电子束蒸发使用步骤

电子束蒸发使用步骤

一、前期准备工作

1、放基片材料（找准对应坩埚位置）。

2、将样品台和坩埚的两个挡板都挡上。

3、关门前，检查密封圈是否正常。

4、将放气和进Ar气口都拧紧。

二、抽真空

1、开供电电源开冷却水（约5min之后）开真空计开机械泵开粗抽阀（先开小一点，将门压紧后，再全打开）。

2、真空计压强小于10Pa时，关粗抽阀（屏幕上尾数显示为0，尾数代表10的几次方）。

3、开电磁阀开分子泵开关，点击运行（约6min之后，分子泵进入正常工作状态，转数逐渐增大，可达27000r/min）。

4、开高真空闸板阀，开到最大（真空正常为6.67×10-4 Pa,最小为6.67×10 -5 Pa）。

5、开步进电机开关，控制转数为10 r/min（通过观察，设置好转数，然后关挡板）。

三、开始镀膜

1、开E型枪电源，选择手动模式，按回车键确认（电压控制在6KV）。

2、确认屏幕上5个灯全绿。

3、点击屏幕上灯丝，调灯丝电流0.5A。

4、开气瓶，数值调为0.3左右开坩埚挡板（屏幕和遥控均可用），关基底挡板。

5、开高压，观察坩埚内是否有光斑。

6、调整X、Y位移，使光斑位于坩埚中央。调整X、Y幅度，使光斑较大且在坩埚内均匀

7、缓慢增大束流（手动遥控最下方中间的“蒸发调节旋钮”），直到观察坩埚内材料表面出现波纹状时停止，此时为坩埚内材料的束流最大值。（经验值：钛－束流值77左右）。

8、开膜厚仪，（提前设置好厚度，根据经验找出膜厚的误差范围）。

9、开基底挡板，开始计时。

10、关基底挡板，计时结束，镀膜完成。

四、镀膜完成，关闭设备

1、缓慢关束流，听到“滴”声关高压关挡板关灯丝关总电源。

2、降温30min左右。

3、关高真空闸板阀（顺时针拧，最紧时没有全关，再沿顺时针方向拧，变松即可）。

4、点击分子泵“停止”按钮（频率降为0），关分子泵电源开关关电磁阀关机械泵。

5、松开活门旋钮，打开放气孔（开到最大），从充气阀向系统充入干燥气体（最好使用N2），气瓶上读数不要超过0.3，系统气体充满，门自动打开。

6、关闭放气孔和充气阀，取出样品。

7、换上新样品后关上活开门，打开机械泵打开粗抽阀，使门压紧（先开小一点，门压紧后，全部打开）。

8、真空抽到20Pa后，关闭粗抽阀。

9、关闭各单元电源后关闭总控电源。