实验一：四探针法测电阻的电阻率

物理专业实验报告

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实验名称四探针法测电阻的电阻率实验地点实验日期

【实验目的】

（1）熟悉四探针法测量半导体或金属材料电阻率的原理

（2）掌握四探针法测量半导体或金属材料电阻率的方法

【实验仪器】

SX1944型数字式四探针测试仪；硅单晶；TiO2陶瓷样品；SB118精密直流恒流源；直流数字电压表

【实验原理】

半导体材料是现代高新技术中的重要材料之一，已在微电子器件和光电子器件中得到了广泛应用。半导体材料的电阻率是半导体材料的的一个重要特性，是研究开发与实际生产应用中经常需要测量的物理参数之一，对半导体或金属材料电阻率的测量具有重要的实际意义。

直流四探针法主要用于半导体材料或金属材料等低电阻率的测量。所用的仪器示意图以及与样品的接线图如图1所示。由图1(a)可见，测试过程中四根金属探针与样品表面接触，外侧1和4两根为通电流探针，内侧2和3两根是测电压探针。由恒流源经1和4两根探针输入小电流使样品内部产生压降，同时用高阻抗的静电计、电子毫伏计或数字电压表测出其它两根探针（探针2和探针3）之间的电压V23。

图1 四探针法电阻率测量原理示意图