真空氦检相关说明

真空氦自动画面介绍
操作流程： 扫描条码 放入对应条码数量的工件到真空箱内 关闭真空箱门自动检测 检测OK打印机打印条码 把条码贴在工件
真空箱动作流程： 关门到位 真空箱抽空 抽空下限压力到 把氦质谱仪(检漏仪)与箱体连通检测泄漏率 时间到 或泄漏 箱体回填大气 真空箱自动开门
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真空氦检提高检漏的方法(仅供参考)
1.在相同的泄漏标准下加长检漏时间； 2.在相同的检漏时间提高NG判定点（报警点）； 3.在相同的泄漏标准下提高充氦压力；
真空报警点设置方法
将漏孔值调到0.2Mpa（校检值2.4X10-6pa.M3/S）接入到检漏仪端口上进行测试 1、关闭测试终了，显示测试待机状态 2、点击设置变更 3、输入密码“0”并点击输入完成 4、密码确认 5、再按设置变更即设定点显示： a、清氦点：2.5X10-9pa.M3/S b、报警点： 9.0X10-9pa.M3/S c、设定点可为报警点： 9.0X10-9pa.M3/S 备注：DEL（删除单个） CLR(全部删除）
真空氦参数介绍
1 充气：真空箱打开充气阀回填大气时间；时间到并且箱内压 力高于A抽空上限 ，此时进入开门状态。 2.开门：开门的最长时间在此时间内箱门还没有开门到位则报 警。 3.关门：关门的最长时间在此时间内箱门还没有关门到位则报
警。 4.清扫 ：上次有泄漏后本次抽空打开清氦阀清扫的时间。 5.A抽空保持：箱内真空度达到“A抽空下限”后继续抽空的时 间。 6 动作延时：各个工序切换的时间（1-3秒） 7 抽空时限：真空箱抽空的最长时间；在此时间内箱内真空度 没有达到“A抽空下限”则报警。 8 阀门报警：检漏阀的报警时间（3-5秒） 9 A检漏时间：真空箱检漏的时间。 10 A抽空上限：真空箱回填大气时的最低真空度。 11 A抽空下限：真空箱检漏的最高检漏压力。 12 A应急抽空：当真空计损坏后；应急使用抽空的抽空时间。
注意： 气体的扩大倍率为ULVAC内部的基准（ 参考值）。根据条件，计算方法有所差 异。 容许泄露量（泄露品判定值）由贵公司 讨论后决定。因决定的泄漏量（泄露判 定值）难以保证，请谅解！
根据上记的换算公式，在以下的几个不同的条件下计算工件的泄漏量 附表-2： 单位：Pa.m3/s 冷媒 △P=1.5MPa 时的冷媒泄漏 量，气体扩大 倍率=70 8.32×10-7 1.66×10-6 4.16×10-6 7.03×10-7 1.41×10-6 3.51×10-6 9.89×10-7 1.98×10-6 4.94×10-6 充氦压力 0.6MPa时的 泄漏量 △p=0.7MPa 气体放大率 =18 2.14×10-7 4.28×10-7 1.07×10-6 1.81×10-7 3.62×10-7 9.04×10-6 2.54×10-7 5.09×10-7 1.27×10-6 充氦压力 0.7MPa时的 泄漏量 △p=0.8MPa 气体放大率 =23 2.73×10-7 5.46×10-7 1.36×10-6 2.31×10-7 4.62×10-7 1.16×10-6 3.25×10-7 6.50×10-7 1.63×10-5 充氦压力 0.8MPa时的 泄漏量 △p=0..9MPa 气体放大率 =28 4.52×10-7 9.04×10-7 2.26×10-6 3.82×10-7 7.63×10-7 1.91×10-6 5.37×10-7 1.07×10-6 2.68×10-6 充氦压力 1.5MPa时的 泄漏量 △p=1.6MPa 气体放大率 =75 8.91×10-7 1.78×10-6 4.45×10-6 7.53×10-7 1.51×10-6 3.77×10-6 1.06×10-6 2.12×10-6 5.30×10-6 充氦压力 3.0MPa时的 泄漏量 △p=3.1MPa 气体放大率 =230 2.73×10-6 5.46×10-6 1.36×10-5 2.31×10-6 4.62×10-6 1.15×10-5 3.25×10-6 6.50×10-6 1.62×10-5
充气
开门
• • •
1. 2. • • • • • 1. 2. 3. 1. 2.
