真空泵说明书
真空泵操作说明书
6.相关文件
6.1电镀设备异常处理管理办法。G-C-008
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7.1电镀课真空泵点检表。GR-028-01-A0
发行
对象
□总经理□副总经理□制造部□产销部
□管理部□技术部□营销部
发
文
日期
字号
NO
修订日期
修订履历
发文日期字号
5.作业程序
5.1操作程序
流程
权责
操作说明
相关文件
电镀课
接通电源，打开电源开关。
电镀课
在泵体平稳运转状态下，将橡胶连接导管两端分别与真空泵及减压器衔接好，即可开始工作。
电镀课
停止工作时，先关掉真空泵的电源开关，松动调压旋钮，待减压器内恢复为常压时，再将泵与减压器的连接导管分离。
5.2设备异常时，分析人员无法排除时依电镀设备异常处理管理办法执行。
XX塑料制品有限公司
真空泵操作说明书
编号
G-W-028
制订部门
电镀课
工作说明书
版本A0Biblioteka 页次1/1核
准
审
核
制
定
1.目的
为使本仪器之操作明确化，让操作者有所遵循之依据规范的操作本仪器。
2.适用范围
适用于凡真空泵操作或其它类型号之使用。
3.定义
略
4.权责
4.1本办法由制造部电镀课负责制订及修订。
4.2使用单位负责维护与保管。
真空泵操作说明书
真空泵操作说明书1. 产品简介真空泵是一种用于产生和维持真空状态的设备，广泛用于实验室、工业生产和科学研究领域。
本操作说明书将详细介绍真空泵的使用方法和注意事项。
2. 安全须知在操作真空泵之前，请务必遵循以下安全规定：- 在操作前，确保已经充分了解并理解了真空泵的操作手册。
- 确保工作环境通风良好，并戴上适当的防护设备，如手套和眼镜。
- 在操作过程中，严禁将有毒、易燃或腐蚀性物质接触到真空泵。
- 禁止将没有经过处理的气体直接排放到大气中，以避免对环境和人体健康造成危害。
3. 基本操作步骤3.1 准备工作- 检查真空泵是否连接到正确的电源，并确保电源稳定。
- 确保管道连接牢固，无漏气现象。
- 安装并确认真空泵的进出口阀门处于关闭状态。
3.2 启动真空泵- 打开真空泵的电源开关，确认指示灯亮起。
- 检查真空泵的工作状态指示器，确保正常运转。
- 缓慢打开进口阀和出口阀，让泵在无负载状态下运行30秒钟，以允许通过泵的气体流动。
3.3 停止真空泵- 关闭进口阀和出口阀。
- 关闭真空泵的电源开关。
4. 维护和保养4.1 清洁- 在每次使用真空泵后，应使用干净的软布轻轻擦拭外壳，保持清洁。
- 不要使用有机溶液或任何带有腐蚀性的清洁剂来清洗真空泵。
4.2 换油- 根据真空泵型号和使用情况，定期更换油液。
- 先等待真空泵自然冷却至室温后，再打开油箱放油口进行油液更换。
4.3 检查机件- 定期检查真空泵的所有机件和连接部件是否正常，如有发现松动或者磨损，应立即进行修理或更换。
5. 故障排除5.1 真空度下降- 检查进出口阀门是否关闭正确。
- 检查管道和连接件是否密封良好。
- 检查真空泵是否有异常噪音或震动。
5.2 泵无法启动- 检查电源是否连接正常，电源开关是否打开。
- 检查电源线是否受损或松动。
- 检查保险丝是否烧断。
5.3 异常噪音或震动- 停止真空泵运行，并立即断开电源。
- 检查泵体和连接件是否有松动或异物卡住情况。
真空泵说明书
品牌与型号推荐
品牌：德国莱宝 （Leybold）
型dwards）
型号：E2M系列
品牌：日本荏原 （EBARA）
型号：EH系列
品牌：中国中科仪 （CAS）
型号：CZ系列
性价比分析
品牌选择：选择知名品牌，质量有保障 价格比较：对比不同品牌、型号的价格，选择性价比高的产品 性能比较：对比不同品牌、型号的性能参数，选择性能优越的产品
定期检查与维修
定期检查真空泵的油位、油质和油温 定期更换真空泵的油和滤芯 定期检查真空泵的密封性能和润滑情况 定期检查真空泵的电气控制系统和保护装置
常见故障及排除方法
真空度下 降：检查 泵体是否 漏气，更 换密封圈 或垫片
噪音过大： 检查泵体 是否松动， 紧固螺栓
电机过热： 检查电机 是否过载， 调整负载 或更换电 机
泵体振动： 检查泵体 是否平衡， 调整平衡 块或更换 轴承
润滑油不 足：检查 润滑油是 否充足， 添加或更 换润滑油
泵体损坏： 检查泵体 是否损坏， 更换损坏 部件或整 体更换泵 体
应用领域
半导体制 造：用于 真空封装、 晶圆清洗 等
航空航天： 用于真空 模拟、空 间环境模 拟等
