扩散炉维修手册(M5111-4W、UM系列高温扩散、氧化系统)
合集下载
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
3.3.1 气动阀不能受控打开 ··················· （14） 3.3.2 触摸屏上无气体流量显示 ················· （14） 3.3.3 气体流量总是显示最大值 ················· （15） 3.3.4 气体流量显示值波动大 ·················· （15）
2．电气图纸的代号规定 ··················· （2）
2.1 电气制图代号定义 ···················· （2） 2.2 元器件编号规定······················ （3） 2.3 电气接线编号规定 ···················· （3） 2.4 电气转接端口定义 ···················· （3） 2.5 计算机转接端口定义 ··················· （7）
X1110 或 X4101（Y2M-32TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 扩散小氮
大氮 干（大）氧 湿（小）氧 氢气
清洗小氮 扩散小氮
大氮
流量设定 流量设定 流量设定 流量设定 流量设定 流量设定 流量检测 流量检测
脚号
9
10
11
12
13
14
15
16
作用 干（大）氧 湿（小）氧 氢气
＋15V
－15V
X4105:至扩散小氮质量流量计
X4106:至大氮质量流量计
X4107:至大（干）氧质量流量计
X4108:至湿（小）氧质量流量计
X4109:至氢气或氮氢混合气质量流量计
X4110:至清洗小氮质量流量计（注：修改后与扩散小氮共用）
2.3 电气接线编号规定
*****
连接线序号，零线号从 001～099 ；其他线号从 101～999 。 层号：0—公共器件线，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层
柜子号：1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜，5—柜子 间的转接线。 如电控柜中上层第 35 号零线编号为：13035 ；气源柜下层第 89 号线编号为：41189 ；
8
清洗小氮源 瓶压力检测
脚号
1
2
3பைடு நூலகம்
4
5
6
作用 扩散小氮 大氮流量 大（干）氧 湿（小）氧 氢气流量 清洗小氮
流量设定
设定
流量设定 流量设定
设定
流量设定
脚号
9
10
11
12
13
14
作用 急停状态 断水状态 极限保护 炉体开状
态
脚号
17
18
19
20
火未燃
21
火已燃
22
作用
超温
D/I 备用 CP（脉冲输 （POCL3 泄 出） 漏检测）
薄膜淀积设备 掺杂设备 扩散掺杂设备 主参数，最高使用温度 1300℃ 炉膛有效内径φ150mm，适用于 3〞硅片工艺 炉膛有效内径φ180mm，适用于 4〞硅片工艺 炉膛有效内径φ250mm，适用于 6〞硅片工艺 炉膛有效内径φ300mm，适用于 8〞硅片工艺 微控 悬臂舟 内燃式 外燃式 双温区
消声开关 报警线入
17
漏氢指示 灯火线
18
火未燃指 示灯火线
19
超温指示 灯火线
工艺指示 灯火线
短路指示 灯火线
加热开指 示灯火线
加热关指 示灯火线
作用 加热关
前面板
前面板
控制线出 工作火线 工作零线
X1104:（Y2M-10TJ/ZK，控制柜转接板至后面板）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 后面板
后面板
报警
漏检测）
脚号
33
34
35
36
37
大氮流量 设定
作用 干氧流量 设定
A.GND、 G.GND
X1108:（Y2M-10TJ/ZK，控制柜转接板至净化台）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 脚号
步进电机 A+
9
步进电机 A －
10
步进电机 B+
步进电机 B-
前限位
后限位 限位 COM
作用
极限保护
X1109:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至功率板 X3102）
OPTO
一（风量
电平）
G.GND
检测）
脚号
17
18
19
20
21
作用
6
清洗小氮 流量检测
14
22
X1120:（37 针 D 型插头，D/I、D/A 信号至计算机）
7
扩散小氮源瓶 压力检测
15
23
FREE（启动电 平）
8
清洗小氮源 瓶压力检测
16
24
点火信号
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 前限位 急停状态 极限保护 火未燃
3.2 自动推拉舟系统······················ （13）
3.2.1 不能自动进出舟 ····················· （13） 3.2.2 不能自动停舟 ······················ （14）
3.3 气体流量控制系统 ···················· （14）
按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：
M 5 1 11 — 4 W / UM型
所企业代号（中国电子科技集团公司第 48 所） 特点代号 设计顺序号 主参数（1100℃） 品种代号（扩散设备） 形式代号（掺杂设备） 类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）
1.2 各代号涵义
M 5 1 13 1 2 3 4 W H A B S
