全新构架的中大功率分立器件测试系统STS8203

等 。 传统 的测 试方 案 中 ， 个参 数测 试就 是一 台测 在 每
试机或测试 仪 ， 没需要测试 Ｄ 、 Ｉ、Ｖ Ｓ使用 假 Ｃ ＵＳＤ Ｄ ，
传 统测 试 方案 的示 意 图 如 图 １ 示 。该 方 案需 要 ３ 所
具体的内容请见下文 。
个 测试 机 、 ３个不 同 的测试 软 件 ， 法 进行 统 一 编程 无 和 统一 的数 据统 计 ， 有些 仪表 甚至 智 能化较 弱 ， 在数
巾 国 集 成 电 路
Ｃ ｈｉ ｎａ ｎｔ ｉ ｅｇｒ ｅｄ ｉｃｕｉ ａｔ Ｃ ｒ ｔ
企 业 与 产 品
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全新构架的中大功率 分立器件测试系统 Ｓ Ｓ ３ Ｔ ８０ ２
徐 捷 爽
（ 北京 华峰 测控技 术有 限公 司 Ａ ｃＴＳ 事业部 ） ｃｏＥＴ
摘要 ： 文介 绍 了 Ａ ｃ ＴＳ 本 ｃ ｏＥ Ｔ最新推 出的基 于 Ｓ Ｓ ２ ０ 线 平 台 ， 以 高压 、 电流 的测试 板 卡 、 Ｔ８ ０ 总 配 大 雪崩 测 试板 和热 阻测试 板 ， 并在 一 个 系统 中完成 并行 的 直流 （ Ｃ） 交流 （ Ｃ） 站 测试 的 中大功 率分 立 器件 Ｄ 和 Ａ 分
测 试 系统 Ｓ Ｓ ２ ３ Ｔ ８ ０。
关键 词 ：Ｔ ８ ０ ， ２ ０ 板卡 级 ， Ｓ Ｓ ２ ３８ ０， 并发技 术 ， 同一平 台
近年来 ，中大功率分立器件随着圆片制造工艺
的突 破 ， 以及 封装 工艺 的发展 ， 国内越来 越 多 的厂家 开始 生 产 和加 工 这 类 器 件 ，并 且 越 来 越 多 的海 外 Ｉ Ｍ 公 司也把 此 类 产 品投 放 到 国 内来 生产 。而 中大 Ｄ 功率 分 立 器 件测 试 要 求 在 近 １ 中也 悄 然 发 生 了 ０年 变 化 ， 了功 率 越 做 越 大 即直 流 （ Ｃ） 试 要 求 的 除 Ｄ 测 电压 越 来越 高 、 电流 越来 越 大外 ， 原先 仅 限于实 验 室 产 品验 证 的 一些 交 流 （ Ｃ） 数 如 雪 崩 参 数 、 阻 Ａ 参 热 参 数 、开关 时 间参数 等都 逐 步在 不 同的产 品 中成 为 生 产 过 程 中 １０ ０ ％必 测 的筛 选 参数 ，这 对 这 类 器件 在 测 试 过程 中 的测试 覆盖 率 和测试 效 率两方 面都提 出 了挑 战 。北 京 华 峰 测 控 技 术 有 限公 司 Ａ ｃＴ ｓ ｃｏ Ｅ Ｔ 事 业 部 近 期 推 出 了基 于 其 广 泛 使 用 的 Ｓ Ｓ２ ０测 Ｔ ８０
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雪崩测试 ＵＳ 或称 ＵＬ Ｅ Ｓ 则是一种 电感效应 Ｉ（ Ｉ， Ａ ）
的能量 释放 过程 ， 验器 件 的抗能 量击 穿能 力 ； 阻 考 热
测 试 Ｄ Ｄ 这里 说 的热 阻 是 一 种 瞬 态 热 阻 ） 考 Ｖ Ｓ（ 是
验 器件 芯 片和管 壳 之 间打线好 坏 的参数 ，也 是需 要 加 功 率 后进 行 测 试 的 一个 参 数 ；栅 极 动 态 电 阻 Ｒ ｇ
是非能量测试 ，但需要有交流信号输入 ；还有一般
ＩＢ Ｇ Ｔ产 品需 要 测 试 的 开关 时 间参 数 如 Ｔ ｎ Ｔ ｆ、ｒ ｏ 、ｏ Ｔ ｆ
试 平 台 的中大 功率分立 器 件 Ｄ ＋ Ｃ一体化 测试 ＣＡ
机 ， 品命 名 为 Ｓ Ｓ ２３ 该 产 品很好 地解 决 了产 品 产 Ｔ８０。 测 试 的功 能性 、 试效 率 和客 户易 用性 之 间的关 系 ， 测
１ 传统测试方案及其 缺点
目前 的 中大 功率 分立 器件 在成 品测 试方 面一 般 需要经过 Ｄ Ｃ测 试 ， 高 压 、 电流 测 试 要 求 ， 时 有 大 有
电压 需要 高 于 ｌ Ｏ Ｖ一１ ０ 电 流在 几 十 安培 甚 Ｏｔ ） ５ ０Ｖ，
至更 大 。 如果是 Ｉ Ｂ ， 么需要 的电压 和 电流更 高 ； Ｇ Ｔ那