设备部周报

< 14 > NSP Proprietary July 5, 2017

EE RM cost 趨勢圖
 修繕維護費本周總費用37,306RMB，0.31C/W，On target。  設備修繕維護費目標2017/7 (四條線14MW)降至 0.40 Cent/W， 預計Cost-down 貢獻 0.08Cent/W  降本原則以維修優先(價格為新品50%)，不能修轉以非原廠供應料 (cost-down 30%)，持續進行。

< 5 > NSP Proprietary Nov 23,2012

Fab8 Litchi P2验收進度
FAB8

Litchi P2 验收进度
24 item, 完成15项: 63%，进行中4项，待送件5项： 捷得宝*2——ISO03&DIFF11 PE验机进行中 宇锋*1——AOC设备验收事宜目前和厂商协调中（设备需要厂商再维修，和厂商协调中） 捷佳伟创*1，羅伯特科*1——SC-CVD 设备Open Issue待厂商处理，厂商预计6/23 入厂确认

SC-CVD 设备Open Issue待厂商处理，厂商预计6/23 入厂确认

ISO03 1-5道EL驗證报告 5/25
 

Description：


5/25 转速1.8

Experiment：
蝕刻值
0.18

組別
1

測試數量
200

EL不良數量
4

EL比例
2%

效率
18.50

持續解決滾輪刮 傷問題



Action：

Stage INSP RENA DIFF ISO CVD PRT FS FVI(FS) EIS

98.96 99.19 99.11 99.14 99.17 98.82 99.02 98.47 98.70 98.68 98.68 98.66 98.32 98.73 98.89 98.96

Y1 Stage BK

针对设备发生的重大异常，会将异常报告在部门能宣导，并让ห้องสมุดไป่ตู้仁签名确认并放在现场 供同仁随时参考学习

EE部门安全问题宣导签到表

針對FAB2/3 設備發生的安全問題，在部門早會宣導，並進行平行展開， 使同仁得到警 示，並按照相關的SOP進行安全防護。

SC-CVD 教育训练状况


沉积组

Description:
0.500 0.400 0.300 0.200 0.100 0.000 99.04 98.80 98.96 99.19 99.11 99.14 99.17 98.82 99.02 98.47 98.70 98.68 98.68 98.66 98.32 98.73 98.89 98.96 99.00 98.00 97.00 96.00 95.00



Weekly Department KPI summary and review
 



Project status update
  


 

CVD设备附属设备——清洗机&烤箱装机进度：5/25吊装定位完成，厂务预计6/18送电
设备异常处理SOP,新人训练资料,编排整理及列表，持续进行，网印所属设备完成55%，蚀刻完成 100%，沉积完成100% 教育训练实施状况——针对设备发生的重大异常，会将异常报告在部门内倡导，并让同仁签名确认并放 在现场供同仁随时参考学习。另外收集2/3厂历年工安事故，各组平行展开预防对策。 修缮维护费本周总费用37,306RMB（领用石墨舟1套，18,991RMB，厂务空调箱改造13,000RMB ）， 0.31C/W，On Target 目前EE总人力20人（本周離職1位资深工程師）


捷佳伟创设备装机



Date:


W1718 4-25组织员工参加SCCVD 和罗伯特科插片机操作 4-28组织员工参加SCCVD 和罗伯特科插片机操作



Action:

培训文件《插片机机器人操作规程》 《石墨舟上下料常见故障、保养及操作注意事项》 4-25做9舟片子测试，机台无异常 4-26做3舟片子测试，机台无异常

RENA 0.11 DIFF 0.03 ISO 0.11 CVD 0.23 PRT 0.13 FS 0.13 FVI(FS) 0.15 EIS 99.10 INSP 0.01

< 4 > NSP Proprietary February 14, 2012

60%-EE裝機&PE驗機計畫全時表



DIFF 11 & ISO03 PE验机进行中
 

DIFF 0.181%， DIFF 03/08 上下料点位优化，截至6/15，当站BK改善明显（当站漏晶Impact 约0.05%） ISO 0.277%，DIFF来料漏晶改善，整体BK改善，较上周Improve 0.129%（前站点漏晶Impact 约0.09%）



受重工Wafer影响（厚度160-170，正常200），Impact 约0.16%（DIFF-0.04%，ISO -0.04%，CVD-0.04%，PRT-0.04%）
Weekly
2014 Jan~Jun 2015 Jan~Jun 2016 Jan~Jun 2017 Jan~May Jan-17 Feb-17 Mar-17 Apr-17 May-17 W1714 W1715 W1716 W1717 W1718 W1719 W1720 W1721 W1722 W1723 W1724
Tgt W1714 W1715 0.01 0.012 0.004 0.11 0.005 0.003 0.03 0.032 0.054 0.11 0.148 0.207 0.23 0.251 0.351 0.13 0.406 0.226 0.13 0.251 0.165 0.15 0.241 0.133 99.10 99.04 98.80 W1716 W1717 W1718 W1719 W1720 W1721 W1722 W1723 W1724 0.008 0.003 0.004 0.004 0.006 0.004 0.008 0.010 0.008 0.002 0.002 0.004 0.006 0.003 0.000 0.018 0.020 0.006 0.044 0.055 0.030 0.043 0.071 0.201 0.134 0.197 0.173 0.169 0.137 0.141 0.122 0.149 0.271 0.112 0.406 0.272 0.298 0.196 0.186 0.155 0.162 0.190 0.278 0.288 0.277 0.183 0.148 0.191 0.192 0.153 0.210 0.220 0.190 0.240 0.158 0.118 0.158 0.157 0.133 0.136 0.151 0.293 0.174 0.125 0.139 0.182 0.176 0.148 0.137 0.089 0.138 0.132 6/11 0.005 0.048 0.214 0.366 0.246 0.274 0.136 0.142 6/12 0.017 0.018 0.178 0.254 0.360 0.205 0.142 0.133 6/13 0.007 0.044 0.240 0.428 0.315 0.221 0.267 0.157 6/14 0.007 0.001 0.191 0.206 0.352 0.227 0.150 0.119 6/15 0.012 0.010 0.118 0.207 0.223 0.253 0.177 0.116 6/16 0.004 0.014 0.107 0.188 0.202 0.274 0.162 0.127