医疗设备： 用于呼吸 机、麻醉 机等
添加标题
添加标题
添加标题
添加标题
操作时佩戴防护眼镜和手套，避免 接触高温、高压部件
操作结束后及时关闭电源，清理现 场，保持设备清洁
日常保养
定期检查真空泵的油位，确保油位在正常范围内 定期更换真空泵的油，确保油的清洁和润滑效果 定期检查真空泵的密封性能，确保不漏气 定期检查真空泵的电机和电气系统，确保正常运行 定期清洗真空泵的过滤器，确保过滤效果 定期检查真空泵的冷却系统，确保冷却效果
真空泵使用说明
真空泵使用说明真空泵使用说明1、概述1.1 功能：真空泵是一种用于移除封闭系统内气体或低压气体的设备。
1.2 适用范围：本说明书适用于公司生产的型号真空泵。
2、安全须知2.1 电源：在使用真空泵之前，请确保连接电源的稳定性，并使用恰当的电源插座。
2.2 接地：确保真空泵的外壳与接地线连接良好，以确保安全操作。
2.3 维护：请定期检查真空泵的状态，并确保设备的正常运行。
2.4 使用环境：在干燥、通风良好的环境中使用真空泵，避免过热、过湿的条件。
3、预备工作3.1 环境准备：在使用真空泵之前，确认使用环境是否符合要求，例如温度、湿度等。
3.2 泵油选择：根据需要选择合适的泵油，并确保泵油充足。
3.3 连接：将真空泵正确连接到所需系统，确保连接紧固。
4、使用步骤4.1 打开真空泵：将电源线插入电源插座，并将电源开关打开。
4.2 打开阀门：打开系统中的相应阀门，并确保调整好所需的真空度。
4.3 运行真空泵：按下真空泵的启动按钮，开始运行真空泵。
4.4 监控：在使用过程中，及时监控真空泵的工作状态，确保正常运行。
4.5 关闭真空泵：使用完毕后，按下真空泵的停止按钮，关闭真空泵。
4.6 关闭阀门：依次关闭系统中的阀门，以保持系统的密封性。
5、维护与保养5.1 清洁：定期清洁真空泵的外壳，并使用干净的抹布擦拭干净。
5.2 泵油更换：根据使用需求和使用时间，定期更换泵油。
5.3 过滤器清洗：定期清洗过滤器，以保持正常的泵泵量和真空度。
5.4 故障排除：如果真空泵运行异常，及时检查并修复问题。
附件：1、型号真空泵规格表2、真空泵维护记录表本文所涉及的法律名词及注释：1、泵油：指向真空泵添加或更换的特殊润滑油。
2、真空度：衡量封闭系统内气体密度或压力水平的指标。
3、阀门：控制流体通过的装置，用于开启或关闭流体通道。
真空泵说明书
第一章真空泵概述一、真空泵简介X型系列真空泵是单级旋片油封式真空泵，适用于低、中真空领域，主要用于抽除空气和其它干燥气体。
它是低、中真空的主要设备之一，它可单独使用，也可成为其它真空泵的前级泵。
真空泵具有运转性能可靠、易损件少、振动小、噪音低、效率高的特点。
X型系列真空泵是引进国外先进技术，易损件选用进口元件或进口材料。
X型系列真空泵完全可替代国外同类产品。
真空泵具有运转性能可靠、易损件少、振动小、噪音低、效率高的特点。
二、真空泵构造X系列真空泵按照旋片式原理运行。
泵体（3）中安装一个偏心转子。
利用离心力推动叶片在转子的槽中向泵腔内壁滑动。
叶片(5)将转子(4)和泵腔内壁之间分隔成几个小腔体。
当腔体跟进气口通道相连时，气体被吸入，在下一次转动中被压缩并且推入油分离器（1）。
压差使油不断的被压进压缩腔体。
油和介质再被释放进入油分离器，在那里由于重力作用经除雾器（11）和排气过滤器（8），与排出的气体分离。
分离出的油在油分离器底部再次被推入压力腔体（油循环）。
无油气体经过排气盖板被释放到大气中。
1.油分离器2.吸气阀3.泵体4.转子5. 叶片6.排气阀7. 注油塞8. 排气过滤器9. 排气嘴10.冷却器 11. 除雾器12. 油窗13. 放油塞14. 油过滤器第二章系统简介一、系统流程1．空气流程1）空气由进气滤清器滤去尘埃之后，经由吸气阀（2）进入真空泵泵体；与润滑油混合，与油混合的空气经过压缩后通过排气阀（6）进入油分离器（1）进行粗分离，再经排气过滤器（8）的精分离，不含油的空气通过排气嘴（9）排入大气。
如空气中含有可凝气体，则打开气镇阀。
2）空气流程中各组件功能说明：A、进气滤清器空气滤清器为干式纸质过滤器，过滤纸细孔度约为10μ左右，通常每1000小时应取下清除表面的尘埃，清除的方法是使用低压空气将尘埃由内向外吹除。
B、吸气阀 (2)避免关闭电源后，叶片（5）逆向旋转。
注意：吸气阀不能作为真空系统止回阀或切断阀使用，吸气阀不能防止油被吸入真空系统。
多级罗茨真空泵说明书
