电真空材料与工艺(XXXX)
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牌号：NCu40-2-1（含铜40%、锰2%、铁 1%）
2.2 非难熔金属
（三）铝（Al）及铝合金 性质 ：导电性好 ；导热性好、塑性好、易
加工。密度2.7克/厘米3 缺点：熔点低（658℃），高温强度差。 用途 ：管外零件为主。 牌号：L1、L2 硬铝（AL-Cu-Mg）、（Al-Cu-Mn） 牌号：LY11、LY12
适当的膨胀系数、好的焊料浸润性能等 等；
百度文库
特殊材料的特殊性能：
发射材料的发射性能、抗中毒能力，吸 气材料的吸气性能等等。
第一节 电真空工艺特点
1、使用材料广泛而特殊 2、机械加工要求高 要求加工精度高 （0.01mm~0.02mm）
表面光洁度要高 （粗糙度0.8~0.2或更高）
第一节 电真空工艺特点
3、设备专业性强 ：按照特定工艺技术要求 而设计制造的专用设备
加工制造设备 真空设备 涂覆设备 热处理设备 焊接设备 专用测试设备
第一节 电真空工艺特点
4、生产技术复杂 机械加工技术 半导体工艺技术 真空技术 焊接技术 玻璃、陶瓷及其封接技术
第一节 电真空工艺特点
5、真空卫生严格 成品率、可靠性以及寿命 ；
2.2 非难熔金属
（一）铜（Cu）及铜合金 性质 ：熔点为1083℃，比重8.95克/厘米3
，良好导电、导热性能。无磁性，有良好 的耐腐蚀性，成本低 。 用途 ：大量使用。管内零件、管外零件。 工作温度低于450℃。 纯铜的牌号是T1、T2、T3和T4
无氧铜：无氧铜中氧的含量一般在0.001～ 0.003%之间，杂质总量不超过0.05% “氢病”：零件在氢炉中做焊接或退火时，氢气 渗透到铜的内部，与铜中所含的氧发生作用形成 了水蒸气，在铜中形成很高的压力，使铜遭到破 坏。
2.1 难熔金属
（二）钼及钼合金 性质：比重10.2克/厘米3、熔点2620℃。
纯钼的机械性能良好，因而易于加工 用途：做工作在1000℃以下的电极 合金 ：钨钼合金 、钼铜
2.1 难熔金属
（三）钽铌（Ta－Nb）合金 性质 ：钽的熔点2996℃，比重16.6克/厘米
3，铌的熔点2415℃，比重8.57克/厘米3。 强度高、抗疲劳、抗变形、抗腐蚀、导热、 及吸收气体等优良特性 用途 ：阴极支持筒、热屏筒 等
2.2 非难熔金属
（四）铁（Fe）及铁合金 性质 ：与镍相似 ；熔点为1537℃，密度
7.87克/厘米3 缺点：去气困难、易生锈 用途 ：利用软磁特性；作极靴、磁屏蔽
不锈钢 ：含铬17～19%，含镍9%左右的 1Cr18Ni9
如果再加入0.8～1%的钛，则就 成为1Cr18Ni9Ti。
作为器件本身的结构件，也可以做真空 系统的管道和各种连接法兰。
作模具材料（黑化）。
2.3 贵金属
金、银、铂、钯、铑、铯、锇、铱等八种 金属
特点：化学稳定性、抗腐蚀性和抗电化学 侵蚀性好，并具有优良的导电、导热性。
用途：利用其导电、导热性好作为引线、 或者在波导内壁镀敷金、银； 作为焊料，如金、银、钯； 铂价格昂贵，用作钨钼材料焊接时的 过度材料。
1、 使用材料广泛而特殊 广泛：包含了自然界中70%以上的已知元素
金属及合金、气体、介质材料、化学材料、 特殊材料
介质材料：
玻璃
陶瓷
云母
聚四氟乙烯、硅橡胶、环氧树脂、……
化学材料：
硫酸、盐酸、硝酸、铬酸、丙酮、乙醇、 汽油、三氯乙烯、四氯化碳、……
特殊材料：
发射材料、吸气材料、发光材料、封接材 料、二次电子发射材料、磁性材料、…
塑性很好 ；缺点是强度不高 无氧铜牌号：TU1、TU2
弥散强化无氧铜：均匀掺入非常细小 （<1μm）的硬化质点，比如Al2O3颗粒
强度高、导热导电性能好、热稳定性和气 密性高、无磁性、易于加工、与焊料浸润 性好
铜的合金 1、铜锌（Cu－Zn）合金－黄铜
特点：强度比铜高、价格低；加热后蒸发 严重
用途：管外零件，特别是微波元件、波导
最常用的黄铜是H62，含铜量在60.5～ 63.5%。H96， 波导管制造。
铜的合金 2、铜镍（Cu－Ni）合金－白铜