2.4 电气转接端口定义 （注：以下的接口定义适用于修改后的 WK92 及 WK93 电气图纸）
3
中国电子科技集团公司第四十八研究所
X2003:（Y2M-10TJ/ZK，净化台转接板至控制柜前门板）
脚号
1
2
3
4
作用 脚号
U 相指示灯 V 相指示灯 W 相指示灯
火线
火线
火线
9
10
净化台控 制火线入
作用 常开阀
3.4 H/O 合成氧化系统 ···················· （16）
3.4.1 火不能点燃 ······················· （16） 3.4.2 系统误报警 ······················· （16）
I
中国电子科技集团公司第四十八研究所
1．设备型号涵义
1.1 型号的组成
1
中国电子科技集团公司第四十八研究所
2．电气图纸的代号规定
2.1 电气制图代号定义
按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：
代号
A
B C E F G H J K L M N
P
Q R S T U V W
X
Y Z
代号 意义 计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢 气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器 薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关 电容 加热器、扩散泵、照明灯 熔断器 开关电源、直流电源 指示灯、报警器 温控仪 固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器 三相总进线，分为：L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机 零线 质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电 流表、电压表、检测器件 断路器、空气开关 电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻 按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关 变压器、调压器、电压互感器、电流互感器 旋转编码器、变频器、整流器 晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管 导线、电缆 接线排、端子排、连接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座 （头可采用 XP、座可采用 XS） 电磁阀、电磁离合器、气动阀 滤波器
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 温控Ⅰ触 温控Ⅱ触 温控Ⅲ触 温控Ⅳ触 温控Ⅴ触 触发信号
发信号
发信号
发信号
发信号
发信号
COM
脚号
9
10
11
12
13
14
+15V 触发板 GND
15
16
作用 功率板零
线引入
脚号
17
18
19
加热开指 加热关指 示灯火线 示灯火线
作用 接触器线 自锁开关 控制电源 圈火线 触点出线 火线入
中国电子科技集团公司第四十八研究所
M5111-4W/UM 系列高温扩散/氧化系统
维修手册
中国电子科技集团公司第四十八研究所 2007 年 6 月
中国电子科技集团公司第四十八研究所
目录
1．设备型号涵义 ······················· （1）
1.1 型号的组成 ························ （1） 1.2 各代号涵义 ························ （1）
零线
5
接触器线 圈火线
6
照明灯 火线
7
散热风扇 火线
8
出舟提示 线圈火线
X1103:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至前面板）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 上电开关 上电开关 加热开
火线入
火线出 控制线出
脚号
9
10
11
12
急停开关 急停开关 加热关
控制线入 控制线出 控制线入
13
14
15
16
作用 脚号
工作火线 工作零线
输出
脚号
9
10
温控Ⅰ 输出＋
温控Ⅱ 输出＋
温控Ⅲ 输出＋
温控Ⅳ 输出+
温控Ⅴ 输出+
作用 温控 输出 COM
X1105:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至固态继电器板）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 扩散小氮
大氮 大（干）氧 湿（小）氧 氢气
清洗小氮 D/O 备用一 D/O 备用二
漏氢
超温
脚号
9
10
11
12
13
14
15
16
作用
湿氧流量
设定
脚号
17
18
19
20
21
22
23
24
5
中国电子科技集团公司第四十八研究所
作用 氢气流量
清洗小氮 后限位 断水状态 炉体开状 火已燃 点火温度
设定
流量设定
态
到
脚号
25
26
27
28
29
30
31
32
作用 D/I 备用
CP
扩散小氮
（POCL3 泄
流量设定
30
31
32
+15V
COM
X1111 或 X4102:（Y2M-14 TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 脚号
扩散小氮 电磁阀
9
大氮 电磁阀
10
干（大）氧 湿（小）氧
电磁阀
电磁阀
11
12
氢气 电磁阀
13
清洗小氮 电磁阀
14
火未燃报 警
漏氢报警
作用
D/O 备用线 1
气源柜火 线入