多级罗茨真空泵说明书产品号：161065V01161040V01目录0 重要的安全信息 (6)0.1机械危险 (6)0.2电气危险 (6)0.3热危害 (6)0.4物料和物质造成的危害 (6)0.5噪声危害 (7)1简介 (8)1.1 安全提示 (8)1.2 技术数据 (8)1.3订货信息 (10)1.4附件 (10)2运输和储存 (12)3安装 (13)3.1 放置 (13)3.2 符合要求的应用 (13)3.2.1不符合要求的应用 (14)3.3连接泵 (15)3.4电气连接 (16)4操作 (17)4.1 手动操作 (17)4.2 接口 (17)4.2.1 X1控制接口 (17)4.2.2 X104 串行RS-485接口 (19)4.2.3 变频器显示屏 (24)4.3 气镇 (24)4.4停机/拆卸 (26)5维修 (27)5.1 LEYBOLD维修 (27)6故障排除 (28)7 废料处理 (30)8 证书 (30)安全信息注意安全提示安装和调试泵之前，仔细阅读这些操作说明书并遵守该信息以确保从一开始就优化和安全工作。
Leybold 的ECODRY plus已按照这些操作说明书设计了使用恰当时的安全有效操作。
使用者负责仔细阅读并严格遵守本章节及全部操作说明书中所述的所有安全保护措施。
另外，遵守所有附加的开关、阀门等操作说明书的信息。
该泵只能在适当条件及操作说明书中规定的条件项下进行运行。
只能由专业人员进行操作和维修。
咨询当地、州和国家机构的有关具体要求和条例。
任何进一步的安全、操作和/或维修问题，提交我们最近的办事处处理。
危险危险是指如果不避免，将会造成死亡或严重受伤的紧急危险情况。
警告是指如果不避免，将会造成死亡或严重受伤警告的潜在危险情况。
警示警示是指如果不避免，将会造成轻微或中度受伤的潜在危险情况。
注意用于告知使用者重要的安装、操作、编程或注意维护信息，而不是与危险相关的信息。
我们保留改变这些操作说明书中所述的设计或任何数据的权利。
真空泵使用说明
最大水蒸气抽除率 (kg/h)
2X-4C
4 /
0.55 450
1.0 55/58
/ / /
2X-8
2X-15
8
15
≤6×10-1 ≤6×102
≤1
1.1
2.2
320
320
≤40
2.0
2.8
83(单泵)
174/178
/
/
/
/
/
/
2X-30A
2X-70A
30
70
≤1.33
3 450
2.0 200/204
注意：水平复验后，应用手盘动皮带，检查泵是否转动灵活。
4
5、所有连接管道不得存在漏点，同时必须先进行清洁处理，不能有铁屑、铁锈、焊渣、灰尘，因此 建议在进气管道中加装细网过滤器。 6、连接被抽容器的管道直径应大于或等于泵的进气口口径，尽量减少管道的安装距离和弯头数量， 管道安装后应检查泄漏情况，如使用橡胶管连接应选用去硫处理的橡胶管。 7、连接泵排气口的管道管径应等于或小于泵的进气口口径，否则会增大排气压力，引起泵的密封部 位出现渗漏现象。 8、皮带传动的泵，请注意必须使大小皮带轮处于同一垂直平面内，三角皮带的松紧应适度。 9、当泵处于含有灰尘的工况时：为使泵不处于灰尘、颗粒物、或有化学作用的气体损害，建议您在 泵的进气口加装合适的过滤器。 10、当泵处于含有大量蒸汽的工况时：抽除的可凝性气体在较冷的管道内会产生凝结，因此为防止凝 结的液体流回泵腔，应在管道安装时考虑加装冷凝器及放液阀门。 11、当抽除的气体含有腐蚀性的工况时：您必须在泵的进气口前予以处理。 12、当抽除的气体温度较高的（≥35℃）工况时：您必须在泵的进气口前予以冷却。 13、当抽除的气体含有大量液体的工况时：您必须在泵的进气口前安装气液分离器。 14、当畅通大气启动时、频繁地启动时、长时间地抽取高压强的气体时或气镇打开时，会有少量的油 雾排出，您可用管道连接排气口将油雾引离工作区域或加装合适的油雾过滤器。 15、泵具有停机后改善返油和能使泵口短时处于真空状态的装置，以便于下次启动。但对于您使用工 艺的原因而返油而造成麻烦的场合，建议您在泵的进气口安装电动或手动的真空截止阀和真空充气 阀，安装方式见第一章第 1 节《结构原理》中的注意条款，要求新泵停机后 4 小时内应不返油至泵的 进气口。 16、如您将泵安装在机箱内时，请务必保持泵和电动机的冷却风扇处留有进风通道，泵的排气出口留 有排气通道。 17、有部分系列的泵为便于运输，泵腔内不带油，请您在安装后，通过加油口注入真空泵油，油位在 油窗的 1/2 以上。 18、安装检验
真空泵操作方法说明书