含Ni 20﹪，更好的高温强度和耐腐蚀性。 加入少量的锰，提高强度，锰白铜。
铜的合金 3、青铜。
2.2 非难熔金属
（二）镍（Ni）及镍合金 性质 ：银白色的金属，熔点1452℃，比重
8.9克/厘米3 ；抗拉强度较高，有好的延展 性和韧性、焊接性好、蒸汽压低、耐腐蚀 用途 ：用于合金。是电真空工业中应用最 广泛的金属之一 。
镍的合金
蒙耐尔（Monel）合金：镍含量达60～ 70%、铜仅25～35%
白色的金属，外观与镍相似，它具有比镍 更好的强度和塑性。弱磁性。
含40%Cu，2%Mn，1%Fe无磁性。
1、 使用材料广泛而特殊 特殊 ：对材料的要求特殊 机械加工性能：
既要易于加工，又要具有足够的强度； 电磁性能：
高频机构的材料应具有良好的导电性，磁 体材料则应具有良好的磁性能等等；
真空性能： 好的吸气或放气性能，低的饱和蒸汽压，
良好的气密性； 热性能：
热稳定性能、高温强度性能等； 封接（焊接）性能：
电真空材料与 工艺
提
结
出
理
构
性
论
工
能
计
艺
指
算
设
标
计
测试
成品管
第一章 微波电真空工艺特点和电真 空材料
什么是微波电真空器件 ？ 利用电子注与高频场的相互作用而实现
微波能量的产生和放大的器件
工作环境：真空 电子注与高频场的复杂性，决定了它的研 制必然是一种知识、技术密集型的过程。
第一节 电真空工艺特点
非难熔金属 ：熔点低，1000～1500℃ 。 铜（Cu）、镍（Ni）、铁（Fe）等及其合 金。做结构零件
晶粒示意图
2.1 难熔金属
（一）钨及钨合金 性质：钨的比重达19.1～19.3克/厘米3。钨
的熔点高达3410℃ 用途：直热式阴极、热子材料 合金 ：钨钼合金 、钍钨丝 、铼钨丝 、钨
铜棒
固体污染物 液态污染物
第一节 电真空工艺特点
6、工艺纪律严肃 严格按工艺规范生产 ，对工艺规范的修
改，都必须经充分试验，审批后才能实行。
第二节 电真空常用金属与合金
难熔金属：熔点高，3000℃ 左右。W （钨）、Mo（钼）、Re（铼）、Ta（钽）、 Nb（铌）等，用作器件中的加热体（阴极、 热子）及高温工作零件（行波管螺旋线、 管内阳极、聚焦极等）。
2.2 非难熔金属
（三）铝（Al）及铝合金 性质 ：导电性好 ；导热性好、塑性好、易
加工。密度2.7克/厘米3 缺点：熔点低（658℃），高温强度差。 用途 ：管外零件为主。 牌号：L1、L2 硬铝（AL-Cu-Mg）、（Al-Cu-Mn） 牌号：LY11、LY12
适当的膨胀系数、好的焊料浸润性能等 等；
百度文库
特殊材料的特殊性能：
发射材料的发射性能、抗中毒能力，吸 气材料的吸气性能等等。
第一节 电真空工艺特点
1、使用材料广泛而特殊 2、机械加工要求高 要求加工精度高 （0.01mm~0.02mm）
表面光洁度要高 （粗糙度0.8~0.2或更高）
第一节 电真空工艺特点
3、设备专业性强 ：按照特定工艺技术要求 而设计制造的专用设备
加工制造设备 真空设备 涂覆设备 热处理设备 焊接设备 专用测试设备
第一节 电真空工艺特点
4、生产技术复杂 机械加工技术 半导体工艺技术 真空技术 焊接技术 玻璃、陶瓷及其封接技术
第一节 电真空工艺特点
5、真空卫生严格 成品率、可靠性以及寿命 ；
2.2 非难熔金属
（一）铜（Cu）及铜合金 性质 ：熔点为1083℃，比重8.95克/厘米3
，良好导电、导热性能。无磁性，有良好 的耐腐蚀性，成本低 。 用途 ：大量使用。管内零件、管外零件。 工作温度低于450℃。 纯铜的牌号是T1、T2、T3和T4
无氧铜：无氧铜中氧的含量一般在0.001～ 0.003%之间，杂质总量不超过0.05% “氢病”：零件在氢炉中做焊接或退火时，氢气 渗透到铜的内部，与铜中所含的氧发生作用形成 了水蒸气，在铜中形成很高的压力，使铜遭到破 坏。
2.1 难熔金属
（二）钼及钼合金 性质：比重10.2克/厘米3、熔点2620℃。
纯钼的机械性能良好，因而易于加工 用途：做工作在1000℃以下的电极 合金 ：钨钼合金 、钼铜
2.1 难熔金属
（三）钽铌（Ta－Nb）合金 性质 ：钽的熔点2996℃，比重16.6克/厘米
