傅立叶转换红外线光谱仪

麥克遜干涉儀
工作原理是以干涉條 紋經傅利葉轉換後得 出易懂的圖譜。由一 可動的面鏡由步進馬 達控制。所使用的分 光鏡可各穿透百分之 五十及反射百分之五 十的入射光。
兩光束干涉
麥克遜干涉儀原理
傅立葉變換紅外光譜儀工作原理圖
干涉儀 干涉圖 紅外光譜圖
濾 波 探測器 放大 器 A/D D/A
紅外光譜法對試樣的要求
所使用的基版是絕緣的GaAs晶圓片，並用 所使用的基版是絕緣的GaAs晶圓片，並用 MBE在其上成長CuInSe MBE在其上成長CuInSe2或CuGaSe2化合 物半導體薄膜，再利用液相沉積法成長一 層二氧化矽(SiO 層二氧化矽(SiO2)，再利用濺鍍法濺鍍一層 Mo金屬，以製造出液相沉積法-MIS太陽能 Mo金屬，以製造出液相沉積法-MIS太陽能 電池
掃描速度快。 高分辨率 。 靈敏度高。
結論
現代紅外光譜議是以傅立葉變換為基礎的 儀器。該類儀器不用棱鏡或者光柵分光， 而是用干涉儀得到干涉圖，採用傅立葉變 換將以時間為變數的干涉圖變換為以頻率 為變數的光譜圖。傅立葉紅外光譜儀的產 生是一次革命性的飛躍。
END
HT-7光學多通道分析儀 HT-
工作原理
氣體樣品
可在玻璃氣槽 可在玻璃氣槽內進行測定，它的兩端粘有 玻璃氣槽內進行測定，它的兩端粘有 紅外透光的NaCl或KBr窗片。先將氣槽抽真 紅外透光的NaCl或KBr窗片。先將氣槽抽真 空，再將試樣注入
液體和溶液試樣
（1）液體池法 沸點較低，揮發性較大的試樣，可注入封 沸點較低，揮發性較大的試樣，可注入封 閉液體池中 液層厚度一般為0.01~1mm。 閉液體池中，液層厚度一般為0.01~1mm。 （2）液膜法 沸點較高的試樣，直接滴在兩片鹽片之間 兩片鹽片之間， 沸點較高的試樣，直接滴在兩片鹽片之間， 形成液膜。 形成液膜。 對於一些吸收很強的液體，當用調整厚度 的方法仍然得不到滿意的譜圖時，可用適 當的溶劑配成稀溶液進行測定。
固體試樣
（2）石蠟糊法 將乾燥處理後的試樣研細， 將乾燥處理後的試樣研細，與液體石蠟或 全氟代烴混合，調成糊狀， 全氟代烴混合，調成糊狀，夾在鹽片中測 定。 （3）薄膜法 主要用於高分子化合物的測定。可將它們 主要用於高分子化合物的測定。 直接加熱熔融後塗制或壓制成膜 加熱熔融後塗制或壓制成膜。 直接加熱熔融後塗制或壓制成膜。也可將 試樣溶解在低沸點的易揮發溶劑中， 試樣溶解在低沸點的易揮發溶劑中，塗在 鹽片上，待溶劑揮發後成膜測定。 鹽片上，待溶劑揮發後成膜測定。
液相沉積法
(1) 傅立葉轉換紅外光譜儀 (2) 橢圓儀 (3) 掃描式電子顯微鏡(SEM) 掃描式電子顯微鏡(SEM) (4) 穿透式電子顯微鏡(TEM) 穿透式電子顯微鏡(TEM) (5) 光學顯微鏡(OM) 光學顯微鏡(OM)
SiO2薄膜的鍍製
由Nagayama等人提出液相沉積法，沉積溶 Nagayama等人提出液相沉積法，沉積溶 液中化學如下所示: 液中化學如下所示: H2SiF6+2H2O 6HF+SiO H3BO3+4HF BF +H3O +2H2O
固體試樣
（1）壓片法 1~2mg試樣與 試樣與200mg純KBr研細均勻 研細均勻， 將1~2mg試樣與200mg純KBr研細均勻， 置於模具中， 5~10） 107Pa壓力在油 置於模具中，用（5~10）×107Pa壓力在油 壓機上壓成透明薄片，即可用於測定。 壓機上壓成透明薄片，即可用於測定。試 樣和KBr都應經乾燥處理 都應經乾燥處理， 樣和KBr都應經乾燥處理，研磨到粒度小於 2微米，以免散射光影響。 微米，以免散射光影響。
紅外光譜簡述
一般定義是指波長在可見光（0.78m）和微波（25m） 一般定義是指波長在可見光（0.78m）和微波（25m） 間的電磁波。從微觀的角度來看，分子是隨時保持著振動 或轉動，若吸收適當頻率的紅外光，會使躍升為激發態的 分子，所以可以透過紅外光譜來瞭解分子的結構，作為鑑 定分子結構的工具。紅外光檢測對於樣品來說，是屬於一 種非破壞性的分析，
