瑞士CSM微纳米力学测试平台技术特点
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动态拍摄 压入、划 入过程材 料形变过 程
独立的Nano Pin-on-disk 纳米摩擦磨损测试模块
nano pin-ondisk旋转 模式
往复摆动 模式
nano pin-ondisk线性 往复模式
Berkovic h针尖
摩擦曲线 随时间循 环变化
丰富的压痕、划痕针尖形状、尺寸
Cube Corner针 尖
球形针尖 锥角90度 R=10um
Vickers 针尖
圆 锥针尖 R 大于3um
圆锥针尖 R小于3um
球形针尖 （90度锥 角） R=2um
丰富的选件 扩充测试能力
楔型针头
丰富的针 尖种类可 选
压入导 电同时测 量
加热台
低温测量
液体杯
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
原位Mirau干涉仪
in-vivo测量
特殊环 境（真空 、湿度 等）
曲面试 样：划痕 获得试样 轮廓，实 时位移深 度（前扫 描扣除轮 廓影响） 划痕形貌 全景成像 与划痕位 置一一关 联对应
高质量金相显微镜（多景深合成，全景成像、选位压痕、划痕）
独立AFM显微镜模块
原位Mirau干涉仪
原位Mirau 干涉仪set up
干涉条纹 测试试样 （如悬 臂）弯曲 高度差
可选调平 台，旋转 台，真空 吸附台等
Z方向空 间大。可 达10cm 。
MCT微米 组合测量 头
专利参比设计，极大消除热漂移效应
UNHT
NHT2纳米 压入测量 头
划痕单元 独立优化 设计 高速力学 反馈控 制，可以 追踪曲面 精准划痕 前扫描和 后扫描模 式扣除形 貌、粗糙 度影响
NHT2 划痕与压痕分离，高速反馈控制
1，开放 式力学平 台，独立 优化设计 每个测试 模块，多 达7个测 试模块供 选择，通 过平台自 动移动实 现换位测 试，满足 广泛的高 精度测试 需求
瑞士CSM微纳米力学测试系统特点总结
2，压痕 均采用参 比设计， 保障测试 过程不受 热漂移影 响，降低 了对环境 温度控制 的需求， 提高测试 数据可靠 性。
纳米刻蚀图案加工
3，划痕 和压痕分 离设计， 保证划痕 系统的刚 度，采用 高速反馈 设计，可 以追踪曲 面精准划 痕测试， 进行高通 量划痕测 试
4，高质 量的独立 金相显微 镜系统， 支持连续 变景深成 像，支持 划痕的全 景成像。
5，可选 AFM高精 度三维成 像
6，原位 Mirau干 涉仪，可 以实时动 态拍摄材 料在压痕 或划痕过 程中的变 形过程 （透明材 料）
7，可选 独立的纳 米球盘/ 销盘摩擦 磨损测试 模块
8，各种 可选的压 痕/划痕 针尖，多 达上百 种，特殊 针尖如契 形刀头 （blade ）等 9，丰富 的选件， 扩充测试 能力（液 体，变 温，导 电, 声学 等）
具有XYZ三维驱动平台的OPX力学平台
开放式平 台，可以 任意组合 自己所需 模块 优化配置 。
独立的Nano Pin-on-disk 纳米摩擦磨损测试模块
nano pin-ondisk旋转 模式
往复摆动 模式
nano pin-ondisk线性 往复模式
Berkovic h针尖
摩擦曲线 随时间循 环变化
丰富的压痕、划痕针尖形状、尺寸
Cube Corner针 尖
球形针尖 锥角90度 R=10um
Vickers 针尖
圆 锥针尖 R 大于3um
圆锥针尖 R小于3um
球形针尖 （90度锥 角） R=2um
丰富的选件 扩充测试能力
楔型针头
丰富的针 尖种类可 选
压入导 电同时测 量
加热台
低温测量
液体杯
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
原位Mirau干涉仪
in-vivo测量
特殊环 境（真空 、湿度 等）
曲面试 样：划痕 获得试样 轮廓，实 时位移深 度（前扫 描扣除轮 廓影响） 划痕形貌 全景成像 与划痕位 置一一关 联对应
高质量金相显微镜（多景深合成，全景成像、选位压痕、划痕）
独立AFM显微镜模块
原位Mirau干涉仪
原位Mirau 干涉仪set up
干涉条纹 测试试样 （如悬 臂）弯曲 高度差
可选调平 台，旋转 台，真空 吸附台等
Z方向空 间大。可 达10cm 。
MCT微米 组合测量 头
专利参比设计，极大消除热漂移效应
UNHT
NHT2纳米 压入测量 头
划痕单元 独立优化 设计 高速力学 反馈控 制，可以 追踪曲面 精准划痕 前扫描和 后扫描模 式扣除形 貌、粗糙 度影响
NHT2 划痕与压痕分离，高速反馈控制
1，开放 式力学平 台，独立 优化设计 每个测试 模块，多 达7个测 试模块供 选择，通 过平台自 动移动实 现换位测 试，满足 广泛的高 精度测试 需求
瑞士CSM微纳米力学测试系统特点总结
2，压痕 均采用参 比设计， 保障测试 过程不受 热漂移影 响，降低 了对环境 温度控制 的需求， 提高测试 数据可靠 性。
纳米刻蚀图案加工
3，划痕 和压痕分 离设计， 保证划痕 系统的刚 度，采用 高速反馈 设计，可 以追踪曲 面精准划 痕测试， 进行高通 量划痕测 试
4，高质 量的独立 金相显微 镜系统， 支持连续 变景深成 像，支持 划痕的全 景成像。
5，可选 AFM高精 度三维成 像
6，原位 Mirau干 涉仪，可 以实时动 态拍摄材 料在压痕 或划痕过 程中的变 形过程 （透明材 料）
7，可选 独立的纳 米球盘/ 销盘摩擦 磨损测试 模块
8，各种 可选的压 痕/划痕 针尖，多 达上百 种，特殊 针尖如契 形刀头 （blade ）等 9，丰富 的选件， 扩充测试 能力（液 体，变 温，导 电, 声学 等）
具有XYZ三维驱动平台的OPX力学平台
开放式平 台，可以 任意组合 自己所需 模块 优化配置 。