金刚砂线切割液和砂浆切割液的区别和优势
合集下载
相关主题
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。
金刚石线切割技术就是将高硬度、高耐磨性的金刚石颗粒牢固的固结在钢线基体上而制成固结磨料锯丝,从而使该锯丝对工件进行直接切割的技术。
1. 切割效率高,单晶硅片可以达到1200um/min,多晶/准单晶可以达到700um/min。
2. 环境污染低:金刚砂线切割液辅料是水性切割液。
3. 硅片精度好:TTV<15um,TV<10um。
4. 表面损伤小:表面损伤层:~5um。
5. 锯口损耗少:线芯:Φ120~90um。
线切割在硅片厚度控制、TTV等性能上都优于砂浆切割。