真空泵操作方法说明书1. 概述真空泵是一种广泛应用于工业、医疗、科研等领域的设备，用于抽取空气或其他气体，以达到产生真空的目的。
本操作方法说明书将为您详细介绍真空泵的操作步骤，以确保您正确、安全地运行真空泵。
2. 设备准备在操作真空泵之前，请确保以下准备工作已经完成：2.1 检查设备完整性：检查真空泵是否完好无损，确保所有连接件紧固可靠。
2.2 检查电源供应：确保真空泵的电源供应符合要求，电压和频率匹配。
2.3 检查冷却水供应：如果真空泵需要冷却水，确保冷却水供应充足，并检查冷却水系统的正常运行。
3. 操作步骤3.1 打开电源：按照真空泵的电源接线图，将电源插头正确地插入电源插座，并将电源开关打开。
3.2 启动泵机：根据真空泵的类型和规格，启动泵机。
通常有以下两种方法：3.2.1 旋钮启动：将泵机开关旋钮从“停止”位置逆时针旋转至“启动”位置，直至泵机启动。
3.2.2 按钮启动：按下启动按钮，直至泵机启动。
3.3 观察泵机工作状态：当泵机启动后，通过橡胶套管或透明观察窗观察泵机的工作状态。
注意观察泵机是否运转正常，是否有异常噪音或振动。
3.4 调节泵机参数：根据需求，使用泵机上的调节旋钮或按钮，调节泵机运行参数，例如转速或抽取速度。
3.5 抽气操作：连接泵机与待抽取的系统或设备，确保连接紧密可靠。
开启系统阀门，开始抽取气体。
根据实际情况，可能需要调节泵机运行参数以达到所需的真空度。
3.6 监测真空度：使用真空度检测仪器监测抽气系统的真空度，确保真空度符合要求。
3.7 停机操作：当抽气任务完成或需要停机时，请按照以下步骤进行：3.7.1 关闭系统阀门：先关闭待抽气系统的阀门，以防止气体回流。
3.7.2 关闭泵机：将泵机开关旋转至“停止”位置或按下停止按钮，使泵机停止工作。
4. 安全注意事项在操作真空泵时，请遵守以下安全注意事项：4.1 了解真空泵的额定工作条件和参数，并确保在这些范围内操作。
4.2 在操作真空泵之前，务必戴上适当的防护手套和眼镜，以防止意外伤害。
莱宝真空泵说明书中文
第3页/共26页
工作原理图
1. 泵缸体 2. 转子 3. 定位销 4. 进气通道 5. 通气/隔离阀（防返油阀） 6. 尘粒过滤网 7. 进气口 8. 气镇阀帽 9. 排气口 10. 二次空气注入口（消音孔） 11. 油过滤器 12. 排气阀 13. 排气通道 14. 气镇通道 15. 注油口 16. 叶片
第12页/共26页
影响极限真空的因素
• 极限真空（有害空间的存在） 有害空间： 转子与泵腔的接触点到排气口之间的尖角地带，藏在这里并处于排气压强下不能被旋片推出泵腔之外的
气体，常被旋片通过间隙挤到吸入腔内，因而降低泵的极限真空。 旋片与转子、旋片与泵腔的接触点，这里的气体会因为压差的原因影响泵的极限真空。 真空泵油的作用就是填充有害空间以消除其对极限真空的影响。
中间辅助排气阀的设定
在双级泵中，若高真空级与低真空级之间是不等腔的结构（只是泵腔长度不 同），则需在两级中间通道上设置辅助排气阀。
原理图：
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设定中间辅助排气阀的原因
举例说明：假设高真空级泵腔容积V1为低真空级泵腔容积V2的四倍，由于 是同轴旋转，故高真空级的抽速S1为低真空级抽速S2的四倍。由气体流量连续 性方程可知：P1S1=P2S2，又因S1/S2=4，所以P2/P1=4。由此看出，当高真 空级吸入压强P1为大气压时，其排气压强P2可达4个大气压，此时真空泵就变 成压气机了。由于真空泵配用的电机功率比压缩机小，因而工作困难。
第17页/共26页
Trivac C 极限真空的测定及合格标准
• 全压强：CTR90电容薄膜规+DM21显示器 开气镇Pul≦6E-3mbar 关气镇Pul≦3E-3mbar
• 分压强：ITR100热阴极溅射离子计(B-A规)+IT23显示器+液氮冷阱 关气镇Pul≦4E-4mbar
真空泵的说明书
真空泵使用说明书一、2BV型水环式真空泵的安装说明与安装尺寸：2BV型水环式真空泵及压缩机系统由真空泵（压缩机）、电动机、气水分离器管路组成，如图（二）所示。
2BV型水环式真空泵及压缩机与气水分离器的工作过程如下：气体由管路经阀门进入2BV 真空泵或压缩机，然后经排气管进入气水分离器中，经气水分离器排气管排出。
当作为压缩机使用时，经压缩机排出的气水混合物在气水分离器中分离后，气体经阀门输送到需要压缩气体的系统上去。
