮驱动），盘刷轴驱动
聚甲醛
升降机构是由气缸带动机架升降，旁边有4个导向轴，上面是大滚轮。
喷淋管上面7排，下面2排水管，由1#水箱供水。
共有4个传感器：入口、出口、中间两侧。
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DWT抽检
2020/4/10
（1）水平传送部分：通过电机减速机带动大滚轮转动，水平传送与预湿 机连接处设有小滚轮过渡。
（2）翻转部分：通过左右端2个汽缸带动齿条直线运动来带动齿轮转动， 从而带动机架翻转73°，（翻转架子上装有2个光电传感器检测玻 璃），架子下部设有2个缓冲器。
。 过时，两侧的汽缸驱动定位块对玻璃定位，来矫正玻璃的位置
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输入传送带结构示意图
其结构示意图如下：
2020/4/10
Substrate
磁性传感器
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盘刷清洗（CLE2）
2020/4/10
➢ 设备结构： 盘刷区共有4组盘刷，盘刷的间距和转速都可以调节。 盘刷区还有喷淋装置，喷淋装置上的喷嘴方向可以调节，