洁净度等级 【标准】
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2,930
10000级
ISO Class8
3,520,000
832,000
29,300
100000级
ISO Class9
35,200,000
8,320,000
293,000
各国洁净度等级近似对照表：
个/M≥0.5um
ISO
US
US
EEC
FRANCE
GERMANY
JAPAN
14644-1(1999)
209E(1992)
ISO Class4
10,000
2,370
1,020
352
83
10级
ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
100级
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
1000级
ISO Class7
352,000
83,200
A+B
4,000
3
5
10,000
-
M4
-
-
-
-
-
35,300
6
M4.5
1,000
1,000
-
4
6
100,000
-
M5
-
-
-
-
-
353,000
7
M5.5
10,000
C
400,000
5
7
1,000,000
-
M6
-
-
-
-
-
3,530,000
8
M6.5
100,000
D
4,000,000
6
8
10,000,000
-
M7
-
-
-
-
-
ISO14644-1（国际标准）
空气洁净
度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
类似于
传统级别
0.Байду номын сангаасum
0.2um
0.3um
0.5um
1.0um
5.0um
ISO Class1
10
2
ISO Class2
100
24
10
4
ISO Class3
1,000
237
102
35
8
1级
209D(1988)
cGMP(1989)
AFNOR(1981)
VDI 2083(1990)
JAOA(1989)
1
-
-
-
-
-
-
-
3.5
2
-
-
-
-
0
2
10.0
-
M1
-
-
-
-
-
35.3
3
M1.5
1
-
-
1
3
100
-
M2
-
-
-
-
-
353
4
M2.5
10
-
-
2
4
1,000
-
M3
-
-
-
-
-
3,530
5
M3.5
100
10000级
ISO Class8
3,520,000
832,000
29,300
100000级
ISO Class9
35,200,000
8,320,000
293,000
各国洁净度等级近似对照表：
个/M≥0.5um
ISO
US
US
EEC
FRANCE
GERMANY
JAPAN
14644-1(1999)
209E(1992)
ISO Class4
10,000
2,370
1,020
352
83
10级
ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
832
29
100级
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
8,320
293
1000级
ISO Class7
352,000
83,200
A+B
4,000
3
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-
M4
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M4.5
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M5
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353,000
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M5.5
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C
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M6
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D
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-
M7
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ISO14644-1（国际标准）
空气洁净
度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）
类似于
传统级别
0.Байду номын сангаасum
0.2um
0.3um
0.5um
1.0um
5.0um
ISO Class1
10
2
ISO Class2
100
24
10
4
ISO Class3
1,000
237
102
35
8
1级
209D(1988)
cGMP(1989)
AFNOR(1981)
VDI 2083(1990)
JAOA(1989)
1
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3.5
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10
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