2BV型水环式真空泵或压缩机内的工作水是由气水分离器不经冷却排至真空泵重新使用，其余工作水由供水管补充，供水量的大小，由供水管上的阀门来调整。
气体抽吸和压送系统的区别仅在于气水分离器的内部构造有所不同。
抽吸气体时，吸气口压力低于大气压，而排气口压力等于大气压，气水分离器有溢水管；压送气体时，吸气口为常压（也可为真空状态），排气口压力高于一个大气压，为保证输送气体压力，气水分离器的水位通过溢水开关来控制。
图（二）2BV型水环式真空泵系统示意图2BV-6110/6111/6121/6161/水环真空泵外形尺寸型号Amax B B1 C1 F1 F2max H1 H2 H3 H4 K L N W12BV6110 1190 325 255 26 291 450 160 173 223 381 250 319 281 1802BV6111 1237 325 279 26 360 470 180 196 242 401 320 365 327 1802BV6121 1368 347 279 26 360 575 180 197 247 415 320 384 342 2002BV6131 1495 377 320 26 461 585 215 234 287 467 414 405 357 2002BV6161 1625 479 320 26 461 640 215 230 310 526 414 480 416 250型号W2 W3 S1 T d1 d2 d3 d4 d5 d N3.0 N4.2 N8.72BV6110 52 27 φ13 340 19 160 123 97 52 DN50 G3/4" G3/8" G3/8"2BV6111 52 27 φ13 340 19 160 123 97 52 DN50 G3/4" G3/8" G3/8"2BV6121 57 29 φ13 381.5 19 182 142 113 66.5 DN65 G3/4" G3/8" G3/8"2BV6131 57 29 φ15 381.5 19 182 142 113 66.5 DN65 G3/4" G3/8" G3/8"2BV6161 81 41 φ15 450 22 200 156 130 80 DN80 G3/4" G3/8" G3/8"二、2BV型水环式真空泵的设备安装：1、2BV型水环式真空泵的安装：2BV型水环式真空泵和压缩机在安装时，安装面必须水平，并通过底角的孔用螺栓安装牢固。
2XZ-B 型系列 直联旋片式真空泵 使用说明书
2XZ-B型系列直联旋片式真空泵使用说明书目录一、概述 (1)二、技术性能参数 (1)三、工作原理与结构简述 (2)四、安装说明 (3)五、使用方法和注意事项 (3)六、维护与保养 (4)七、性能曲线 (5)八、故障及消除方法 (6)九、装箱单 (7)十、外形尺寸 (8)注：使用前请仔细阅读本说明书后，再开机。
一、概述2XZ-B旋片真空泵系双级高速直联旋片式真空泵,本泵是用来对密封容器抽除气体而获得真空的基本设备，它可单独使用，亦可作为各类高真空系统（增压泵、扩散泵、分子泵）的前级泵和维持泵、钛泵的预抽泵。
可用于电真空器件制造，如电子管、电视显像管等，以及冷冻干燥行业，尤其是溴化锂空调、冰箱等制冷行业。
该泵具有重量轻、体积小、噪声低、停泵不返油、启动容易等优点。
泵上装有气镇阀，可抽除小量的可凝性水蒸汽能力。
气镇阀具有延长泵油使用时间和防止泵油混水的作用，从而提高泵的性能。
该泵（除2XZ-2B、4B外）排气口标准可配有油雾吸集器(挡油罩)。
我公司已在进气口安装双重防返油装置，停泵永不返油，这样，用户可以避免安装电磁充气阀。
该泵在进气口气压低于1330Pa，可以连续工作，寿命长，真空度稳定、不返油等特点。
二、技术性能参数参数型号2XZ-2B2XZ-4B2XZ-6B2XZ-8B2XZ-15B2XZ-25B抽气速率(L/s)24681525极限压力分压力≤4×10-2≤4×10-2≤4×10-2≤4×10-2≤4×10-2≤4×10-2（Pa）全压力≤1≤1≤1≤1≤1≤1转速（r/min)140014001400140014001400电机功率（Kw)0.370.550.75 1.1 1.5 2.2电源电压（V)220/380220/380220/380380380380进气口口径（mm）φ30φ30KF-25KF-40KF-40KF-50 KF-25KF-25出气口径（mm）φ22φ22KF-25KF-25KF-25KF-40噪音（dBA）656668707072容油量（L）1 1.22345外形尺寸（mm)514×168×282565×168×282565×200×342650×240×430700×240×430770×240×430毛重/净重（Kg）22/2024/2244/4065/6078/72143/135三、工作原理与结构简述2XZ-B真空泵是一种容积泵，它借助于旋片在泵腔中连续运转，泵腔被隔成两个不同容积的工作室，周期地扩大与缩小，使将气体吸进、压缩与排出，达到容器真空。
