美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求
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美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求
项目TypeE-1TypeE-1．1TypeE-1.2TyPeE-2TyPeE-3TyPeE-4线宽(μm) 1.0-0.50.5-0.250.25-0.185-1>5-
电阻率18.218.218.217.5120.5
热源(EU/ml)0.030.030.030.25--
TOC(μg／L)521503001000
溶解氧DO(μg／L)111---
蒸发残渣(μg／L)10.50.1---
微粒(μm)(SEM检测)
0.1—0.210001000200
0.2—0.5500500l003000
0.5—1.05050110000
10---100000微粒(μm)(在线检测)
0.05—0.1500500100
0.1—0.230030050
0.2—0.3505020
0.3—0.5202010
＞0.5441
细菌
100ml Sample111
1L Sample110.11010000100000硅(μm)
总硅30.50.510501000溶解硅10.10.05
离子(μg／L)
NH40.10.10.05--
Br0.10.050.02--
Cl0.l0.050.021101000 F0.10.050.03---N030.10.050.0215500 N020.l0.050.02---P040.10.050.0215500 S040.10.050.0215500 Al0.050.020.005---Ba0.050.020.001---B0.050.020.005---Ca0.050.020.002---Cr0.050.020.002---Cu0.050.020.00212500 Fe0.050.020.002---Pb0.050.020.005---Li0.050.020.003---Mg0.050.020.002---Mn0.050.020.002---K0.050.020.00212500 K0.050.020.00525500
Na0.050.020.005151000 Sr0.050.020.00l---
zi0.050.020.00215500