X4114:（Y2M-10TJ/ZK，气源柜转接板至电磁阀）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 扩散小氮
脚号
9
大氮 干（大）氧 湿（小）氧 氢气或氮 清洗小氮 或气帘氮 氢混合气
10
作用 常开阀
零线
X4105-X4110:（Y2M-7TJ/ZK，至质量流量计）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
作用 流量设定
COM
流量检测
COM
3．故障判别与维修 ······················ （11）
3.1 温度控制系统 ······················· （11）
3.1.1 温控仪上显示 oooo···················· （11） 3.1.2 炉子不能升温 ······················ （11） 3.1.3 面板上的超温指示灯亮 ·················· （12） 3.1.4 炉温失控 ························ （12） 3.1.5 面板上的短路指示灯亮 ·················· （13）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
作用 脚号
扩散小氮流量 检测
9
大氮流量 检测
10
大（干）氧 湿（小）氧
流量检测 流量检测
11
12
氢气流量 检测
13
清洗小氮 流量检测
14
扩散小氮源 瓶压力检测
作用 A/D 备用一（风 FREE（启 DIR（方向 A.GND、
量检测） 动电平） 电平）
G.GND
OPTO
点火信号
X1107:（Y2M-24TJ/ZK，控制柜转接板至 X1120 D 型 37 芯针）
2
2.2 元器件编号规定
中国电子科技集团公司第四十八研究所
*****
元器件序号 层号：0—公共器件，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层 柜子号：1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜 元器件代号 如电控柜中下层第 5 号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S2005
清洗小氮 扩散小氮 清洗小氮 A/D 备用一
流量检测 流量检测 流量检测 流量检测 源瓶压力 源瓶压力 (风量检
检测
检测
测)
脚号
17
18
19
20
21
22
23
24
作用
温度到
点火信号
D/I 备用 （POCL3 泄 漏检测）
6
脚号
25
26
27
作用 断水状态 火已燃
中国电子科技集团公司第四十八研究所
28
29
A.GND、 G.GND
X1119:（25 针 D 型插头，A/D、D/O 信号至计算机）
7
前限位
15
漏氢
23
8
后限位
16
点火温度到
24
脚号
1
2
3
4
5
作用 扩散小氮 大氮流量检 大（干）氧 湿（小）氧 氢气流量
流量检测
测
流量检测 流量检测
检测
脚号
9
10
11
12
13
作用 A/D 备用
DIR（方向 A.GND、
脚号
9
10
11
12
13
14
15
16
作用 设备异常 D/O 备用四 D/O 备用五
灯塔指示
灯
脚号
17
18
19
工艺灯
热偶短路 报警
出舟音乐 净化风机
提示
启动
作用
指示灯 火线入
电磁阀 火线入
4
中国电子科技集团公司第四十八研究所
X1106:（Y2M-14TJ/ZK，控制柜转接板至 X1119 D 型 25 芯针）
2．电气图纸的代号规定 ··················· （2）
2.1 电气制图代号定义 ···················· （2） 2.2 元器件编号规定······················ （3） 2.3 电气接线编号规定 ···················· （3） 2.4 电气转接端口定义 ···················· （3） 2.5 计算机转接端口定义 ··················· （7）
X1110 或 X4101（Y2M-32TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 扩散小氮
大氮 干（大）氧 湿（小）氧 氢气
清洗小氮 扩散小氮
大氮
流量设定 流量设定 流量设定 流量设定 流量设定 流量设定 流量检测 流量检测
脚号
9
10
11
12
13
14
15
16
作用 干（大）氧 湿（小）氧 氢气
＋15V
－15V
X4105:至扩散小氮质量流量计
X4106:至大氮质量流量计
X4107:至大（干）氧质量流量计
X4108:至湿（小）氧质量流量计
X4109:至氢气或氮氢混合气质量流量计
X4110:至清洗小氮质量流量计（注：修改后与扩散小氮共用）
2.3 电气接线编号规定
*****
连接线序号，零线号从 001～099 ；其他线号从 101～999 。 层号：0—公共器件线，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层
柜子号：1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜，5—柜子 间的转接线。 如电控柜中上层第 35 号零线编号为：13035 ；气源柜下层第 89 号线编号为：41189 ；
8
清洗小氮源 瓶压力检测
脚号
1
2
3பைடு நூலகம்
4
5
6
作用 扩散小氮 大氮流量 大（干）氧 湿（小）氧 氢气流量 清洗小氮
流量设定
设定
流量设定 流量设定
设定
流量设定
脚号
9
10
11
12
13
14
作用 急停状态 断水状态 极限保护 炉体开状
态
脚号
17
18
19
20
火未燃
21
火已燃