3，铌的熔点2415℃，比重8.57克/厘米3。 强度高、抗疲劳、抗变形、抗腐蚀、导热、 及吸收气体等优良特性 用途 ：阴极支持筒、热屏筒 等
2.2 非难熔金属
（四）铁（Fe）及铁合金 性质 ：与镍相似 ；熔点为1537℃，密度
7.87克/厘米3 缺点：去气困难、易生锈 用途 ：利用软磁特性；作极靴、磁屏蔽
不锈钢 ：含铬17～19%，含镍9%左右的 1Cr18Ni9
如果再加入0.8～1%的钛，则就 成为1Cr18Ni9Ti。
作为器件本身的结构件，也可以做真空 系统的管道和各种连接法兰。
作模具材料（黑化）。
2.3 贵金属
金、银、铂、钯、铑、铯、锇、铱等八种 金属
特点：化学稳定性、抗腐蚀性和抗电化学 侵蚀性好，并具有优良的导电、导热性。
用途：利用其导电、导热性好作为引线、 或者在波导内壁镀敷金、银； 作为焊料，如金、银、钯； 铂价格昂贵，用作钨钼材料焊接时的 过度材料。
1、 使用材料广泛而特殊 广泛：包含了自然界中70%以上的已知元素
金属及合金、气体、介质材料、化学材料、 特殊材料
介质材料：
玻璃
陶瓷
云母
聚四氟乙烯、硅橡胶、环氧树脂、……
化学材料：
硫酸、盐酸、硝酸、铬酸、丙酮、乙醇、 汽油、三氯乙烯、四氯化碳、……
特殊材料：
发射材料、吸气材料、发光材料、封接材 料、二次电子发射材料、磁性材料、…
塑性很好 ；缺点是强度不高 无氧铜牌号：TU1、TU2
弥散强化无氧铜：均匀掺入非常细小 （<1μm）的硬化质点，比如Al2O3颗粒
强度高、导热导电性能好、热稳定性和气 密性高、无磁性、易于加工、与焊料浸润 性好
铜的合金 1、铜锌（Cu－Zn）合金－黄铜
特点：强度比铜高、价格低；加热后蒸发 严重
用途：管外零件，特别是微波元件、波导
最常用的黄铜是H62，含铜量在60.5～ 63.5%。H96， 波导管制造。
铜的合金 2、铜镍（Cu－Ni）合金－白铜
含Ni 20﹪，更好的高温强度和耐腐蚀性。 加入少量的锰，提高强度，锰白铜。
铜的合金 3、青铜。
2.2 非难熔金属
（二）镍（Ni）及镍合金 性质 ：银白色的金属，熔点1452℃，比重
8.9克/厘米3 ；抗拉强度较高，有好的延展 性和韧性、焊接性好、蒸汽压低、耐腐蚀 用途 ：用于合金。是电真空工业中应用最 广泛的金属之一 。
镍的合金
蒙耐尔（Monel）合金：镍含量达60～ 70%、铜仅25～35%
白色的金属，外观与镍相似，它具有比镍 更好的强度和塑性。弱磁性。
含40%Cu，2%Mn，1%Fe无磁性。
1、 使用材料广泛而特殊 特殊 ：对材料的要求特殊 机械加工性能：
既要易于加工，又要具有足够的强度； 电磁性能：
高频机构的材料应具有良好的导电性，磁 体材料则应具有良好的磁性能等等；
真空性能： 好的吸气或放气性能，低的饱和蒸汽压，
良好的气密性； 热性能：
热稳定性能、高温强度性能等； 封接（焊接）性能：
电真空材料与 工艺
提
结
出
理
构
性
论
工
能
计
艺
指
算
设
标
计
测试
成品管
第一章 微波电真空工艺特点和电真 空材料
什么是微波电真空器件 ？ 利用电子注与高频场的相互作用而实现
微波能量的产生和放大的器件
工作环境：真空 电子注与高频场的复杂性，决定了它的研 制必然是一种知识、技术密集型的过程。
第一节 电真空工艺特点
非难熔金属 ：熔点低，1000～1500℃ 。 铜（Cu）、镍（Ni）、铁（Fe）等及其合 金。做结构零件
晶粒示意图
2.1 难熔金属
（一）钨及钨合金 性质：钨的比重达19.1～19.3克/厘米3。钨
的熔点高达3410℃ 用途：直热式阴极、热子材料 合金 ：钨钼合金 、钍钨丝 、铼钨丝 、钨
铜棒
固体污染物 液态污染物
第一节 电真空工艺特点
6、工艺纪律严肃 严格按工艺规范生产 ，对工艺规范的修
改，都必须经充分试验，审批后才能实行。
第二节 电真空常用金属与合金
难熔金属：熔点高，3000℃ 左右。W （钨）、Mo（钼）、Re（铼）、Ta（钽）、 Nb（铌）等，用作器件中的加热体（阴极、 热子）及高温工作零件（行波管螺旋线、 管内阳极、聚焦极等）。