真空泵操作说明书
真空泵的排 气口与被抽 气体相连， 使气体被抽
出。
真空泵的进 气口与被抽 气体相连， 使气体被吸
入。
真空泵的排 气口与被抽 气体相连， 使气体被抽
出。
真空泵的进 气口与被抽 气体相连， 使气体被吸
入。
真空泵的种类和用途
旋片式真空泵：适用于抽吸空气、水蒸气等气体， 广泛应用于实验室、医疗等领域。
定期保养
定期检查真空 泵的油位和油 质，及时添加
或更换
定期检查真空 泵的密封性能，
确保不漏气
定期检查真空 泵的电机和电 气系统，确保
正常运行
定期清洗真空 泵的过滤器， 确保过滤效果
常见故障及排除方法
真空度下降：检查泵体是否漏气，更换 密封圈或垫片
泵体振动：检查泵体是否平衡，调整 平衡块或更换轴承
检查真空 泵的电源 和接地情 况
检查真空 泵的油位 和油温
检查真空 泵的进气 和排气压 力
检查真空 泵的振动 和噪音情 况
检查真空 泵的冷却 水和润滑 油情况
检查真空 泵的报警 和故障情 况
停机操作
关闭电源：确保真空泵已关闭电源，避免意外触电。 关闭阀门：关闭真空泵的进气阀和排气阀，防止空气进入泵内。 排空泵内气体：打开排气阀，将泵内剩余的气体排出。 清洁泵体：用干布擦拭泵体，保持清洁。 存放：将真空泵存放在干燥、通风的地方，避免潮湿和腐蚀。
真空泵的特点和优势
真空度高：能 够达到较高的 真空度，满足 不同行业的需
求
结构简单：设 计简单，易于
维护和操作
保要求
应用广泛：适 用于各种行业， 如电子、化工、
医药等
01
真空泵操作步骤
准备工作
真空泵的说明书
真空泵的说明书一、产品概述真空泵是一种常见的工业设备，广泛应用于科研、制造业、化工等领域。
它可以将被抽介质中的气体或蒸汽抽出，形成一定的真空度，从而满足生产或实验的需求。
本说明书将详细介绍真空泵的性能、使用方法以及注意事项。
二、产品性能真空泵具有以下主要性能特点：1. 高抽速：真空泵能够迅速抽出气体或蒸汽，使被抽介质中的气体分子或蒸汽分子迅速运动并排出系统。
2. 宽范围的抽速可调：真空泵可以根据需要进行抽速的调节，满足不同需求。
3. 稳定可靠：真空泵采用高质量的材料和先进的制造工艺，保证了其稳定可靠的性能，提高了使用寿命。
4. 低噪音：真空泵在运行时噪音较低，减少了对工作环境的干扰，提高了使用者的工作舒适度。
5. 体积小、重量轻：真空泵结构紧凑，体积小，便于携带和安装，适用于各种场合。
三、使用方法1. 安装：确保真空泵安装牢固稳定，以免在运行时产生振动或噪音。
根据使用环境和需求，选择适当的安装位置，并确保周围环境干燥、通风良好。
2. 连接：按照真空泵的连接口规格，正确接入进气口和排气口。
同时，确保连接管道的严密性，避免气体泄漏。
3. 开机检查：在正式启动真空泵之前，需进行开机检查。
检查电源供应是否正常，检查各个接口是否接触良好，确保安全可靠。
4. 启动：按下启动按钮，真空泵开始运行。
初始运行时，可能会有些许噪音或振动，但应该在正常范围内。
5. 调节抽速：根据需要，通过真空泵上的调速装置，适时调整抽速。
6. 停机：使用结束后，应及时停止真空泵的运行，切断电源。
确保泵内没有气体残留，以免影响下次使用。
真空泵使用说明书
真空泵使用说明书一、产品概述真空泵是一种用于将气体抽取至低压或高真空状态的设备。
本使用说明书旨在向用户提供有关真空泵的操作指南和注意事项，以确保正确、安全地使用该设备。
二、安全须知1. 在操作真空泵之前，请确保已仔细阅读并理解本使用说明书，并按照指南进行操作。
2. 请穿戴适当的个人防护装备，包括安全眼镜、工作手套和防护服，以减少意外伤害的风险。
3. 在操作真空泵时，请注意周围环境的通风情况，确保室内空气流通，并避免有毒气体积聚。
4. 在操作真空泵过程中，严禁将手指或其他物体伸入泵内部或旋转部件区域，以免造成伤害。
5. 当真空泵处于运行状态时，请切勿触摸设备表面，以免被高温烫伤。
6. 若真空泵出现异常噪音、异味或烟雾，请立即停止使用并与售后服务部门联系。