检查气源压力； 检查磁感应开关位置，恢复正常； 调整“充气”时间、
检查磁感应开关； 检查气源压力。 检修真空阀； 检查气源压力； 检查抽空阀驱动阀； 将真空计设定值降低； 更换密封圈。 检查是否供水； 调高水流量； 调节水压开关。 提高气压压力； 调节压力开关。
检漏工艺过程
P
真空箱检漏过程
抽空下限 0 关门 抽空 HE检漏 充气 开门
t(S)
MPa
充氮停止
工件检测过程
充氦停止
大气压
工件抽空下限
0 充氮 保压 检大漏 放气Байду номын сангаас工件 抽空 充氦 等待真 空氦检 平衡 回收
t(S)
真空箱压力变化曲线
P
Evac failure
真空箱-压力变化曲线
充气故障
检漏压力 0 关门 时间 抽空时间 检漏时间 充气时间 开门时间
设置每次最多扫描的条码个数
真空氦检报警原因以及解除
报警 类型 • • • • • • 1. 2. 3. • • • • • • • • • • 原 因 1. 2. 3. 4. 处 理 在规定时间，真空箱内未恢复至常压； 抽空上限设置不当。 气压不足引起开门时间过长； 气路部份漏气； 气缸上的磁感应开关位置变动； 真空箱内真空度过高，使门不能推开。 气压不足引起关门时间过长； 气路部份漏气； 气缸上的磁感应开关位置变动。 抽空阀已坏； 气动压力不足； 抽空阀的驱动阀无动作或卡死； 设定值高，在规定时间内真空度不能达到设定值； 真空箱的密封圈脱落、破损或卡死。 冷却水缺水； 流量不足； 水压开关调节不当。 气源压力低于设定值； 压力开关调节不当。 检查充气阀； 检查充气气压； 检查气动元件气源压力； 检查“充气”时间、“充气间隔”时间的设定值；
t(S)
漏率
9.0E-9 Pa.M3/S 2.5E-9 Pa.M3/S SP 2 SP 1
NG
报警点 清氦点
OK
0
t(S)
真空氦检手动操作介绍
1.MU01(前级泵1)：打开或关闭箱体抽空前级泵1(粗抽空泵1) 2.MU02(前级泵2)：打开或关闭箱体抽空前级泵2(粗抽空泵2) 3.MU03(罗茨泵)：打开或关闭箱体抽空罗茨泵(罗茨泵) 4.MV01(清扫阀) ：打开或关闭检漏仪入口的清扫阀(注：检漏 阀关闭时才能打开) 5.MV02(检漏阀)：打开检漏阀与真空箱连通对箱体进行漏率检 测(注：真空箱真空度低于抽空下限是才能打开；高于时自动 关闭)。 6 充气：打开或关闭真空箱充气阀，破坏箱内真空度方便箱门 打开。 7 开门：打开真空箱门 8 关门：关闭真空箱门方便抽空 9 抽空：把真空箱抽成高真空 为检漏创造一个好的真空环境 10 清氦：打开真空箱上的清氦阀往箱内充入氮气清扫泄漏的 氦气 检漏仪状态以及检漏仪及时 漏率显示
ENT(输入确认） 测试模式(中漏模式）
附表：
空调、冰箱零部件的泄漏基准值，以氟里昂气体考虑
△P不同时的泄露量换算方法 He泄漏量=冷媒泄漏量*A/B A:测试时的气体充填压力相对应的气体扩大倍率 B:冷媒压力相对应的气体扩大倍率 附表-1：气体扩大倍率
△P（MPa） 气体放大倍率 0.7MPa 18 0.8MPa 23 0.9MPa 28 1.5MPa 70 1.6MPa 75 3MPa 230
关门
抽空
水压
气压
急停 阀门 报警 检漏仪 报警
有急停开关按下 阀门在“阀门报警”时间内没有开或关到位信号给出。
旋出急停开关 1. 2. 3. 检查“阀门报警”时间设置是否合理； 检查磁性传感器位置调节是否恰当； 检查气源压力。
检漏仪有错误信号给出
参见检漏仪说明书
真空氦检的校对
1.每天开机后把标准漏孔调节到2g/y对应的泄漏率下放入真空箱关门检测，检测完后亮 红灯(NG) 2.漏孔检测完后空箱检测一次此时检测完后绿灯亮。
冷媒种类
年间泄漏量
1g/年 R22 2g/年 5g/年 1g/年 R134a 2g/年 5g/年 1g/年 R410a 2g/年 5g/年