22
作用
超温
D/I 备用 CP（脉冲输 （POCL3 泄 出） 漏检测）
薄膜淀积设备 掺杂设备 扩散掺杂设备 主参数，最高使用温度 1300℃ 炉膛有效内径φ150mm，适用于 3〞硅片工艺 炉膛有效内径φ180mm，适用于 4〞硅片工艺 炉膛有效内径φ250mm，适用于 6〞硅片工艺 炉膛有效内径φ300mm，适用于 8〞硅片工艺 微控 悬臂舟 内燃式 外燃式 双温区
消声开关 报警线入
17
漏氢指示 灯火线
18
火未燃指 示灯火线
19
超温指示 灯火线
工艺指示 灯火线
短路指示 灯火线
加热开指 示灯火线
加热关指 示灯火线
作用 加热关
前面板
前面板
控制线出 工作火线 工作零线
X1104:（Y2M-10TJ/ZK，控制柜转接板至后面板）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 后面板
后面板
报警
漏检测）
脚号
33
34
35
36
37
大氮流量 设定
作用 干氧流量 设定
A.GND、 G.GND
X1108:（Y2M-10TJ/ZK，控制柜转接板至净化台）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 脚号
步进电机 A+
9
步进电机 A －
10
步进电机 B+
步进电机 B-
前限位
后限位 限位 COM
作用
极限保护
X1109:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至功率板 X3102）
OPTO
一（风量
电平）
G.GND
检测）
脚号
17
18
19
20
21
作用
6
清洗小氮 流量检测
14
22
X1120:（37 针 D 型插头，D/I、D/A 信号至计算机）
7
扩散小氮源瓶 压力检测
15
23
FREE（启动电 平）
8
清洗小氮源 瓶压力检测
16
24
点火信号
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 前限位 急停状态 极限保护 火未燃
3.2 自动推拉舟系统······················ （13）
3.2.1 不能自动进出舟 ····················· （13） 3.2.2 不能自动停舟 ······················ （14）
3.3 气体流量控制系统 ···················· （14）
按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：
M 5 1 11 — 4 W / UM型
所企业代号（中国电子科技集团公司第 48 所） 特点代号 设计顺序号 主参数（1100℃） 品种代号（扩散设备） 形式代号（掺杂设备） 类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）
1.2 各代号涵义
M 5 1 13 1 2 3 4 W H A B S
2.4 电气转接端口定义 （注：以下的接口定义适用于修改后的 WK92 及 WK93 电气图纸）
3
中国电子科技集团公司第四十八研究所
X2003:（Y2M-10TJ/ZK，净化台转接板至控制柜前门板）
脚号
1
2
3
4
作用 脚号
U 相指示灯 V 相指示灯 W 相指示灯
火线
火线
火线
9
10
净化台控 制火线入
作用 常开阀
3.4 H/O 合成氧化系统 ···················· （16）
3.4.1 火不能点燃 ······················· （16） 3.4.2 系统误报警 ······················· （16）
I
中国电子科技集团公司第四十八研究所
1．设备型号涵义
1.1 型号的组成
1
中国电子科技集团公司第四十八研究所
2．电气图纸的代号规定
2.1 电气制图代号定义
按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：
代号
A
B C E F G H J K L M N
P
Q R S T U V W
X
Y Z
代号 意义 计算机及板卡、步进电机驱动器、印制电路板、带触发电路的可控硅模块、氢 气报警器、湿度计、冷阱、触摸显示器 薄膜规、热电偶、接近开关、光电开关 电容 加热器、扩散泵、照明灯 熔断器 开关电源、直流电源 指示灯、报警器 温控仪 固态继电器、交流接触器、交流继电器、直流继电器、延时继电器 三相总进线，分为：L1、L2、L3 真空泵、轴流风机、净化风机 零线 质量流量控制器、水压开关、水流开关、电接点压力表、真空计、记录仪、电 流表、电压表、检测器件 断路器、空气开关 电阻、电位器、热敏电阻、压敏电阻 按钮开关、旋钮开关、急停开关、行程开关、液位开关、接近开关 变压器、调压器、电压互感器、电流互感器 旋转编码器、变频器、整流器 晶体管、晶闸管、可控硅模块、发光二极管、规管、光敏管 导线、电缆 接线排、端子排、连接片（XB）、电缆封端、接线板、普通插头座、航空插头座 （头可采用 XP、座可采用 XS） 电磁阀、电磁离合器、气动阀 滤波器
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 温控Ⅰ触 温控Ⅱ触 温控Ⅲ触 温控Ⅳ触 温控Ⅴ触 触发信号
发信号
发信号
发信号
发信号
发信号
COM
脚号
9
10
11
12
13
14
+15V 触发板 GND
15
16
作用 功率板零
线引入
脚号
17
18
19
加热开指 加热关指 示灯火线 示灯火线
作用 接触器线 自锁开关 控制电源 圈火线 触点出线 火线入
中国电子科技集团公司第四十八研究所
M5111-4W/UM 系列高温扩散/氧化系统
维修手册
中国电子科技集团公司第四十八研究所 2007 年 6 月
中国电子科技集团公司第四十八研究所
目录
