磁悬浮技术在分子泵轴承上的应用

书山有路勤为径，学海无涯苦作舟

磁悬浮技术在分子泵轴承上的应用

1、分子泵中的磁悬浮轴承

轴承是分子泵的关键部件。轴承的质量、性能和寿命直接影响分子泵的

性能和使用寿命。现阶段常见的分子泵轴承有滚珠轴承和正在发展中的磁悬浮轴承。磁悬浮轴承是利用磁力作用将转子悬浮于空中，使转子与定子之间没有机械接触。其原理是磁感应线与磁浮线垂直，轴心与磁浮线平行，因此转子的重量就固定在运转的轨道上(如滚珠轴承结构简单，价格便宜，现在仍然被大量使用，而且新开发的脂润滑式的分子泵也可实现小型化，随着材料科学的进步，越来越多的滚珠轴承使用了陶瓷材料，维修周期也可在两年以上。但磁悬浮式分子泵依然是现代分子泵发展的主流趋势，因为磁悬浮轴承有着其他种类轴承不可替代的优势：

1)不用任何润滑油，可实现完全无油化。

2)由于转子与定子之间没有机械接触，轴承的寿命非常长。

3)与传统轴承相比，转子可运行到很高的转速。

4)振动与噪声很低。

5)泵的安装姿态不受限制，可任意角度安装。

2、磁悬浮轴承的应用

由于磁悬浮轴承所体现出的众多优点，从20 世纪70 年代开始，许多真空设备公司就开始研究此项技术，使其应用于分子泵技术领域。经过真空技术网(chvacuum)翻阅文献查得：1976 年，德国LEYBOLD 公司开发了世界上第一台完全无接触的磁悬浮轴承分子泵。其结构与现在广泛使用的磁悬浮轴承结构有所不同，分子泵中心轴是固定的，转子绕中心轴旋转。但由于技术并不成