三、设备操作1. 真空泵的启动a) 将真空泵连接至电源，并确保电源连接正确稳定。
b) 打开主电源开关，待设备指示灯亮起后，方可进行下一步操作。
c) 打开真空泵的电源开关，并等待设备正常启动。
2. 真空泵的停止a) 关闭真空泵电源开关。
b) 关闭主电源开关。
c) 拔下真空泵与电源的连接线。
3. 密封连接a) 将真空泵的吸气管连接至待抽气体的容器或系统。
b) 确保密封连接牢固可靠，避免气体泄漏。
4. 抽气过程a) 真空泵启动后，根据需求设定适当的抽气时长和抽气量。
b) 监控真空泵工作情况，如出现异常请及时采取措施进行修复。
5. 清洁与维护a) 每次使用后，请关闭真空泵电源，并用干净的布擦拭设备表面，清除污垢和灰尘。
b) 定期检查真空泵的滤网是否清洁，如有堵塞应及时清理或更换。
c) 建议定期检查真空泵的油位，确保润滑油处于正常工作范围内，并根据需要进行更换。
d) 如需维修或更换零部件，请联系售后服务部门进行操作，切勿自行拆卸或修理。
四、故障排除若真空泵出现以下情况，请参考以下排除方法或联系售后服务部门：1. 泵启动后无任何反应a) 检查电源连接是否正确。
真空泵说明书
真空泵说明书
一、产品介绍
真空泵是一种用于创建和维持真空环境的设备。
它通过移除容器中的气体分子来降低气体压强，使容器内部的压力低于大气压。
真空泵广泛应用于许多领域，包括科学实验、工业制造、医疗设备等。
二、工作原理
真空泵的工作原理基于气体分子的运动和压力差。
它通过创建一个密封的空间，然后通过机械或物理手段将空间内的气体抽出，使其压力降低。
真空泵通常包括一个驱动装置和一个抽气装置。
驱动装置可以是电动机、气动机或手动操作装置。
抽气装置可以是旋片泵、卡维泵、罗茨泵等多种类型。
三、主要特点
1. 高效性能：真空泵具有高度可靠性和高效能。
它能快速抽出容器内的气体，创造出所需的真空环境。
2. 安全性能：真空泵具有多种安全保护措施，如过载保护、漏电保护、过热保护等。
它能有效避免由于操作失误或故障导致的意外事故。
3. 节能环保：真空泵在制造过程中采用低能耗、无污染的先进技术，有效降低能源消耗，减少对环境的影响。
4. 多功能性：真空泵可以根据不同的需求进行定制。
它可以适用于各种工作场景，并能满足不同行业的需求。
四、使用方法
1. 安装：在使用真空泵之前，确保其处于平稳的工作台上，并与所需的容器或系统正确连接。
2. 开机：按照产品说明书上的步骤，将真空泵连接到电源，并确保供电正常。
3. 操作：根据需要调整真空泵的参数，如吸气量、压力等。
然后，打开真空泵，并观察其工作状况。
4. 关机：在使用完毕后，先关闭真空泵，再将其与电源断开连接。
确保所有操作都完成后，将真空泵从容器或系统中移除。
真空泵说明书
热偶真空计
利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
电离真空计
由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
复合真空计
由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
真空泵：
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
测量方式：
测量方式
电容薄膜真空计
这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。电容薄膜真空计将三种不同的规管综合在个小型经济的规管中，测量过程压强和基本压强从5x10-10至1500毫巴。电容薄膜真空计由于具有测量精度高、动态响应快、测量结果与气体成分无关以及抗腐蚀、耐气压冲击等一系列优点，因而越来越受到人们的重视。以它取代水银压力计、油压计、电阻真空计、热偶真空计以至部分地取代电离计。
冷阴极电离计
阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
电阻真空计
利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。
麦克劳真空计
也成为压缩式真空计，将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。
C30 真空泵系列 产品说明书
C30真空泵系列产品说明书文档版本21发布日期2022-08版权所有©成都海霖科技有限公司2018。