蚀刻所属设备共计9项，目前完成9 项，完成度100%

沉积所属设备共计22项，完成100%

< 10 > NSP Proprietary July 5, 2017

异常处理SOP

< 11 > NSP Proprietary July 5, 2017

EE部门教育训练记录
设备异常处理训练
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 站别 ISO CVD ISO ITX ISO CVD PRT ISO 异常处理SOP ISO 01保养时手臂碰酸事故报告 真空系统异常处理流程SOP ISO 01 1-5下料机第二道EL皮带印排除报告 ITX 02 QDR水槽溢流改善进度报告 ISO 01 下料吸嘴印改善报告 JR机台ks2000软件安装SOP 印刷偏移处理SOP 车间烟雾报警说明 训练时间 3月17日 3月21日 3月27日 3月31日 4月7日 4月11日 4月14日 4月18日
進一步投料觀察，持續解決滾輪刮傷問題

8 NSP Property

清洗机和烤箱装机报告
  

EE:沉积组

Description:


清洗机和烤箱装机
项目 拆箱吊装 设备定位 二次配会 勘 二次配实 施 线路连接 上电测试 清洗烘烤 石墨舟PE 试做

清洗机和烤箱装机Schedule
5/25 5/26 5/27 5/28 5/29 5/30 5/31 6/1 6/2 6/3 6/4 6/5 6/6 6/7 6/8 6/9 6/10 6/11 6/12 6/13 6/14 6/15 6/16 6/17 6/18 6/19 6/20 6/21 6/22 6/23
EE Weekly Report-W1724 (06/11~06/17)

Prepared by EE Jun. 16th .2017

W1724 Fab8 EE Weekly Report


Highlight / lowlight


NA Y1-EIS 98.68%（Target 99.1%），DIFF漏晶点位异常导致漏晶，DIFF当站Impact 0.05%，ISO影响 0.09%，CVD影响0.05%，PRT影响0.02%，DIFF 漏晶Total Impact 约 0.21% 本周重工较多，wafer厚度为160-170（正常200），各站点均影响，Hold Wafer重工Impact 约0.16% 60%设备拆装机进度——ISO03&DIFF11 PE验机进行中 60%设备验收状况：Total 24 item,完成15项: 63%，进行中4项，待送件5项 ISO03验机状况：端午节后复机，目前待换酸后 PE对其测试

Time:


6/2

Action:.
 

机台拆箱吊装完成 5/25 机台定位完成

Next Action:


预计6/18送电

清洗机烤箱吊装 < 9 > NSP Proprietary July 5, 2017

清洗机烤箱定位完成

异常处理SOP清单及进度

网印所属设备共计31项，目前完成 17项，完成度55%

Target 10,700,582 6,646,611 3,345,082 1,251,011 (RMB) Actual 12,148,957 6,390,123 3,114,970 1,251,011 (RMB) Output 7.185 6.001 4.280 1.000 (MW) Actual Cost 0.51 0.51 0.51 2.83 (cent/Wp) Cost Target 0.45 0.56 0.60 2.28 (cent/Wp) Average MRMB 2.02 1.07 0.52 0.21 (Actual) 内部控制

Total

Vendor Q'ty 完成 進行中 待送件

天馬

台達

宇鋒

捷得寶 歐普泰

昆山 亚亚 1 1 0 0

上海 源拓 1 1 0 0

捷佳伟 羅伯特 豪恩特 创 科 1 0 0 1 0 0 3 3 0 0

施密 德 1 1 0 0

翔飞科 盛瑞特 技 1 1 0 0 1 1 0 0

Total 24 15 4 5

Rate(%) 100% 63% 17% 21%

2 2 0 0

1 0

1 0 0

9 4

1 1 0 0

1
0

3 2

1

1

1

< 6 > NSP Proprietary July 5, 2017

Fab8 Litchi P2待验收项目进度

如上绿色Remark为验收进行中，共计4项 ISO03&DIFF11 PE验机进行中 AOC设备验收事宜目前和厂商协调中（设备需要厂商再维修，和厂商协调中）



MFG Cost analysis




人力状况




Plan to do

< 2 > NSP Proprietary 2017 EE AR处理进度 July 5,

FAC2鍾鎔華

Back up Material

W1724 Y1 状况
EIS 98.68%，较上周98.47%↑0.23%，6/16已经改善至98.96%