(1)紅外光譜的試樣可以是液體、固體或氣體，一般 應要 (1)紅外光譜的試樣可以是液體、固體或氣體， 紅外光譜的試樣可以是液體 求試樣應該是單一組份的純物質，純度應>98%或符合商 求試樣應該是單一組份的純物質，純度應>98%或符合商 業規格，才便於與純物質的標準光譜進行對照。 業規格，才便於與純物質的標準光譜進行對照。 (2)試樣中不應含有游離水 (2)試樣中不應含有游離水 (3)試樣的濃度和測試厚度應選擇適當，以使光譜圖中的 3)試樣的濃度和測試厚度應選擇適當 試樣的濃度和測試厚度應選擇適當， 大多數吸收峰的透射比處於10%~80%範圍內 範圍內。 大多數吸收峰的透射比處於10%~80%範圍內。
傅立葉變換簡介
傅立葉變換儀器
麥克遜干涉儀 遜
測定干涉曲線 傅立葉變換 頻譜圖
傅立葉變換
時域譜與頻域譜的對應關係
傅氏光譜儀主要元件
光源 光圈 邁克遜干涉儀 分光片 氦氖雷射 檢測器
傅氏轉換紅外線光譜儀（FTIR） 傅氏轉換紅外線光譜儀（FTIR）
AVATAR 360 FT-IR
軟體
来自百度文库測器
量子式的工作原理是電子能接收紅外光的能量，從價帶躍 升至傳導帶。因此具有快速接收及靈敏度高的優點，但受 限於波長範圍及需用液氮冷卻; 限於波長範圍及需用液氮冷卻;故以熱輻射檢測器較普遍 使用。 利用紅外光譜儀的量測，一般可分為穿透和反射兩類，我 們常藉由紅外光束穿過待測物質而獲得其穿透或吸收光譜， 但是當碰到不透光的樣品（如金屬板）或在某些光區不透 光的樣品（如玻璃）中，因紅外光不穿透，無法由穿透光 譜瞭解其振動結構，因此我們進行反射光譜的量測，以獲 得其結構的振動光譜。
FTIR量測範圍 FTIR量測範圍
傅立葉轉換紅外線光譜儀
Fourier Transform Infrared Spectroscopy 指導教授: 指導教授:吳坤憲 學生: 學生:賴逸群 劉彥伸 鄭韋治
簡述
近年来FTIR較多在化學研究和化學分析領 近年来FTIR較多在化學研究和化學分析領 域。其中红外線波段的半導體材料和器件 研究工作發展很快，與其他一些領域的應 用相比，中红外波段的半導體材料和儀器 研究中之FTIR方法有一些較特殊的要求， 研究中之FTIR方法有一些較特殊的要求， 也更重視發射光譜的量測。
紅外吸收光譜法 (Infrared Absorption Spectrometry ，IR)
是以一定波長的紅外光照射物質時，若該 紅外光的頻率能滿足物質分子中某些基因 振動能級的躍遷頻率條件，則該分子就吸 收這一波長的紅外光輻射能量，而由能量 較低的基態振動躍遷到較高的能級的激發 態振動能級。檢測物質分子對不同波長紅 外光吸收強度，就可以得到該物質的紅外 吸收光譜圖。
紅外光譜測定中的樣品處理技術
1 .氣體樣品 .氣體樣品 2 .液體和溶液樣品 : .液體和溶液樣品 (1)液體池法 (1)液體池法 (2)液膜法 (2)液膜法 3 固體試品: 固體試品: (1)壓片法 (1)壓片法 (2)石蠟糊法 (2)石蠟糊法 (3)薄膜法 (3)薄膜法
水平式結構MIS(Metal-Insulator水平式結構MIS(Metal-InsulatorSemcomductor)太陽能電池 Semcomductor)太陽能電池
為什麼為傅立葉轉換光譜儀為非破壞性
Ans:樣品在進行紅外光譜量測之後，並不會 Ans:樣品在進行紅外光譜量測之後，並不會 造成原本結構的破壞或改變。
光圈和光源
用來控制光過的量，避免檢測器負載過大， 另外可限制光通過樣品的角度。 依實驗所需之波長範圍來選用不同光源。 氦氖雷射 儀器中的低功率氦氖雷射，是作為傅氏轉 換時的參考光束，用於干涉條紋之記錄， 與紅外光所測得的干涉條紋做比較，以便 電腦做傅利葉轉換用。
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FTIR量測在In-rich之 FTIR量測在In-rich之CulnSe 上，用LPD法在 上，用LPD法在 不同濃度下成長SIO 不同濃度下成長SIO T的鍵結曲線變化
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溶液濃度表
較快的沉積速率所使用的溶液表
較佳絕緣體層折射率所需使用的溶液表
FTIR優於色散式系統光譜儀的特點 FTIR優於色散式系統光譜儀的特點