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成都海霖科技有限公司地址：成都市双流区牧华路二段杰邦孵化谷邮编：610000网址：电话：************前言摘要本文为C30调速真空泵系列产品的相关说明，用于指导相关技术人员初步了解该产品特性。
读者对象本文档适用于负责产品研发的技术人员，您应该非常了解您产品，并对所需微型泵的相关参数、规格大小等信息有明确概念。
关键字液晶屏调速、频率调速、防松接插件、旋钮调速、相关参数、接线说明修改记录修改记录累积了每次文档更新的说明。
最新版本的文档包含以前所有文档版本的更新内容。
目录前言 (I)修改记录 (II)目录 (III)1产品特性 (1)1.1工作指示灯 (1)1.2无刷电机 (1)1.3保护功能 (1)1.4模块化接头 (2)2特色功能 (3)2.1调速功能 (3)2.2报警功能 (3)2.3状态记忆功能 (4)3技术参数 (5)3.1性能参数 (5)3.2可靠性参数 (7)3.3类型说明 (9)3.4销售产品表.....................................................................................................错误！未定义书签。
真空膜真空泵操作手册说明书
隔 膜 真 空 泵使用前请仔细阅读本说明书，并经常对照相关操作，以免发生危险。
保留本说明书，留作以后参考TIGM-0.5BF产品简介该系列真空泵是专门为实验室研发的，可以在无油状态下连续运转，噪音小，工作效率高，使用寿命长，安全可靠，使用方便，一定会让您非常满意。
应用案例● 真空过滤 ● 溶剂过滤 ● 真空蒸馏 ● 胶体干燥● 真空干燥 ● 与旋转蒸发仪配套使用 ● 用于压缩和转换气体特点1．该产品无需任何工作介质（无油）， 不产生污染， 同时本机气体交换仓内置有过滤材料，从而保证了空气的洁净。
2．生产过程中采用新技术和新材料。
它移动方便， 工作流畅，从而保证了理想的真空度和较高的空气流速。
3．采用无摩擦的膜体运动， 不产生热量， 无摩擦损耗。
膜片采用进口橡胶，耐腐蚀，使用寿命长。
4、机体内设计有自冷却排风系统，可保证24小时连续运转。
5．采用压力可调式设计，可满足一定范围内的真空度和气体流速。
6．轴承采用进口轴承，运转平稳，噪音低，工作效率高。
技术参数抽气速度（ L / Min )尺寸（ L × WXH )( mm )30 350X130X220泵头噪音（ DB )双<60极限压力≥0.097MPa 30 mbar Ф6消音器真空度进气口径（ mm )出气口160电机额定功率（ w )电压220Vac,50Hz重量（ Kg )10泵体工作最高温度（℃)工作环境温度（℃)<557-40备注负压型 GM -0.5BF （新品）防腐蚀型操作说明在您使用本产品前请仔细阅读本说明书。
只有有资历的工程师或电工才能安装和调试本产品。
请仔细阅读以下信息：● 该产品只能用于抽空气， 少量水蒸汽亦可。
● 禁止让腐蚀性的液体或者颗粒材料进入泵内。
油类污染物或其他液体必须先过滤出去。
● 工作环境温度不能超过55℃。
● 不能在高海拔的地方使用本产品， 在高海拔地区低气压会对产品有影响。
● 该产品属于精密仪器， 禁止受脏受潮。
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使用真空泵的方法和注意事项：首先打开包装，将泵体与电机之间的联轴器尽量朝箭头方向旋转；再其次，打开真空泵油箱上的注油塞，将真空泵油倒入泵内。
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。
通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。
其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。
为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。
常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。
近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应
用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。