1．设备型号涵义 ······················· （1）
1.1 型号的组成 ························ （1） 1.2 各代号涵义 ························ （1）
零线
5
接触器线 圈火线
6
照明灯 火线
7
散热风扇 火线
8
出舟提示 线圈火线
X1103:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至前面板）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 上电开关 上电开关 加热开
火线入
火线出 控制线出
脚号
9
10
11
12
急停开关 急停开关 加热关
控制线入 控制线出 控制线入
13
14
15
16
作用 脚号
工作火线 工作零线
输出
脚号
9
10
温控Ⅰ 输出＋
温控Ⅱ 输出＋
温控Ⅲ 输出＋
温控Ⅳ 输出+
温控Ⅴ 输出+
作用 温控 输出 COM
X1105:（Y2M-19TJ/ZK，控制柜转接板至固态继电器板）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 扩散小氮
大氮 大（干）氧 湿（小）氧 氢气
清洗小氮 D/O 备用一 D/O 备用二
漏氢
超温
脚号
9
10
11
12
13
14
15
16
作用
湿氧流量
设定
脚号
17
18
19
20
21
22
23
24
5
中国电子科技集团公司第四十八研究所
作用 氢气流量
清洗小氮 后限位 断水状态 炉体开状 火已燃 点火温度
设定
流量设定
态
到
脚号
25
26
27
28
29
30
31
32
作用 D/I 备用
CP
扩散小氮
（POCL3 泄
流量设定
30
31
32
+15V
COM
X1111 或 X4102:（Y2M-14 TJ/ZK，控制柜转接板至气源柜转接板）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 脚号
扩散小氮 电磁阀
9
大氮 电磁阀
10
干（大）氧 湿（小）氧
电磁阀
电磁阀
11
12
氢气 电磁阀
13
清洗小氮 电磁阀
14
火未燃报 警
漏氢报警
作用
D/O 备用线 1
气源柜火 线入
X4114:（Y2M-10TJ/ZK，气源柜转接板至电磁阀）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
8
作用 扩散小氮
脚号
9
大氮 干（大）氧 湿（小）氧 氢气或氮 清洗小氮 或气帘氮 氢混合气
10
作用 常开阀
零线
X4105-X4110:（Y2M-7TJ/ZK，至质量流量计）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
作用 流量设定
COM
流量检测
COM
3．故障判别与维修 ······················ （11）
3.1 温度控制系统 ······················· （11）
3.1.1 温控仪上显示 oooo···················· （11） 3.1.2 炉子不能升温 ······················ （11） 3.1.3 面板上的超温指示灯亮 ·················· （12） 3.1.4 炉温失控 ························ （12） 3.1.5 面板上的短路指示灯亮 ·················· （13）
脚号
1
2
3
4
5
6
7
作用 脚号
扩散小氮流量 检测
9
大氮流量 检测
10
大（干）氧 湿（小）氧
流量检测 流量检测
11
12
氢气流量 检测
13
清洗小氮 流量检测
14
扩散小氮源 瓶压力检测
作用 A/D 备用一（风 FREE（启 DIR（方向 A.GND、
量检测） 动电平） 电平）
G.GND
OPTO
点火信号
X1107:（Y2M-24TJ/ZK，控制柜转接板至 X1120 D 型 37 芯针）
2
2.2 元器件编号规定
中国电子科技集团公司第四十八研究所
*****
元器件序号 层号：0—公共器件，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层 柜子号：1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜 元器件代号 如电控柜中下层第 5 号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S2005
清洗小氮 扩散小氮 清洗小氮 A/D 备用一
流量检测 流量检测 流量检测 流量检测 源瓶压力 源瓶压力 (风量检
检测
检测
测)
脚号
17
18
19
20
21
22
23
24
作用
温度到
点火信号
D/I 备用 （POCL3 泄 漏检测）
6
脚号
25
26
27
作用 断水状态 火已燃
中国电子科技集团公司第四十八研究所
28
29
A.GND、 G.GND
X1119:（25 针 D 型插头，A/D、D/O 信号至计算机）
7
前限位
15
漏氢
23
8
后限位
16
点火温度到
24
脚号
1
2
3
4
5
作用 扩散小氮 大氮流量检 大（干）氧 湿（小）氧 氢气流量
流量检测
测
流量检测 流量检测
检测
脚号
9
10
11
12
13
作用 A/D 备用
DIR（方向 A.GND、
脚号
9
10
11
12
13
14
15
16
作用 设备异常 D/O 备用四 D/O 备用五
灯塔指示
灯
脚号
17
18
19
工艺灯
热偶短路 报警
出舟音乐 净化风机
提示
启动
作用
指示灯 火线入
电磁阀 火线入
4
中国电子科技集团公司第四十八研究所
X1106:（Y2M-14TJ/ZK，控制柜转接板至 X1119 D 型 25 芯针）